當(dāng)全世界的目光都聚焦在美國(guó)對(duì)華EUV光刻機(jī)的禁售上時(shí)，日本卻用了一系列手段，試圖讓中國(guó)芯片廠里上千臺(tái)正在運(yùn)轉(zhuǎn)的DUV光刻機(jī)，一步步走向“廢鐵”的命運(yùn)。

這并非危言聳聽。

光刻機(jī)生產(chǎn)車間

想象一個(gè)場(chǎng)景：國(guó)內(nèi)某家頂尖晶圓廠，一臺(tái)價(jià)值數(shù)億美元的尼康或佳能浸沒式DUV光刻機(jī)突然停擺，產(chǎn)線瞬間停滯。

工程師排查后發(fā)現(xiàn)，只是一個(gè)關(guān)鍵的激光器組件壽命到期。

在過去，這不過是打個(gè)電話、發(fā)封郵件，日本原廠的備件和工程師很快就會(huì)到位。

圖為光刻機(jī)概念圖

但現(xiàn)在，申請(qǐng)流程被無限期拖延，得到的回復(fù)永遠(yuǎn)是“正在審查”。

這臺(tái)昂貴的機(jī)器，就因?yàn)橐粋€(gè)本可輕易更換的零件，成了產(chǎn)線上最昂貴的“路障”。

這就是日本策略的“絕”妙之處，也是多家外媒直言其“比美國(guó)還絕”的根本原因。

美國(guó)的禁令，主要針對(duì)的是“增量”，即阻止中國(guó)獲得更先進(jìn)的設(shè)備，攻克7納米以下的未來高地。

而日本的手段，則惡狠狠地?fù)湎蛄恕按媪俊?，目?biāo)是癱瘓中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“現(xiàn)在”——那些支撐著國(guó)內(nèi)汽車、消費(fèi)電子、工業(yè)制造的28納米及以上成熟制程產(chǎn)線。

日本目標(biāo)是癱瘓中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“現(xiàn)在”

比禁售更致命的存量打擊

這場(chǎng)打擊是系統(tǒng)性的“釜底抽薪”。

它并非單一的禁令，而是一張由“設(shè)備備件、關(guān)鍵材料、技術(shù)服務(wù)”三者交織而成的天羅地網(wǎng)。

車間內(nèi)部畫面

首當(dāng)其沖的是維修、備件與服務(wù)的“精準(zhǔn)斷供”。

自2023年那份包含23種半導(dǎo)體制造設(shè)備的出口管制清單生效以來，對(duì)華出口的審批就從備案制變成了逐案嚴(yán)審。

這背后隱藏的，是對(duì)存量設(shè)備維護(hù)體系的全面絞殺。

東京威力科創(chuàng)幾乎切斷了對(duì)中國(guó)客戶的遠(yuǎn)程技術(shù)支持

日本廠商，如東京威力科創(chuàng)，幾乎切斷了對(duì)中國(guó)客戶的遠(yuǎn)程技術(shù)支持。

這意味著以往通過線上就能解決的軟件故障或參數(shù)調(diào)試問題，現(xiàn)在變得異常棘手。

設(shè)備停機(jī)時(shí)間被無限拉長(zhǎng)，直接導(dǎo)致芯片生產(chǎn)的良率斷崖式下滑。

良率，是晶圓廠的生命線，哪怕下降一兩個(gè)百分點(diǎn)，都意味著數(shù)百萬甚至上千萬美元的損失。

當(dāng)良率持續(xù)走低，生產(chǎn)成本飆升，這些光刻機(jī)在經(jīng)濟(jì)效益上就已經(jīng)“報(bào)廢”了。

工人調(diào)試器械畫面

接著，是光刻膠等關(guān)鍵耗材的“極限施壓”。

如果說光刻機(jī)是“打印機(jī)”，那光刻膠就是“墨水”。

沒有墨水，再先進(jìn)的打印機(jī)也是一堆廢鐵。

日本企業(yè)，如信越化學(xué)、JSR、東京應(yīng)化，在全球光刻膠市場(chǎng)，尤其是高端的ArF和EUV光刻膠領(lǐng)域，占據(jù)著近乎100%的壟斷地位。

光刻膠就是“墨水”

從2023年6月起，信越化學(xué)以“原材料供應(yīng)不穩(wěn)”為由，暫停向部分中國(guó)企業(yè)供應(yīng)KrF光刻膠，打響了材料管制的第一槍。

隨后，JSR等公司紛紛延長(zhǎng)對(duì)華出口的審批時(shí)間，并要求簽署更為苛刻的“最終用途”承諾書。

這種做法的陰險(xiǎn)之處在于，它并不明令禁止，而是通過制造不確定性，讓中國(guó)芯片廠商時(shí)刻處于“斷炊”的恐懼之中，無法制定穩(wěn)定的生產(chǎn)計(jì)劃。

信越化學(xué)曾打響了材料管制的第一槍

到了2025年的今天，這種“軟性斷供”已成為常態(tài)，迫使中國(guó)企業(yè)不得不將大量精力投入到尋找和驗(yàn)證替代材料上，嚴(yán)重拖慢了正常的生產(chǎn)和研發(fā)節(jié)奏。

這場(chǎng)存量打擊的背后，是日本對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈“懂行”的深刻理解。

他們清楚地知道，一臺(tái)光刻機(jī)由數(shù)萬個(gè)精密零件構(gòu)成，其穩(wěn)定運(yùn)行離不開原廠的持續(xù)維護(hù)、軟件升級(jí)和耗材供應(yīng)。

