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讓光刻機(jī)變成“廢鐵”?中企正式官宣,日、美企業(yè)最擔(dān)心的事來了

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1. 美日荷三國的算計(jì)最終落空,原本企圖聯(lián)手遏制中國科技崛起,卻未曾料到,在多重圍堵之下,中國非但沒有退縮,反而實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵領(lǐng)域的自主突破。

2. 要說最精彩的逆襲劇本,莫過于中國半導(dǎo)體的發(fā)展歷程——越是封鎖,越激發(fā)自主創(chuàng)新的動力。曾經(jīng)被視為不可替代的進(jìn)口光刻機(jī),如今在中國技術(shù)迭代面前,正逐漸失去其戰(zhàn)略價(jià)值,甚至可能淪為閑置設(shè)備。

3. 中國是如何實(shí)現(xiàn)這一逆轉(zhuǎn)的?又是怎樣讓美日荷的技術(shù)圍堵失效的?



4. 美日荷構(gòu)建技術(shù)封鎖聯(lián)盟

5. 自2019年起,美國以所謂“國家安全”為借口,將多家中國高科技企業(yè)列入“實(shí)體清單”,禁止其參與涉及美國技術(shù)的半導(dǎo)體交易。

6. 更進(jìn)一步,美方施壓臺積電、三星等全球主要芯片制造商,試圖切斷它們對中國市場的供應(yīng)與合作,妄圖孤立中國的高端芯片產(chǎn)業(yè)。



7. 然而彼時(shí)美國尚未完全掌控盟友立場,荷蘭和日本在初期并未徹底關(guān)閉對華出口通道,仍保留部分商業(yè)往來空間。

8. 但從2020年開始,美國借“ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)含有美國技術(shù)”之名,強(qiáng)制拉攏荷蘭實(shí)施聯(lián)合禁運(yùn),導(dǎo)致ASML自2021年起中止向中芯國際交付最先進(jìn)的極紫外光刻系統(tǒng)。



9. 同期,美國利用“四方安全對話”(Quad)機(jī)制,將半導(dǎo)體供應(yīng)鏈納入“增強(qiáng)韌性”的議題框架,推動日本加強(qiáng)對華高精尖制造設(shè)備的管控力度。

10. 盡管如此,三方協(xié)調(diào)尚存縫隙:荷蘭未全面封殺DUV光刻機(jī)出口,日本也僅限制少數(shù)高端材料,留有回旋余地。



11. 直至2023年,局勢驟變。美國接連推出新管制措施,把原本允許出口的成熟制程DUV光刻機(jī)納入審批范疇,所有對華銷售必須獲得商務(wù)部許可方可執(zhí)行。

12. 隨后出臺《芯片與科學(xué)法案》,要求接受美國財(cái)政補(bǔ)貼的企業(yè)不得在中國擴(kuò)建先進(jìn)制程產(chǎn)線,違者將面臨“次級制裁”,即連帶懲罰關(guān)聯(lián)方。



13. 在美方壓力下,荷蘭迅速跟進(jìn),宣布限制可用于7納米及以下工藝的DUV設(shè)備出口,并強(qiáng)制ASML對銷往中國的機(jī)型進(jìn)行功能削減——移除支持先進(jìn)制程的核心模塊,且每筆訂單需經(jīng)荷蘭政府與美國雙重核準(zhǔn)。

14. 荷蘭為何選擇妥協(xié)?



15. 根本原因在于其深度依賴美國主導(dǎo)的技術(shù)生態(tài)與市場體系。ASML約半數(shù)營收來自由美國影響的高端客戶群體,一旦脫離該體系,將面臨巨大經(jīng)濟(jì)損失和技術(shù)斷供風(fēng)險(xiǎn)。

16. 日本則一貫追隨美國外交步調(diào),因此在美國發(fā)布新規(guī)后,于當(dāng)年7月正式實(shí)施《出口管制令》修訂案,一次性擴(kuò)大管制范圍至23類半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,遠(yuǎn)超美荷聚焦光刻機(jī)的策略。



17. 據(jù)披露,受控設(shè)備涵蓋蝕刻機(jī)、薄膜沉積裝置、清洗系統(tǒng)等核心環(huán)節(jié),甚至包括適用于45納米以上成熟工藝的設(shè)備,明顯意在阻斷中國實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈升級的可能性。

18. 此后,荷蘭全面禁止EUV光刻機(jī)對華出口,先進(jìn)DUV機(jī)型亦受限;日本則通過23項(xiàng)設(shè)備封鎖,幾乎覆蓋芯片制造全流程。

19. 更甚者,美國連65納米制程的相關(guān)設(shè)備也不放過!



20. 不僅禁止ASML、東京電子等企業(yè)向中國出售關(guān)鍵零部件,還叫停了跨國技術(shù)咨詢活動,嚴(yán)禁美籍專家為中國公司提供技術(shù)支持。

21. 關(guān)鍵的是,應(yīng)用材料、ASML等巨頭陸續(xù)關(guān)閉在華研發(fā)中心,拒絕為中國客戶提供設(shè)備維護(hù)與軟件升級服務(wù),致使已進(jìn)口設(shè)備陷入“無人可修、無法更新”的困境。



22. 為確保聯(lián)盟無隙,美國每月與荷蘭、日本舉行“半導(dǎo)體管制協(xié)調(diào)會議”,統(tǒng)一審查標(biāo)準(zhǔn)與禁運(yùn)清單,并發(fā)起“芯片四方聯(lián)盟”(Chip 4),試圖整合美日荷韓資源,唯韓國因嚴(yán)重依賴中國市場而態(tài)度猶豫,未能完全加入。



23. 作為安撫手段,美國批準(zhǔn)ASML赴美設(shè)廠,同時(shí)放寬對日本汽車行業(yè)的貿(mào)易壁壘,授予其“關(guān)鍵芯片供應(yīng)鏈伙伴”地位,以換取持續(xù)配合。

24. 面對這三邊聯(lián)動、層層加碼的技術(shù)封鎖,中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)如何破局而出?



