9月5日，無錫新港集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)園舉辦了一場圍繞無錫半導(dǎo)體裝備及關(guān)鍵零部件的生態(tài)圈活動(dòng)。

乍一看，和無錫同期舉辦的大大小小的集成電路活動(dòng)相比，這場在新港產(chǎn)業(yè)園3號樓路演廳里的生態(tài)圈活動(dòng)，很難說是一場盛會(huì)——沒有酒店會(huì)議廳里的炫目燈光，沒有占據(jù)整面墻的LED巨幕，只有幾十張椅子和一個(gè)簡約的演講臺。

然而，當(dāng)會(huì)議真正開始，我們發(fā)現(xiàn)——

它低調(diào)卻不簡單。

01.

一個(gè)圈

最值得關(guān)注的有兩點(diǎn)。

首先，它聚焦的是當(dāng)前集成電路產(chǎn)業(yè)最大的痛點(diǎn)——

設(shè)備、關(guān)鍵零部件。

本次來參會(huì)的企業(yè)除了華虹半導(dǎo)體這樣的大佬級晶圓廠，還有園區(qū)內(nèi)諸多聚焦半導(dǎo)體裝備及關(guān)鍵零部件領(lǐng)域的優(yōu)秀企業(yè)，如尚鼎芯源、氟芯半導(dǎo)體等。

可能很多讀者朋友不大熟悉半導(dǎo)體制造設(shè)備和材料，簡單地說，集成電路產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)且粭l超長的“工程鏈”，制造和封測涉及十多個(gè)細(xì)分環(huán)節(jié)，這些工藝需要很多設(shè)備進(jìn)行配合，最終才能生產(chǎn)出合格的芯片。

制造高端芯片，更是需要先進(jìn)制程相關(guān)的半導(dǎo)體制造設(shè)備，而關(guān)鍵零部件則影響到裝備性能和一致性，一旦出問題就會(huì)影響芯片產(chǎn)品的良率。

近幾年，國內(nèi)集成電路制造能力在不斷追趕，但在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的博弈中，高端芯片制造設(shè)備依舊被國際巨頭壟斷，成為制約產(chǎn)業(yè)升級的核心瓶頸。

尤其和先進(jìn)制程相關(guān)的，國產(chǎn)化率目前仍然很低。生態(tài)圈活動(dòng)上，企業(yè)家們也紛紛道出了時(shí)局的艱難：

“納米級晶圓檢測設(shè)備，目前國產(chǎn)化率僅有4%左右，28nm以下結(jié)點(diǎn)基于設(shè)計(jì)和高速檢測設(shè)計(jì)缺陷，國內(nèi)仍空白”； “RPS（遠(yuǎn)程等離子源）由于其直接參與反應(yīng)腔體的特殊性，門檻極高，主要被美商MKS占據(jù)了80%的全球市場份額”； “半導(dǎo)體超聲波流量計(jì)，幾乎90%是用的日本進(jìn)口，一旦國外實(shí)施技術(shù)封鎖，相關(guān)設(shè)備的維修保障也是大問題”……

可見，中國集成電路產(chǎn)業(yè)的國產(chǎn)替代已是“箭在弦上”。

在這一背景下，我們關(guān)注到了生態(tài)圈活動(dòng)的第二大亮點(diǎn)——

需求牽引，高效對接。

這次參與路演的企業(yè)幾乎都是園區(qū)孵化的，對于這些致力于填補(bǔ)國內(nèi)空白的新興團(tuán)隊(duì)而言，他們既要有自己的“敲門磚”，也要有合適的“引路人”。

對華虹這樣的晶圓廠而言，有一個(gè)平臺能為自己篩選出高質(zhì)量高匹配度的供應(yīng)商企業(yè)，無疑可以節(jié)省大量溝通成本和經(jīng)濟(jì)成本。

因此，這場生態(tài)圈活動(dòng)目的很明確——牽線搭橋，把國內(nèi)有名的晶圓廠、整機(jī)廠請到園區(qū)里，和優(yōu)秀的關(guān)鍵設(shè)備跟零部件企業(yè)見見面、聊一聊，幫助他們解決迫在眉睫的國產(chǎn)化替代需求。

活動(dòng)休息間隙，我注意到，企業(yè)家們都三五成群，聊得熱火朝天。名片一來一回，交織成一座通往國產(chǎn)化替代的橋梁。

接下來，這里還將會(huì)常態(tài)化舉辦類似的生態(tài)圈活動(dòng)。正如無錫市產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新研究院院長胡義東所說，在展會(huì)之外，生態(tài)圈活動(dòng)真正將供需雙方聚到了一起，提供了深入交流互動(dòng)的平臺。

02.

