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讓光刻機變成“廢鐵”?中企正式官宣,日、美企業(yè)最擔心的事來了

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美國、日本與荷蘭的算盤徹底落空,原本企圖聯(lián)手遏制中國科技進步的步伐,卻未曾料到,中國在多重圍堵中非但沒有退縮,反而強勢崛起。

有人說最精彩的爽文是中國的發(fā)展歷程,這話一點不假。越是遭遇打壓,越能激發(fā)出驚人的突破能力。曾經(jīng)被視為頂尖技術象征的進口光刻機,如今在中國自主創(chuàng)新面前,可能只剩下“廢鐵”的命運。

我們究竟是如何讓這些高價設備失去戰(zhàn)略優(yōu)勢的?美日荷三方又為何在這場科技博弈中節(jié)節(jié)敗退?



時間回到2019年的中國,5G技術迎來爆發(fā)式增長,華為手握全球近四成的5G標準必要專利,成為行業(yè)領頭羊。

其高端智能手機銷量迅速攀升至全球第二,通信設備與終端產(chǎn)品雙線告捷,眼看就要在全球科技版圖上占據(jù)主導地位。



這一勢頭立刻觸動了將科技霸權視為核心利益的美國神經(jīng)。美方迅速以“國家安全”為由,對中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)起全面打擊。

數(shù)十家關鍵科技企業(yè)被納入“實體清單”,禁止美國公司向其出售芯片或轉讓核心技術,直接切斷了華為的核心供應鏈。



不僅如此,美國還積極游說盟友構建封鎖聯(lián)盟,意圖從源頭掐滅中國在高端制造領域的希望。

到了2023年,一個針對中國的“半導體封鎖三角”正式形成——由美國主導、日本和荷蘭協(xié)同執(zhí)行,目標直指半導體制造的核心命脈:光刻機。

三方分工明確,精準打擊中國邁向先進制程的關鍵環(huán)節(jié)。



其中,荷蘭ASML是全球唯一能夠生產(chǎn)7納米以下EUV光刻機的企業(yè)。它于當年3月宣布管制計劃,并在6月全面實施,徹底停止向中國出口EUV設備。

即便是相對成熟的DUV光刻機,出口審批也被層層加碼,不僅流程拖沓,還要求提交詳盡的用途說明和最終用戶承諾書。



多年以來,國內(nèi)多家晶圓廠面臨有錢買不到設備的窘境,不少項目因設備不到位而被迫延期。

缺少EUV光刻機意味著中國企業(yè)無法涉足5納米、3納米等尖端工藝節(jié)點,只能長期停留在28納米及以上成熟制程領域。

與此同時,國際領先企業(yè)已實現(xiàn)3納米芯片的大規(guī)模量產(chǎn),技術代差一度被迅速拉大。



在荷蘭出手的同時,日本則牢牢掌控著半導體材料的供應通道,對光刻膠、電子級高純硅、氫氟酸等關鍵原料實施嚴格出口限制。

當時全球超過90%的高端光刻膠、70%以上的電子級高純硅以及80%的電子級氫氟酸產(chǎn)能集中在日本信越化學、JSR等幾家企業(yè)手中,國內(nèi)廠商幾乎沒有替代選擇。



2022年,長三角地區(qū)一家主流晶圓廠因日本斷供光刻膠,當天便被迫關停兩條28納米生產(chǎn)線。

庫存僅能支撐十天,為了應急,企業(yè)不得不通過中間商以原價三倍的價格采購原材料,單月?lián)p失超過兩億元人民幣。

這場危機讓整個行業(yè)深刻體會到核心技術受制于人的痛苦。



美國自身也在不斷升級技術壁壘,頻繁修改芯片設計規(guī)范、測試標準和認證流程,步步緊逼,試圖徹底封死中國通往先進制程的道路。

他們的邏輯非常清晰:只要控制住光刻機這類核心裝備和關鍵技術,中國就只能停留在中低端市場,永遠無法實現(xiàn)超越。



然而,封鎖越嚴密、壓制越強烈,中國自主研發(fā)的動力就越旺盛。

2025年5月,一則重磅消息震動全球半導體界:中國自主研發(fā)的28納米DUV光刻機成功交付中芯國際。

這不僅一舉粉碎了“中國造不出高端光刻機”的謬論,也為全國晶圓廠注入了一劑強心針,更使得美日荷苦心經(jīng)營的封鎖體系瞬間變成一張脆弱的“紙網(wǎng)”。



目前,該型號光刻機已進入規(guī)模化生產(chǎn)階段,月產(chǎn)量達到15臺。

首批20臺設備一經(jīng)下線即被搶購一空,長江存儲計劃用其擴產(chǎn)3D NAND閃存芯片,華虹半導體的訂單已排至年底。



這種“中國速度”引發(fā)了荷蘭半導體行業(yè)的劇烈震蕩。ASML聯(lián)合荷蘭半導體設備協(xié)會向政府提交報告,呼吁放寬對28納米及以上制程DUV設備的出口管制。

