美國拉上荷蘭、日本簽了份對(duì)華芯片設(shè)備出口限制協(xié)議，目標(biāo)直指先進(jìn)制程光刻機(jī)。沒想到，今年11月25日，上海微電子350納米步進(jìn)光刻機(jī)，已經(jīng)正式出廠發(fā)貨，昆山同興達(dá)早在去年就用上了國產(chǎn)封測光刻機(jī)。這波操作下來，外媒紛紛改口說低估了中國半導(dǎo)體的實(shí)力。這場技術(shù)封鎖，到底誰更難受？

三國聯(lián)手，其實(shí)漏洞不少

我們先從管制本身說起，2023年1月，美國牽頭荷蘭、日本敲定協(xié)議，目標(biāo)直指7納米以下制程設(shè)備。荷蘭9月就禁了ASML的NXT:2050i等型號(hào)，日本7月生效的新規(guī)連清洗設(shè)備都要許可，企業(yè)想出口得先交詳細(xì)的用途報(bào)告，審批周期從原來的2周拉長到2個(gè)月。

但執(zhí)行起來全是破綻，荷蘭公告里特意提要找“折中點(diǎn)”，按商業(yè)影響微調(diào)，比如給汽車芯片用的光刻機(jī)開了特例。日本直接公開說新規(guī)要“溫和”執(zhí)行，避免砸了本土企業(yè)飯碗。美國商務(wù)部官員都在國會(huì)承認(rèn)，盟友執(zhí)行松緊不一，效果打了折扣。

ASML 2023年三季度財(cái)報(bào)藏著細(xì)節(jié)，當(dāng)時(shí)中國訂單占比從一季度24%跳到46%，但交付卡殼后只能靠消化庫存撐著，上海倉庫的設(shè)備庫存周轉(zhuǎn)天數(shù)從45天漲到72天。

美國本土企業(yè)也不好過，泛林集團(tuán)2023年因?qū)θA禁令，解雇了1300名全職員工，美光科技更裁員5000人，占員工總數(shù)10%，美國半導(dǎo)體協(xié)會(huì)還公開警告“設(shè)限會(huì)傷害本國產(chǎn)業(yè)”。

日本尼康更慘，2023年二季度光刻機(jī)出貨量從8臺(tái)跌到4臺(tái)，東京電子刻蝕設(shè)備訂單環(huán)比跌15%。2023年中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口雖漲30%，但高端光刻占比從25%跌到18%，這說明管制有影響，但沒卡死。

國產(chǎn)機(jī)真能頂上去？

外界剛唱衰，國產(chǎn)光刻機(jī)就用實(shí)績回應(yīng)。2023年9月，昆山同興達(dá)廠房里，上海微電子的金凸塊封測光刻機(jī)正式投產(chǎn)，兩臺(tái)設(shè)備花了3600萬，投產(chǎn)后第三個(gè)月就滿產(chǎn)，月產(chǎn)2萬片晶圓，分辨率達(dá)2微米，生產(chǎn)的新能源汽車功率模塊芯片，良品率比進(jìn)口設(shè)備還高2個(gè)百分點(diǎn)。

某新能源車企采購這批芯片后，供應(yīng)鏈響應(yīng)速度比之前快了15%，庫存周轉(zhuǎn)天數(shù)減少8天，這也是國產(chǎn)設(shè)備能快速打開市場的關(guān)鍵，不僅能替代，還能適配國內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)節(jié)奏。

不止這一家，青島新核芯拿了46臺(tái)上海微電子的90納米機(jī)型，專門做消費(fèi)電子晶圓級(jí)封裝，2024年產(chǎn)量超3200片，還接到了東南亞客戶的訂單。這批訂單以智能手表芯片封裝為主，首批500片樣品良率達(dá)96%，客戶后續(xù)又追加了2000片訂單，打破了“國產(chǎn)設(shè)備只能做內(nèi)銷”的偏見。

大族激光的接近式機(jī)型更接地氣，3到5微米分辨率剛好滿足LED驅(qū)動(dòng)芯片需求，某頭部LED企業(yè)一次訂了10臺(tái)，成本比進(jìn)口設(shè)備低30%。2025年11月更勁爆，上海芯上微裝的350nm步進(jìn)光刻機(jī)發(fā)往客戶，這機(jī)型支持SiC、GaAs等多種材質(zhì)基片，能覆蓋射頻芯片生產(chǎn)。

技術(shù)突破藏不住了，上海微電子的SSA/800-10W機(jī)型，單曝能做28納米，多曝可達(dá)11納米。工程師換了本土鏡片后，國產(chǎn)率從50%提到70%，光路對(duì)準(zhǔn)精度到了亞微米級(jí)，還解決了浸沒液控里的氣泡問題。

英諾激光供的光源也給力，120瓦功率支持多圖案工藝，能耗比進(jìn)口光源低15%。筆者認(rèn)為，最關(guān)鍵的是良率，28納米制程良率達(dá)82%，青島產(chǎn)線的曝光均勻度98%，這些都是量產(chǎn)的硬指標(biāo)。