一座基地

作為一個(gè)年輕的新園區(qū)，無錫新港集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)園打造這樣一系列生態(tài)圈活動(dòng)的底氣從何而來？

這就不得不提到園區(qū)背后的一家公司——

無錫國家集成電路設(shè)計(jì)基地有限公司（以下簡稱“集成電路公司”）。

在無錫集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展史上，這家集成電路公司扮演著一個(gè)極為重要的角色，可以說，他們既是無錫集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)的一部分，更是千禧年之后無錫集成電路產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的見證者。

上世紀(jì)80年代初，無錫被確定為國家微電子工業(yè)南方基地，被譽(yù)為中國集成電路的“黃埔軍?！薄Ｒ劳许憦貥I(yè)界的國家“908”工程，無錫開始把集成電路作為推動(dòng)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)核心戰(zhàn)略和產(chǎn)業(yè)強(qiáng)市主導(dǎo)戰(zhàn)略的重要抓手。

2001年，經(jīng)科技部批準(zhǔn)，無錫獲批全國7大國家集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)化基地之一。一年后，集成電路公司便應(yīng)運(yùn)而生，作為無錫高新區(qū)屬的一家全國資企業(yè)，肩負(fù)起國家集成電路設(shè)計(jì)（無錫）產(chǎn)業(yè)化基地（簡稱“WXICC”）的建設(shè)和運(yùn)營工作。

此后集成電路公司便步步為營，開啟了他們的進(jìn)擊之路：

他們先后承擔(dān)國家863計(jì)劃、國家核高基02專項(xiàng)，以及國家科技部、發(fā)改委、工信部多個(gè)示范平臺建設(shè)項(xiàng)目； 2018年，集成電路公司作為建設(shè)主體單位成功獲批建設(shè)國家“芯火”雙創(chuàng)基地，為集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)提供EDA設(shè)計(jì)、MPW流片、IP服務(wù)、測試服務(wù)、人才培訓(xùn)等共性技術(shù)支撐，而無錫也因此成為了全國唯一一家獲批的地級市。

目前，芯火平臺面向提升公共服務(wù)能力、助力人才培育、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈上下游互動(dòng)三個(gè)建設(shè)方向，已建成全國獨(dú)具特色的ESD可靠性測試實(shí)驗(yàn)室、晶圓測試服務(wù)中心，打造了一站式服務(wù)平臺、流片服務(wù)平臺，提供國內(nèi)外晶圓廠提供流片技術(shù)對接。

2023年，集成電路公司先后承辦了第十屆IEEE下一代電子國際學(xué)術(shù)會(huì)議、第三屆中國集成電路設(shè)計(jì)創(chuàng)新大會(huì)等行業(yè)盛會(huì)，在他們的精心運(yùn)營下，無錫高新區(qū)集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)孵化器成功獲批科技部“國家級科技企業(yè)孵化器”。

如今，這座孵化器已孵化芯朋微、力芯微等集成電路上市企業(yè)，培育出晶源微、硅動(dòng)力等一批優(yōu)秀的設(shè)計(jì)企業(yè)，服務(wù)集成電路行業(yè)企業(yè)300余家；

去年，集成電路公司接手運(yùn)營新港集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)園，也就是舉辦這個(gè)生態(tài)圈活動(dòng)的地方。

這個(gè)園區(qū)建有載體面積9.7萬平方米，集研發(fā)、生產(chǎn)、辦公、配套服務(wù)于一體，匯聚了11棟研發(fā)生產(chǎn)用房、3棟人才公寓以及1棟停車樓，設(shè)施完備，功能齊全。

接管后，公司在短短半年內(nèi)，便吸引吉佳藍(lán)、赫菲斯、晉成半導(dǎo)體等20余家在核心裝備和關(guān)鍵基礎(chǔ)零部件領(lǐng)域具備顯著競爭力的企業(yè)入駐，出租率提升至近90%，一年基本實(shí)現(xiàn)“滿園”。

03.