理由十分現(xiàn)實:“技術封鎖已無法阻止中國自主發(fā)展,反而導致歐洲企業(yè)錯失全球最大單一市場的商業(yè)機會?!?/p>



而光刻機的突破僅僅是起點,在半導體制造這條精密鏈條中,光刻膠同樣是決定成敗的關鍵材料。

作為光刻過程中不可或缺的“顯影介質”,光刻膠如同光刻機的專用“油墨”。激光必須透過它才能在硅片上刻畫出精細電路圖案。

其純度與感光性能直接影響芯片的精度與良品率,尤其是用于7納米以下工藝的EUV光刻膠,需達到99.9999%以上的超高純度,技術門檻極高,極少有企業(yè)具備研發(fā)能力。



在國產(chǎn)技術取得突破前,全球95%的高端光刻膠市場由日本JSR與東京應化壟斷。

國內(nèi)晶圓廠采購完全依賴進口,國產(chǎn)化率不足1%,幾乎處于空白狀態(tài)。



轉折點出現(xiàn)在南大光電的技術攻關中。

歷經(jīng)八年持續(xù)投入與研發(fā),該公司成功實現(xiàn)兩款ArF光刻膠的量產(chǎn)。其中一款適用于28納米至55納米邏輯芯片制造。

另一款更為先進,可滿足128層3D NAND存儲芯片的生產(chǎn)需求——這曾是日本JSR獨家掌控的技術領域。



2025年,南大光電將年產(chǎn)能從20噸提升至50噸,擴產(chǎn)完成后立即接到大批訂單。

中芯國際與長江存儲聯(lián)合訂購30噸,訂單已排至2026年夏季。

隨著國產(chǎn)光刻膠批量供應市場,日本企業(yè)被迫下調(diào)同類產(chǎn)品價格15%至20%,過去“延遲交貨、溢價銷售”的強勢姿態(tài)蕩然無存。



在設備與材料雙雙取得突破的同時,中國開始在產(chǎn)業(yè)鏈上游掌握主動權,稀土成為反制外部壓力的重要戰(zhàn)略資源。

雖然稀土元素并不稀少,但在分離提純與高端應用方面,全球僅有少數(shù)國家具備完整能力。中國承擔了全球90%以上的稀土精煉任務。



ASML的EUV光刻機中,光學系統(tǒng)高速運行離不開特定稀土材料。加入鑭、鈰后,組件能量密度提升30%,并能承受高頻振動,確保設備連續(xù)穩(wěn)定工作72小時以上。



光刻機內(nèi)部的精密傳感器更是依賴鋱、鏑制成的磁致伸縮材料。這種材料可將微弱磁場變化轉化為納米級機械位移,幫助系統(tǒng)實時校準鏡片位置誤差,保障光刻精度達到0.1納米級別。

可以說,若無稀土材料支持,ASML的EUV光刻機將無法維持各部件協(xié)同運作,淪為無法生產(chǎn)的“技術空殼”。



2025年10月,中國正式發(fā)布針對稀土、鍺、鎵等關鍵金屬的戰(zhàn)略出口管制政策。

政策效果立竿見影:ASML部分EUV光刻機產(chǎn)線因稀土供應短缺被迫推遲交付;日本半導體企業(yè)的原料成本上漲30%。

原本處于進攻態(tài)勢的美日荷三國,開始陷入“有技術無材料”的尷尬局面,攻守之勢悄然逆轉。



一系列重大技術突破,使中國半導體產(chǎn)業(yè)真正挺立于世界舞臺。

中國連續(xù)三年位居全球半導體專利申請量榜首,在光刻、蝕刻等核心技術領域的專利占比突破25%。

如今,南大光電、上海微電子等企業(yè)的高端產(chǎn)品已進入臺積電、三星的供應鏈體系,標志著國際認可度的全面提升。



面對現(xiàn)實,美國半導體行業(yè)協(xié)會一年內(nèi)三次發(fā)聲,呼吁調(diào)整對華出口限制政策。

甚至公開承認:“封鎖未能遏制中國發(fā)展,反而催生了一個更具競爭力的技術對手?!?/p>



從光刻機到光刻膠,再到稀土戰(zhàn)略調(diào)控,中國用十年時間完成了發(fā)達國家耗時三十年才走完的產(chǎn)業(yè)升級之路。

這場無聲的“咽喉之戰(zhàn)”證明:外部封鎖或許能暫時延緩進程,但終究無法阻擋一個民族追求自主創(chuàng)新的堅定意志。



參考消息:





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