Q值下降：氣體分子阻尼效應(yīng)顯著，降低器件的靈敏度和信噪比；
頻率穩(wěn)定性變差：長期使用時真空度衰減，引起輸出漂移；
產(chǎn)品合格率低：尤其在軍工、航天等領(lǐng)域，性能一致性要求極高。
標(biāo)準(zhǔn)要求：激活時腔體本底真空需優(yōu)于5×10?? mbar，激活后器件內(nèi)部真空度須長期穩(wěn)定在10?5 mbar量級。
中科同幟方案：VH系列熱激活高真空共晶爐，采用分子泵+離子泵+渦旋干泵三級泵組配置，系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10?7–10?8 mbar，遠(yuǎn)超進(jìn)口設(shè)備10?5–10?6 mbar的典型水平。
某些非蒸散型吸氣劑要求激活溫度達(dá)350–450℃，且溫度均勻性偏差需≤±1.5%。
中科同幟方案：VH系列設(shè)備采用多區(qū)獨立控溫與高熱惰性材質(zhì)加熱板，工作溫度范圍達(dá)室溫–450℃，均勻性可達(dá)±1%（實測數(shù)據(jù)），支持頂部/底部雙模式加熱，滿足各類吸氣劑材料的激活需求。
激活過程中需避免油蒸汽污染、微粒脫落和氧化風(fēng)險。
中科同幟方案：全無脂VCR密封接口、腔內(nèi)電解拋光（EP）處理、可選配百級潔凈腔體環(huán)境（SHV系列），同時工藝過程支持多組配方儲存與調(diào)用，保障大批量生產(chǎn)中的工藝一致性。
本底真空僅能達(dá)到3×10?5 mbar，吸氣劑激活率不足70%；
設(shè)備升溫速率慢（≤2℃/s），工藝周期長；
售后響應(yīng)慢，工藝調(diào)試支持不足。
本底真空穩(wěn)定在5×10?7 mbar，激活后器件內(nèi)部真空度全部優(yōu)于2×10?5 mbar；
激活溫度均勻性≤±1.5%，激活成功率提升至98.5%以上；
配備工藝支持團(tuán)隊現(xiàn)場調(diào)試，提供真空度監(jiān)測與吸氣劑激活工藝包。
極限真空與抽氣能力：至少優(yōu)于5×10?? mbar，泵組應(yīng)滿足快速抽氣與極高真空維持能力；
溫度范圍與均勻性：室溫–450℃，均勻性優(yōu)于±2%；
潔凈度與控制功能：腔體宜采用EP拋光，具備多階溫度-真空程序控制功能；
廠商技術(shù)背景與服務(wù)：需考察廠商在超高真空、熱工藝領(lǐng)域的技術(shù)積累及售后響應(yīng)速度。

"激活小于10?5mbar的超凈真空環(huán)境，讓陀螺儀精度躍升一個數(shù)量級！"

在半球諧振陀螺儀（HRG）等精密慣性器件的封裝工藝中，吸氣劑的熱激活是提升和維持器件內(nèi)部超高真空環(huán)境的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。真空度的穩(wěn)定性直接關(guān)系到器件的品質(zhì)因數(shù)（Q值）、長期漂移性能和服役壽命。許多陀螺儀生產(chǎn)單位在吸氣劑激活工藝中面臨真空度不足、激活不徹底、工藝一致性差等痛點，直接影響最終產(chǎn)品的性能和可靠性。

一、為什么半球陀螺儀的封裝必須達(dá)到超高真空？

半球陀螺儀依靠內(nèi)部諧振結(jié)構(gòu)在真空環(huán)境中的高頻振動來測量角速度。若真空度不足或無法長期維持，會導(dǎo)致：

吸氣劑（Getter）通過熱激活后，能在器件內(nèi)部長期吸附殘余氣體分子，將真空度維持在10?5–10?6 mbar水平，這是高精度半球陀螺儀穩(wěn)定工作的基礎(chǔ)。

二、吸氣劑熱激活的三大工藝挑戰(zhàn)與解決路徑

1. 真空度必須極高且穩(wěn)定

2. 激活溫度與溫控精度要求嚴(yán)苛

3. 工藝可重復(fù)性與防止污染

三、實測案例：某航天器件研究所陀螺儀量產(chǎn)項目

該所原采用進(jìn)口熱激活設(shè)備，但在小批量試產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)：

切換至中科同幟VH2型熱激活高真空共晶爐后

• 【工廠直播間】
  在中科同幟萬級凈化車間內(nèi)，VH2設(shè)備正在執(zhí)行某型航天陀螺儀吸氣劑激活工藝。通過觀察窗可清晰看到腔內(nèi)石墨載具平穩(wěn)升降，實時真空計顯示壓力值為4.2×10?7 mbar。工程師正記錄激活過程中的溫度-真空度曲線，確保每批次工藝數(shù)據(jù)可追溯。

四、選型熱激活設(shè)備需關(guān)注的4個核心指標(biāo)

五、中科同幟半導(dǎo)體官方思考

在高端慣性器件、原子鐘、紅外探測器等領(lǐng)域，真空封裝已從“輔助工藝”轉(zhuǎn)變?yōu)椤昂诵墓に嚒杯h(huán)節(jié)。中科同幟依托與中科院相關(guān)院所共建的“先進(jìn)封裝聯(lián)合實驗室”，在超高真空獲得、高溫精密控溫、活性氣氛控制等方向持續(xù)攻關(guān)。
我們理解，客戶需要的不僅是一臺設(shè)備，更是一套經(jīng)得起航天、軍工級驗證的工藝解決方案。因此，VH系列熱激活高真空共晶爐從設(shè)計之初就對標(biāo)國際頂尖設(shè)備，并在真空度、溫度控制、潔凈設(shè)計等關(guān)鍵指標(biāo)上實現(xiàn)超越。

結(jié)語

“超高真空環(huán)境不再是實驗室的專利，而是高端器件量產(chǎn)合格的標(biāo)配?！?中科同幟半導(dǎo)體深耕真空工藝設(shè)備20年，堅持用實測數(shù)據(jù)和服務(wù)口碑打動每一個嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓に噲F(tuán)隊。

中科同幟半導(dǎo)體（江蘇）有限公司持續(xù)輸出產(chǎn)業(yè)干貨，點個關(guān)注，轉(zhuǎn)給負(fù)責(zé)采購、技術(shù)或者工藝的同事，少踩坑。

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