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全國首條 8 英寸 MEMS 晶圓全自動生產(chǎn)線
近日，由中電二公司承建、安徽華鑫微納投資的中國蚌埠傳感谷 8 英寸 MEMS 晶圓生產(chǎn)線 EPC 項目首批產(chǎn)品下線，標(biāo)志全國首條 8 英寸 MEMS 晶圓全自動生產(chǎn)線、首條工藝設(shè)備配套齊全的壓電 MEMS 量產(chǎn)線投產(chǎn)，意義重大。
該項目是國家級重點(diǎn)項目，2022 年 6 月中電二公司中標(biāo)，總投資 50.6 億元，占地 79 畝，建筑面積 6 萬平方米，定位國內(nèi)領(lǐng)先的 MEMS 晶圓代工企業(yè)及 “開放式、定制化 MEMS 代工平臺基地”，全部投產(chǎn)后月產(chǎn) 3 萬片晶圓，將成國內(nèi)產(chǎn)出最大的 MEMS 全自動晶圓生產(chǎn)線，產(chǎn)品覆蓋慣性傳感器等，應(yīng)用于多領(lǐng)域。
建設(shè)中，中電二公司以 “精益建造” 理念，組建專業(yè)團(tuán)隊，全鏈協(xié)同推進(jìn)，攻克高支模等難題，推行正向設(shè)計、防微振等技術(shù)，如制冷系統(tǒng) SCOP 從 4.5 升至 5.5，年省電費(fèi)超 235 萬元，還實施顏色管理提升品質(zhì)，獲 “優(yōu)秀承包商” 等榮譽(yù)。
作為安徽 “三谷” 之一，該項目助力蚌埠傳感產(chǎn)業(yè)升級，也為中國智能傳感器產(chǎn)業(yè)注入動能。當(dāng)前中國傳感谷已入選全國十大 MEMS 特色產(chǎn)業(yè)園區(qū)，集聚 200 余家企業(yè)，成長三角傳感產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵力量。
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點(diǎn)擊參與：（2025年10月22-24日）
點(diǎn)擊報名：?。?1月5日-7日）
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