半導(dǎo)體這塊兒事兒，現(xiàn)在全球都鬧得挺兇的，尤其是光刻機(jī)這種核心玩意兒。荷蘭的ASML公司基本上壟斷了高端市場，中國芯片廠得靠這些設(shè)備才能維持生產(chǎn)線。2022年，美國開始搞出口管制，目的是卡住先進(jìn)技術(shù)往中國流。荷蘭那邊也跟著動靜，2023年上半年就準(zhǔn)備限制某些深紫外光刻機(jī)的出口。那些規(guī)定從2023年9月開始正式落地，主要針對浸沒式DUV系統(tǒng)。

中國企業(yè)一看苗頭不對，從2023年頭幾個月就啟動大采購，囤貨以防以后買不著。中芯國際和華為這些大廠加大訂單，儲備起來應(yīng)對管制。

中國企業(yè)大規(guī)模采購

中國企業(yè)敏銳地察覺到市場風(fēng)向變化，從 2023 年頭幾個月就啟動了光刻機(jī)的大采購計劃，通過囤貨的方式以防后續(xù)政策收緊導(dǎo)致買不著設(shè)備。

中芯國際作為中國規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路制造企業(yè)，率先加大了對 ASML 光刻機(jī)的訂單量，不僅采購了多臺用于成熟制程的 DUV 光刻機(jī)，還針對未來可能的技術(shù)需求，提前鎖定了部分符合當(dāng)時出口標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)備。

華為旗下負(fù)責(zé)芯片制造相關(guān)業(yè)務(wù)的實(shí)體，也聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈伙伴共同下單，儲備足夠的設(shè)備以保障自身供應(yīng)鏈的穩(wěn)定。

除了頭部企業(yè)，國內(nèi)眾多專注于特色工藝的芯片制造廠商，如華虹半導(dǎo)體、長江存儲等，也紛紛加入采購行列，這些企業(yè)主要生產(chǎn)汽車芯片、功率半導(dǎo)體、存儲芯片等，對 DUV 光刻機(jī)的需求旺盛，且當(dāng)時荷蘭尚未完全限制該類設(shè)備出口，為采購創(chuàng)造了窗口期。

據(jù) ASML 公司后續(xù)披露的銷售數(shù)據(jù)顯示，2023 年全年，該公司向中國市場售出的光刻機(jī)數(shù)量達(dá)到 257 臺，涵蓋了從干法 DUV 到浸沒式 DUV 的多個型號，交易總金額折合人民幣約 7500 億元，這一數(shù)字不僅創(chuàng)下 ASML 對中國市場的年度銷售紀(jì)錄，也讓中國成為其 2023 年全球最大的單一市場。

ASML 的市場反應(yīng)

ASML 憑借對中國市場的大規(guī)模出貨，2023 年業(yè)績實(shí)現(xiàn)顯著增長，公司財報顯示，當(dāng)年營收同比增長 34%，凈利潤同比增長 42%，中國市場貢獻(xiàn)的營收占比從 2022 年的 15% 提升至 2023 年的 28%，成為推動公司業(yè)績增長的核心動力。

ASML 首席執(zhí)行官在財報電話會議中表示，中國市場的需求具有很強(qiáng)的持續(xù)性，公司在遵守荷蘭政府出口規(guī)定的前提下，會繼續(xù)為中國客戶提供符合要求的設(shè)備及售后服務(wù)，同時強(qiáng)調(diào)全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的穩(wěn)定需要各國企業(yè)的共同維護(hù)，過度的技術(shù)限制不利于行業(yè)發(fā)展。

與此形成對比的是，部分外媒對 ASML 向中國大量出售光刻機(jī)的行為表達(dá)了擔(dān)憂，甚至用 “恐‘滅頂之災(zāi)’” 來形容這一情況。

《華爾街日報》在相關(guān)報道中稱，大量 DUV 光刻機(jī)流入中國，可能幫助中國企業(yè)進(jìn)一步提升芯片制造技術(shù)，縮短與國際先進(jìn)水平的差距，長期來看會削弱歐美國家在半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)壟斷地位

《日經(jīng)亞洲評論》則指出，中國企業(yè)通過采購設(shè)備積累了更多的操作經(jīng)驗與技術(shù)數(shù)據(jù)，可能為后續(xù)自主研發(fā)光刻機(jī)奠定基礎(chǔ)，一旦中國實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的自主可控，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場的格局將發(fā)生重大變化，歐美設(shè)備廠商將面臨激烈競爭。

后續(xù)影響

隨著 257 臺光刻機(jī)陸續(xù)交付并投入使用，中國芯片制造產(chǎn)能得到顯著提升。中芯國際利用新采購的浸沒式 DUV 光刻機(jī)，進(jìn)一步優(yōu)化了 14 納米制程的生產(chǎn)工藝，良率從之前的 85% 提升至 92%，同時開始嘗試通過 N+1 工藝實(shí)現(xiàn) 7 納米芯片的生產(chǎn)。

長江存儲則借助新設(shè)備，擴(kuò)大了 3D NAND 閃存芯片的產(chǎn)能，月產(chǎn)量從 2023 年初的 10 萬片晶圓提升至年底的 18 萬片晶圓，有效緩解了國內(nèi)存儲芯片依賴進(jìn)口的局面。

在提升產(chǎn)能的同時，中國芯片企業(yè)也沒有停止技術(shù)探索的步伐。多家企業(yè)聯(lián)合國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)，針對光刻機(jī)的核心部件開展研發(fā)，如光學(xué)鏡頭、精密導(dǎo)軌、激光光源等。

雖然目前尚未實(shí)現(xiàn)完全自主替代，但在部分關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域已取得突破，如上海微電子裝備集團(tuán)研發(fā)的 28 納米制程 DUV 光刻機(jī)，已完成樣機(jī)測試并進(jìn)入小批量生產(chǎn)階段，為后續(xù)進(jìn)一步突破先進(jìn)制程設(shè)備奠定了基礎(chǔ)。

結(jié)語

荷蘭向中國售出 257 臺光刻機(jī)這一事件，不僅是一次大規(guī)模的商業(yè)交易，更折射出全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈相互依存的現(xiàn)實(shí)。

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)深度融合的背景下，技術(shù)的流動與合作本應(yīng)是推動行業(yè)發(fā)展的動力，而過度的技術(shù)限制與貿(mào)易壁壘，只會破壞產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定，阻礙全球科技進(jìn)步。

中國通過合理的設(shè)備采購，既滿足了自身芯片制造的需求，也為全球半導(dǎo)體市場注入了活力，同時中國企業(yè)在提升產(chǎn)能的過程中，不斷加大技術(shù)研發(fā)投入，展現(xiàn)出推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展的決心。

未來，只有堅持開放合作、互利共贏的原則，打破技術(shù)壟斷與壁壘，才能實(shí)現(xiàn)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，為人類科技進(jìn)步貢獻(xiàn)更多力量。