日本想讓中國(guó)現(xiàn)有的龐大產(chǎn)能慢慢枯萎

日本正是抓住了這個(gè)命門，試圖用一種“溫水煮青蛙”的方式，讓中國(guó)現(xiàn)有的龐大產(chǎn)能慢慢枯萎。

失落的訂單與崛起的“備胎”

然而，任何極限施壓都是一柄“雙刃劍”，在重創(chuàng)對(duì)手的同時(shí)，也必然會(huì)傷及自身。

日本企業(yè)在這場(chǎng)由政治主導(dǎo)的博弈中，付出了沉重的經(jīng)濟(jì)代價(jià)。

半導(dǎo)體企業(yè)車間內(nèi)部畫面

中國(guó)市場(chǎng)曾是日本半導(dǎo)體設(shè)備和材料企業(yè)最大的“金主”。

以尼康為例，在禁令實(shí)施前的2023年，中國(guó)市場(chǎng)一度占其光刻機(jī)業(yè)務(wù)營(yíng)收的近三成。

但隨著限制加碼，其在華訂單量應(yīng)聲暴跌。

根據(jù)尼康和東京威力科創(chuàng)近兩年發(fā)布的財(cái)報(bào)分析，來自中國(guó)的營(yíng)收占比持續(xù)萎縮，兩家公司的股價(jià)也因此經(jīng)歷了劇烈波動(dòng)。

圖為尼康大樓

東京威力科創(chuàng)的高管曾在一次閉門會(huì)議上坦言，失去中國(guó)市場(chǎng)的部分訂單，相當(dāng)于公司“失去了一條腿”。

日本化學(xué)企業(yè)更是叫苦不迭，有高管匿名向媒體透露，由于中國(guó)訂單銳減，部分產(chǎn)線不得不減產(chǎn)甚至裁員，公司正面臨近十年來最嚴(yán)峻的經(jīng)營(yíng)挑戰(zhàn)。

日本化學(xué)企業(yè)更是叫苦不迭

這種“自損八百”的策略，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主化進(jìn)程，意外地踩下了“油門”。

外部的封鎖，徹底打碎了國(guó)內(nèi)部分企業(yè)“造不如買”的幻想，一場(chǎng)全產(chǎn)業(yè)鏈的“備胎”轉(zhuǎn)正計(jì)劃以前所未有的速度和力度全面鋪開。

今天，我們看到了階段性的成果。

中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主化踩下了“油門”

上海微電子裝備研發(fā)的28納米浸沒式光刻機(jī)，在經(jīng)歷了漫長(zhǎng)的攻關(guān)后，終于在2024年底向核心客戶交付了首臺(tái)樣機(jī)。

雖然在穩(wěn)定性、產(chǎn)能效率上與ASML和尼康的成熟產(chǎn)品尚有差距，但它的出現(xiàn)，標(biāo)志著中國(guó)在DUV光刻機(jī)這一核心領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從0到1的突破。

在材料領(lǐng)域，突破同樣令人矚目。

南大光電研發(fā)的ArF（193納米）光刻膠，在經(jīng)過中芯國(guó)際等頭部企業(yè)長(zhǎng)達(dá)一年多的產(chǎn)線驗(yàn)證后，已開始小批量供應(yīng)，成功應(yīng)用在國(guó)內(nèi)14納米及以上的部分非關(guān)鍵層。

晶瑞電材、北京科華等公司的KrF光刻膠也實(shí)現(xiàn)了批量供貨，雖然在高端產(chǎn)品上仍有差距，但已經(jīng)能在一定程度上緩解“卡脖子”的燃眉之急。

更深遠(yuǎn)的改變，發(fā)生在中國(guó)產(chǎn)業(yè)界的認(rèn)知層面。

華為在內(nèi)部會(huì)議上早已明確“全鏈條替代”的目標(biāo)。

而像寧德時(shí)代這樣的下游巨頭，也開始向上游的半導(dǎo)體材料領(lǐng)域進(jìn)行戰(zhàn)略投資，以確保自身供應(yīng)鏈的安全。

同時(shí)，中國(guó)在2023年7月啟動(dòng)的對(duì)鎵、鍺等關(guān)鍵金屬材料的出口管制，經(jīng)過兩年多的發(fā)酵，也讓全球產(chǎn)業(yè)鏈感受到了反向制約的威力，迫使美日歐等國(guó)重新評(píng)估供應(yīng)鏈安全的脆弱性，為后續(xù)的博弈增添了新的籌碼。

當(dāng)然，這場(chǎng)博弈遠(yuǎn)未結(jié)束。

中國(guó)手中“備胎”轉(zhuǎn)正的盾牌也已初步鑄就

日本的“軟刀子”依然懸在頭頂，但中國(guó)手中“備胎”轉(zhuǎn)正的盾牌也已初步鑄就。

或許五年后，當(dāng)我們?cè)倏唇裉?，?huì)發(fā)現(xiàn)日本的這套“絕殺”，最終只是加速了一個(gè)全新、平行的全球半導(dǎo)體格局的到來。

參考資料：
中國(guó)商務(wù)部回應(yīng)日本更新出口管制“最終用戶清單”
2025-09-29 21:52·中國(guó)新聞網(wǎng)
日本新增半導(dǎo)體設(shè)備等出口管制 中方堅(jiān)決反對(duì)
文｜財(cái)新 杜知航2025年04月03日19:46
晶片大戰(zhàn)：日本荷蘭限制對(duì)華晶片技術(shù)出口，光刻機(jī)巨頭進(jìn)一步面臨兩難
2023年1月30日BBC中文