邏輯:據(jù)財聯(lián)社8月14日新聞,中國第一臺商業(yè)化的電子束光刻機“羲之”已進入應用測試階段,光刻機的精度能夠媲美國外主流設備。這標志著,中國的量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。
據(jù)報道,該電子束光刻機相比較傳統(tǒng)光刻機,不需要掩膜版??赏ㄟ^高能電子束直接在硅基上寫電路,精度達到0.6納米,線寬8納米。而且該電子束光刻機專攻量子芯片、新型半導體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)。
電子束光刻機的面世意義重大,因為國外長期對我國實行半導體設備出口管制,中國的科學家很難買到電子束光刻機。如今中國成功研發(fā)了電子束光刻機,不僅填補了國內(nèi)技術的空白,而且由于性價比高,吸引了很多國內(nèi)科研機構(gòu)合作。據(jù)《ZAKER》8月16日報道,目前已有復旦大學、華為海思等 12 家科研機構(gòu)搶先簽約,拿下電子束光刻機訂單。
受此消息影響,近期相關公司紛紛走強。
下面是電子束光刻機11家核心概念公司名單,建議點贊收藏:
第11家,博眾精工,公司是國內(nèi)智能化生產(chǎn)解決方案領域行業(yè)領軍企業(yè)之一。電子束光刻機需要高穩(wěn)定度直流高壓電源,公司能夠提供相應的電源解決方案,填補了國內(nèi)技術空白。公司屬于產(chǎn)業(yè)鏈上游
第10家,東方中科,公司是中科院旗下,國內(nèi)領先的電子測試測量領域綜合服務商。公司有電子束偏轉(zhuǎn)器控制方案,可應用于電子束光刻、電子掃描顯微鏡等場景。公司屬于產(chǎn)業(yè)鏈上游
第9家,思泰克,公司參股華睿芯材3.75%的股份,華睿芯材擁有電子束光刻膠和高速 3D 打印光刻膠等系列產(chǎn)品,公司屬于產(chǎn)業(yè)鏈上游
第8家,華懋科技,公司是汽車安全氣囊布龍頭企業(yè)。公司參股徐州博康,徐州博康已有電子束光刻膠產(chǎn)品,該產(chǎn)品能夠標準化和定制化,目前已有數(shù)十家企業(yè)和高校是公司的電子束光刻膠客戶。公司屬于產(chǎn)業(yè)鏈上游
第7家,波長光電,公司是國內(nèi)精密光學元件、組件的主要供應商,主營激光光學、紅外光學產(chǎn)品。公司在今年5月和浙江大學合作,共同研發(fā)高端光學器件。公司在研項目包括電子束光刻(EBL)等核心工藝
第6家,路維光電,公司是國內(nèi)先進封裝掩膜版龍頭,是多個領先封測廠的頭部供應商。公司已經(jīng)針對應用于電子束光刻的掩膜版技術開展了研究
第5家,芯碁微裝,公司是國內(nèi)直寫光刻設備領軍企業(yè),在微納直寫光刻領域構(gòu)建了“光、機、電、軟、算”全棧技術體系。公司的直寫光刻機與電子束光刻是競爭關系。
第4家,蘇大維格,公司是國內(nèi)少數(shù)既從事裝備制造又從事產(chǎn)品生產(chǎn)的微納光學制造企業(yè)之一。公司自研的微納光學關鍵制造設備--激光直寫光刻機和納米壓印光刻機,與電子束光刻是競爭關系。
第3家,英諾激光,公司在激光微加工領域擁有顯著的市場地位,尤其在DPSS固體激光器、超短脈沖激光器等方面具備全球領先的技術能力。公司與浙江大學共建聯(lián)合研發(fā)中心,共同促進激光技術的發(fā)展。
第2家,龍圖光罩,公司是國內(nèi)屈指可數(shù)的第三方半導體掩模版廠商,工藝水平、出貨量及市占率居國內(nèi)企業(yè)前列。公司的珠海募投項目中,目前已初步完成第三代光罩產(chǎn)品的工藝調(diào)試和樣品試制,并自主研發(fā)掌握了電子束光刻技術及PSM相移掩模版等相關技術。
第1家,冠石科技,公司主營半導體顯示器件及特種膠粘材料,應用于液晶電視、智能手機等領域。公司已有成熟的光掩膜版生產(chǎn)制造解決方案,涉及電子束光刻曝寫
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