一片“芯”光

有人曾總結(jié)創(chuàng)新生態(tài)的“熱帶雨林”法則：

一個(gè)成熟的創(chuàng)新生態(tài)，需要大企業(yè)、高校、科研機(jī)構(gòu)、國家實(shí)驗(yàn)室等“喬木層”，也需要中小企業(yè)、孵化器、金融機(jī)構(gòu)等“灌木層”，還需要政策、市場、基礎(chǔ)設(shè)施等“土壤層”。

作為無錫唯一一座聚焦“集成電路裝備零部件”這一細(xì)分領(lǐng)域的專業(yè)特色園區(qū)，新港集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)園也在打造屬于自己的一片“雨林”。

去年9月，由無錫高新區(qū)和市產(chǎn)業(yè)研究院共同成立的無錫半導(dǎo)體裝備與關(guān)鍵零部件創(chuàng)新中心在園區(qū)揭牌成立，中心聚焦半導(dǎo)體關(guān)鍵技術(shù)，為潛力企業(yè)及項(xiàng)目提供閉環(huán)孵化。

中心采用“三位一體”發(fā)展模式，即搭建“一個(gè)創(chuàng)新中心+一個(gè)專業(yè)園區(qū)+一支股權(quán)投資基金”協(xié)同架構(gòu)，系統(tǒng)性打造從技術(shù)預(yù)研到商業(yè)化落地的“0-1-10-100”全生命周期創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)生態(tài)。

自今年4月啟用以來，創(chuàng)新中心已有遠(yuǎn)端等離子源、高純氟材料零部件等8個(gè)半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件項(xiàng)目企業(yè)落地，另有12個(gè)項(xiàng)目正在推進(jìn)中。

同時(shí)，園區(qū)專業(yè)的招商團(tuán)隊(duì)也能為企業(yè)全程提供精準(zhǔn)服務(wù)。

以韓國上市企業(yè)吉佳藍(lán)項(xiàng)目為例，從初次洽談到簽約落地僅用3 個(gè)多月，從簽約到產(chǎn)線通線也僅耗時(shí) 4 個(gè)多月，速度之快令人驚嘆。

吉佳藍(lán)廠房裝修時(shí)，園區(qū)團(tuán)隊(duì)聯(lián)動(dòng)多部門為消防、環(huán)評等審批流程按下“加速鍵”；項(xiàng)目推進(jìn)中，無論大小難題他們都第一時(shí)間協(xié)調(diào)解決，用“貼心服務(wù)” 為企業(yè)成長保駕護(hù)航。

在產(chǎn)業(yè)生態(tài)的滋養(yǎng)下，創(chuàng)新型企業(yè)迅速發(fā)展。

園區(qū)相關(guān)負(fù)責(zé)人告訴我們：

幾個(gè)月前，尚鼎芯源、氟芯半導(dǎo)體、同盛微科技等分別發(fā)布了新一代

RPS系統(tǒng)、高純氟材料部件、AC/DC及射頻電源、超聲波流量計(jì)等創(chuàng)新產(chǎn)品，研發(fā)實(shí)力不言而喻。

其中，氟芯半導(dǎo)體自主研發(fā)的濕法類設(shè)備關(guān)鍵零部件已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，并取得了邏輯代工龍頭企業(yè)的產(chǎn)品驗(yàn)證資格，目前在手訂單近千萬元，成為產(chǎn)業(yè)鏈補(bǔ)短板的新生力量。

對他們而言，國產(chǎn)化的市場空白既是挑戰(zhàn)也是機(jī)遇。

根據(jù)CINNO Research數(shù)據(jù)，2024年全球十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商主要為美國、荷蘭和日本企業(yè)，僅一家中國公司。

根據(jù)《中國??半導(dǎo)體設(shè)備??行業(yè)發(fā)展趨勢分析與未來投資研究報(bào)告（2025-2032年）》，2019年中國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率僅有7.5%。從細(xì)分產(chǎn)品來看，2023年我國檢測與量測設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、光刻機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備仍處于國產(chǎn)化替代的初級階段，國產(chǎn)化率僅為個(gè)位數(shù)。

但另一方面，2024年中國集成電路進(jìn)口額高達(dá)3856.5億美元（約合2.8萬億元人民幣）。

這就意味著，在替代進(jìn)口芯片的道路上，那些有實(shí)力的創(chuàng)新型企業(yè)一旦跨過認(rèn)可度的門檻，他們面對的將是近3萬億元的市場空間。

如今，無錫高新區(qū)正醞釀著一股集成電路裝備及零部件領(lǐng)域的突圍力量，而那些緊密鏈接上下游企業(yè)的生態(tài)圈活動(dòng)，就好似行業(yè)里的一顆星子，夜越黑，星越亮，當(dāng)行業(yè)群星閃耀時(shí)，光明如白晝。

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