盟友先扛不住了？

話說回來，美荷日的聯(lián)盟本就不牢固。荷蘭2023年貿(mào)易依存度150%，GDP一半靠進(jìn)出口，中國市場丟不起。ASML 2024年上半年在華收入23億歐元，占總收入49%，是實(shí)打?qū)嵉牡谝淮笫袌觥?/p>

荷蘭恩智浦也受波及，其汽車芯片在華收入占比從28%降到22%，2024年不得不重啟與中國車企的技術(shù)合作，推出適配國產(chǎn)設(shè)備的芯片設(shè)計(jì)方案。荷蘭企業(yè)協(xié)會(huì)2024年調(diào)研顯示，83%的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)認(rèn)為對(duì)華管制“損害自身利益”，ASML 20%的本土零部件供應(yīng)商，2023年對(duì)華銷售額平均降28%，有3家面臨裁員。

日本企業(yè)更難受，尼康2023年全年出貨量跌20%，訂單周期從3個(gè)月拖到6個(gè)月，只能轉(zhuǎn)產(chǎn)低精度的i-line機(jī)型。佳能2023年上半年轉(zhuǎn)向東南亞組裝后，物流成本比直接對(duì)華出口高了23%，部分低端機(jī)型價(jià)格競爭力下降，反而被國產(chǎn)設(shè)備搶了市場份額。

日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省2024年內(nèi)部報(bào)告提到，對(duì)華設(shè)備出口占比從18%降到12%后，本土廠商研發(fā)投入增速從11%掉到5%。彭博社分析，日本技術(shù)里美系成分少，和中國互補(bǔ)性強(qiáng)，根本不敢真斷供，2024年日本刻蝕設(shè)備對(duì)華出口還占12%。

2024年荷蘭先是撤了部分2023年許可證，承認(rèn)NXT:2050i沒法交付中國，轉(zhuǎn)頭又為NXT:1970i等型號(hào)申請(qǐng)對(duì)華出口許可。ASML態(tài)度也變軟，前CEO溫寧克說美國限制“不基于數(shù)據(jù)”，現(xiàn)任CEO傅恪禮在財(cái)報(bào)會(huì)承認(rèn)，中國EUV光源效率已達(dá)3.42%，接近國際水平。

突圍的底氣，從來不是單點(diǎn)突破

很多人覺得光刻機(jī)是孤軍奮戰(zhàn)，其實(shí)是全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)力。2023年中國研發(fā)投入超3萬億，其中半導(dǎo)體領(lǐng)域投入占比8%，上海微電子單家企業(yè)就砸了超百億。

“十四五”規(guī)劃還明確半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化專項(xiàng)基金規(guī)模達(dá)500億元，對(duì)研發(fā)投入的補(bǔ)貼比例最高達(dá)20%。上海張江建了“光刻機(jī)配套產(chǎn)業(yè)園”，聚集20多家零部件企業(yè)，讓上海微電子的零部件采購周期從45天縮短到28天，產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效率再提一層。

研發(fā)投入背后是人才支撐，2023年半導(dǎo)體研發(fā)人員增15%，光刻機(jī)相關(guān)人才增22%，清華、上海交大等10所高校新增“精密光電工程”專業(yè)，2024年首批錄取800多人，專門培養(yǎng)光學(xué)系統(tǒng)、精密控制人才。

市場需求是最大動(dòng)力，中國消費(fèi)全球34%的芯片，2023年集成電路產(chǎn)量3242億件。這么大的盤子，就算高端機(jī)暫時(shí)跟不上，成熟制程的國產(chǎn)替代也能撐起半邊天。2024年封測自給率達(dá)60%，2025年目標(biāo)70%。

產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同也很關(guān)鍵，比如英諾激光為配合上海微電子，投5億建研發(fā)中心，把光源功率從100瓦提到120瓦。芯碁微裝的直寫機(jī)在工博會(huì)拿了創(chuàng)新獎(jiǎng)，能和國產(chǎn)光刻機(jī)配套使用。

還有外媒態(tài)度的轉(zhuǎn)變，2023年路透只敢說“突破”，2024年彭博直接承認(rèn)“低估了中國實(shí)力”，2025年南華早報(bào)說“本土路徑已清晰”。高盛曾唱衰中國65納米落后20年，現(xiàn)在28納米量產(chǎn)、EUV專利落地，數(shù)據(jù)打了臉。

總結(jié)下來的話，美荷日的封鎖確實(shí)帶來短期壓力，但也逼出了長期突破。國產(chǎn)光刻機(jī)從封測到前道逐步覆蓋，產(chǎn)業(yè)鏈自給率逐年提升。ASML再怎么說“需求回落”，也沒法忽視中國市場的分量。這場技術(shù)博弈，中國靠全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)力和龐大市場，顯然走在了正確的路上。#發(fā)優(yōu)質(zhì)內(nèi)容享分成#