25. 突圍之路:自力更生鑄就強(qiáng)國根基

26. 面對國際技術(shù)圍堵,中國沒有被動等待,而是加速推進(jìn)自主研發(fā),堅(jiān)定走國產(chǎn)化道路,力求核心技術(shù)自主可控。

27. 最先取得突破的是光刻機(jī)核心子系統(tǒng)領(lǐng)域!



28. 2024年傳來重大進(jìn)展,國產(chǎn)90納米光刻機(jī)完成實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證并啟動量產(chǎn),迅速填補(bǔ)國內(nèi)市場基礎(chǔ)需求缺口,緩解對外依賴。

29. 到2025年5月,更為先進(jìn)的28納米浸沒式DUV光刻機(jī)已送達(dá)中芯國際、華虹半導(dǎo)體等頭部晶圓廠,進(jìn)入實(shí)際產(chǎn)線測試階段。



30. 若該設(shè)備順利通過驗(yàn)證,預(yù)計(jì)將實(shí)現(xiàn)超過七成部件國產(chǎn)化率,良品率可達(dá)95%,具備大規(guī)模商用潛力。



31. 在光刻膠這一長期被日本壟斷的關(guān)鍵材料上,中國同樣取得實(shí)質(zhì)性成果。目前已研發(fā)出兩款可用于DUV工藝的光刻膠產(chǎn)品,進(jìn)入批量驗(yàn)證流程,且全部原材料均實(shí)現(xiàn)本土供應(yīng)。

32. 值得注意的是,中芯國際在今年5月斬獲百噸級光刻膠大單,直接沖擊日本廠商市場份額,致使其銷量大幅下滑。



33. 更深層的優(yōu)勢在于資源掌控。ASML光刻機(jī)離不開稀土制成的高性能磁體與特種電池,而全球最完整、最高效的稀土開采與加工體系掌握在中國手中。

34. 自2025年稀土出口管理制度強(qiáng)化以來,ASML部分設(shè)備因關(guān)鍵組件缺貨而延遲交付,公司內(nèi)部坦言庫存僅能維持?jǐn)?shù)月運(yùn)轉(zhuǎn)。



35. 最令人矚目的是,即便缺乏EUV光刻機(jī),中國仍探索出高效替代路徑——通過多重曝光工藝,充分發(fā)揮現(xiàn)有DUV設(shè)備潛力,實(shí)現(xiàn)更高精度的芯片制造。

36. 中芯國際運(yùn)用此技術(shù)成功開發(fā)N+2工藝節(jié)點(diǎn),實(shí)現(xiàn)7納米級芯片穩(wěn)定量產(chǎn),華為Mate60 Pro搭載的麒麟9000s處理器便是全鏈條國產(chǎn)化的典范之作。



37. 至2025年,中芯國際進(jìn)一步完成5納米工藝平臺的設(shè)計(jì)與驗(yàn)證,徹底打破“無EUV則無先進(jìn)制程”的技術(shù)迷思。

38. 這些成就背后,是國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期等資本力量的強(qiáng)力支撐,重點(diǎn)投向光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈上下游,推動國產(chǎn)裝備從零起步、由弱轉(zhuǎn)強(qiáng),自主可控的供應(yīng)鏈體系正在加速成型。



39. 結(jié)語

40. 根據(jù)中國海關(guān)總署發(fā)布的數(shù)據(jù)預(yù)測,隨著本土產(chǎn)能釋放和技術(shù)進(jìn)步,2025年中國半導(dǎo)體市場規(guī)模有望突破500億美元,同時(shí)朝著芯片本土化率達(dá)到50%的目標(biāo)穩(wěn)步邁進(jìn)。

41. 曾幾何時(shí),ASML近一半收入來自中國市場,2024年對華銷售額占比高達(dá)49%。盡管該公司預(yù)估2026年對華業(yè)務(wù)將有所回落,但短期內(nèi)難以割舍這一關(guān)鍵市場。



42. 2023年,ASML積壓的中國訂單價(jià)值達(dá)110億歐元,后因出口管制無法履約,被迫計(jì)提14億歐元的資產(chǎn)減值損失。

43. 日本Screen公司對中國市場的依存度更高,2023財(cái)年來自中國的營收占比接近40%,任何中國供應(yīng)鏈的變動都會直接影響其財(cái)報(bào)表現(xiàn)。



44. 國際科技巨頭也開始重新審視中國半導(dǎo)體能力。蘋果公司已向長江存儲下達(dá)大批量存儲芯片采購訂單,用實(shí)際行動認(rèn)可中國產(chǎn)品的品質(zhì)與產(chǎn)能。

45. 回望來路,美日荷當(dāng)初聯(lián)手設(shè)限,原想延緩中國半導(dǎo)體發(fā)展步伐,卻不料激發(fā)了更強(qiáng)的自主創(chuàng)新動能,反倒促使中國建立起更加獨(dú)立、完整、可持續(xù)的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

46. 信息來源:央視網(wǎng):頻頻制裁中國芯片,美商務(wù)部長吐真言:徒勞之舉;金融界:美國加深制裁中國芯片產(chǎn)業(yè):英偉達(dá)遭打擊,國產(chǎn)化進(jìn)程加速





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