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德國媒體:美國能否通過對蔡司進行制裁,封鎖蔡司的鏡頭出口,以此來徹底堵死中國光刻機的發(fā)展?

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01

前沿導(dǎo)讀

據(jù)德國媒體《德國之聲》發(fā)布的新聞報告指出:

想要制造先進芯片,離不開ASML的光刻機,而后者的核心元器件則是由德國蔡司制造的高精度鏡組。這對于千方百計想要遏制中國芯片發(fā)展的美國來說,能否通過對德國蔡司進行施壓,切斷其給中國企業(yè)提供鏡頭的機會,以此來達到制裁中國的目的?


02

供應(yīng)鏈體系

據(jù)德國蔡司半導(dǎo)體部門發(fā)布的官方新聞表示:

ASML首發(fā)了搭載蔡司光學(xué)器件的浸潤式DUV光刻機,憑借著該技術(shù),ASML與蔡司打敗了日本的尼康和佳能,成為了光刻機領(lǐng)域的老大,延續(xù)了摩爾定律。


現(xiàn)階段的芯片產(chǎn)品,不管是汽車、手機、家電、工業(yè)設(shè)備,均需要相應(yīng)的芯片作為驅(qū)動基礎(chǔ)。芯片制造需要用到ASML的DUV光刻機,先進芯片的制造需要EUV光刻機。不管是哪一種設(shè)備,其光刻機的鏡頭組件均由德國蔡司半導(dǎo)體部門獨家供應(yīng)。

蔡司的首席技術(shù)官托馬斯·斯塔姆勒曾公開表示:

全球大約80%的芯片是使用了蔡司光學(xué)器件制造出來的產(chǎn)品,蔡司鏡頭已經(jīng)成為了芯片制造業(yè)不可分割的一環(huán)。


如果將蔡司制造的光刻機鏡組等比例放大到德國國土面積那么大的尺寸,那么其平整度可以保持在0.1毫米之內(nèi)。蔡司與ASML一起開發(fā)出了人類迄今為止最精密的設(shè)備,這是其他企業(yè)無法完成的項目。


EUV光刻機是目前最先進的設(shè)備,也是大量制造先進芯片的核心設(shè)備。EUV光刻技術(shù)從研發(fā)開始算起,距今已經(jīng)有超過20年的時間。

據(jù)蔡司半導(dǎo)體制造光學(xué)副總裁Frank Rohmund透露,蔡司已經(jīng)拿下了超過1500項跟EUV有關(guān)的技術(shù)專利,其他企業(yè)想要繞過蔡司的專利去制造EUV光刻機的鏡組,目前來看希望渺茫。

就算僥幸在某些技術(shù)環(huán)節(jié)繞過了蔡司的專利,也無法達到蔡司產(chǎn)品的技術(shù)水平,更不要說制造芯片了。


除反射鏡組之外,還需要照明系統(tǒng)與投影光學(xué)器件進行搭配,整個一套設(shè)備的連鎖反應(yīng)需要在無塵室內(nèi)進行應(yīng)用,蔡司為其單獨制造了一個高潔凈的工廠。

在普通室內(nèi)的空氣中,每立方米大約有1億個常見的灰塵顆粒,而蔡司的工廠則是將這個灰塵數(shù)量大幅度減少到3500個左右,并且生產(chǎn)工廠內(nèi)部還配備空氣過濾裝置和抽氣裝置,每隔一段時間對室內(nèi)進行凈化。


03

產(chǎn)業(yè)合作

在蔡司半導(dǎo)體部門,有7500名以上的員工,這些員工當中有大約1500人被分配到了最新的High NA-EUV光刻機的研發(fā),剩下的員工負責DUV光刻機和第一代EUV的制造。

蔡司和ASML的背后是美國資本、德國政府、歐盟等多個勢力的資助,其供應(yīng)鏈涵蓋了超過1200家來自于全球的各地的供應(yīng)商,全球化體系是光刻機產(chǎn)業(yè)和芯片產(chǎn)業(yè)的核心發(fā)展模式。


據(jù)蔡司半導(dǎo)體部門前CEO Andreas Dorsel表示:

蔡司聘請了大量開發(fā)人員和研究人員,包括精密儀器的配鏡師、機械工程師、機電一體化工程師等各類頂級的人員。

這些人員來自于全球各地,與蔡司深度綁定,許多人甚至一開始就在蔡司工作,從來沒有跳槽。蔡司既可以帶給他們創(chuàng)造研發(fā)頂級設(shè)備的機會,讓他們?yōu)槿祟惏l(fā)展實現(xiàn)價值,又可以帶給他們豐厚的待遇,這是蔡司的文化體系,其他企業(yè)學(xué)不來。


將核心內(nèi)容總結(jié)起來,反射鏡組和配套的技術(shù)系統(tǒng)相結(jié)合,實現(xiàn)光刻機的整個曝光流程。光刻機的鏡頭由德國蔡司獨家供應(yīng),并且蔡司已經(jīng)申請了大量EUV設(shè)備的技術(shù)專利,在知識產(chǎn)權(quán)方面獲得了先發(fā)優(yōu)勢。而且光刻機是全球化的產(chǎn)物,是建立在獲得國際范圍內(nèi)頂級資源的前提下。

美國對中國企業(yè)的制裁,讓中國企業(yè)被迫與全球化模式分割,走上獨立自主的國產(chǎn)化模式,精密元器件的制造,是我們必須要面對的問題。

根據(jù)國家發(fā)改委主管的《中國戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)》雜志表示:

中國的光學(xué)器件早在20世紀50年代就已經(jīng)有了初步的情況,天津照相機廠在這個時期制造了第一臺國產(chǎn)的照相機,但是該產(chǎn)品是以徠卡IIIc型為藍本,仿制了部分零件制造出來的模仿物。雖然是模仿,但也讓中國的鏡頭產(chǎn)業(yè)有了初步的經(jīng)驗。


20世紀90年代,我國中科院長春光機所就開始研發(fā)EUV成像技術(shù)。2002年,長春光機所研制了第一臺EUV的原理裝置,將EUV技術(shù)的整體理論融會貫通。

歐菲光、舜宇光學(xué)等國產(chǎn)光學(xué)鏡頭廠商,也對精密鏡頭產(chǎn)品開始了猛攻。歐菲光已經(jīng)憑借著手機鏡頭開始大規(guī)模應(yīng)用,而舜宇光學(xué)已經(jīng)在手機鏡頭、顯微鏡技術(shù)、醫(yī)療設(shè)備等多個領(lǐng)域推出了自主制造的鏡頭產(chǎn)品,這與蔡司當年的發(fā)展路線如出一轍。

參考資料: 從仿制到自研:百年鏡片鉆研史|界面新聞 · JMedia https://www.jiemian.com/article/4899702.html

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