英國金融時(shí)報(bào)在2025年9月16日拋出一篇報(bào)道，說中芯國際已經(jīng)在試用本土生產(chǎn)的深紫外光刻設(shè)備，這事一出，全球半導(dǎo)體圈子都炸了鍋。報(bào)道里提到，這臺(tái)機(jī)器出自上海一家叫裕量晟的公司，基本能搞定28納米的工藝，通過多重圖案化還能勉強(qiáng)推到7納米級別。

裕量晟是2020年左右冒出來的企業(yè)，背后有深圳矽捷的影子，后者是它的股東，還在搞一個(gè)叫“珠穆朗瑪”的極紫外項(xiàng)目，不過那還早著呢。美國那邊從2023年開始就加強(qiáng)了對這類設(shè)備的出口管制，荷蘭也跟著收緊，ASML的最新型號根本進(jìn)不來中國。這次本土設(shè)備的測試，直接戳到美國封鎖策略的痛點(diǎn)，因?yàn)樗馕吨袊谙冗M(jìn)芯片制造上能少看別人臉色。

報(bào)道的細(xì)節(jié)挺具體，裕量晟的機(jī)器用的是浸沒式技術(shù)，跟ASML的DUV類似，但部件大部分本土化了。有些關(guān)鍵零件還得從國外拿，不過計(jì)劃是逐步全換成國內(nèi)的。中芯國際的測試線設(shè)在上海廠區(qū)，初期數(shù)據(jù)看起來還行，但產(chǎn)量和穩(wěn)定性比進(jìn)口的差一截。

專家說，這種機(jī)器要真正上大規(guī)模生產(chǎn)，至少得再調(diào)一年，良率才能穩(wěn)住。Tom＇s Hardware在9月17日跟進(jìn)，說這步標(biāo)志著中國在晶圓廠設(shè)備自給自足上邁出大步，雖然距離臺(tái)積電的2納米還有差距，但對中端芯片需求夠用了。全球芯片市場份額里，7納米以下的只占10%，大部分高端需求28納米就能蓋住，這讓中國在人工智能和計(jì)算領(lǐng)域多出不少回旋空間。

美國從2024年1月起，荷蘭就吊銷了ASML NXT:2050i和2100i對中國出口的許可，9月又加碼，連1970i和1980i也得批。連維修零件和軟件更新都卡著，這逼得中國企業(yè)加速本土化。裕量晟的設(shè)備原型在2024年中組裝好，實(shí)驗(yàn)室調(diào)試半年后才移到中芯。組裝用掉五千多個(gè)零件，光學(xué)鏡頭部分參考了德國蔡司的授權(quán)，但核心軟件是自己寫的。測試時(shí)，用了高精度儀器監(jiān)測圖案偏差，曝光前得校準(zhǔn)掩膜位置，誤差控制在0.1納米內(nèi)。初步良率在28納米下能到70%，7納米得加曝光次數(shù)，周期長20%。這數(shù)據(jù)雖不完美，但對擺脫依賴是關(guān)鍵一步。

行業(yè)分析說，中國芯片產(chǎn)能在2026年要翻三倍，主要靠之前囤的ASML老設(shè)備，本土機(jī)器預(yù)計(jì)2027年才能批量上。TrendForce在2025年9月17日報(bào)道，裕量晟和矽捷合作，矽捷從2018年起就專攻芯片設(shè)備，曾參與國家項(xiàng)目。這合作分擔(dān)了風(fēng)險(xiǎn)，避免一家扛。測試擴(kuò)展到多層布線，確保跟現(xiàn)有流程接得上。中芯工程師記錄曝光劑量和線寬曲線，高劑量能改善邊緣粗糙度。國際貨幣基金在2025年秋報(bào)告里提，半導(dǎo)體技術(shù)轉(zhuǎn)移會(huì)重塑貿(mào)易格局。中國商務(wù)部回應(yīng)時(shí)，只說支持企業(yè)創(chuàng)新，不談細(xì)節(jié)。

網(wǎng)上討論熱烈，X平臺(tái)上有人貼出報(bào)道截圖，說這事讓ASML股價(jià)晃了晃，投資者怕丟中國市場。英偉達(dá)老總黃仁勛2024年就說過，制裁會(huì)逼中國自研快點(diǎn)，現(xiàn)在看來沒錯(cuò)。另一個(gè)帖子提，中國曾試著拆ASML的DUV機(jī)器逆向工程，結(jié)果拆壞了，還得叫廠家修，這暴露了技術(shù)門檻高。拆解時(shí)光學(xué)組件熱膨脹問題導(dǎo)致偏移0.5納米，得調(diào)冷卻系統(tǒng)。全球半導(dǎo)體協(xié)會(huì)9月下旬報(bào)告，中國本土DUV驗(yàn)證會(huì)重構(gòu)供應(yīng)鏈，到2027年能部分替進(jìn)口用于中端生產(chǎn)。

中芯國際測試焦點(diǎn)在穩(wěn)定性，光源用本土氬氟激光，功率每小時(shí)幾百瓦，確保不中斷。團(tuán)隊(duì)分小組，一組調(diào)涂布和曝光參數(shù)，一組查顯影圖案。設(shè)備極限下能近5納米，但產(chǎn)量低，適合AI芯片小批量。華為昇騰和寒武紀(jì)這些國產(chǎn)AI廠商，能借這多出算力基礎(chǔ)。英特爾和高通壟斷先進(jìn)市場，最怕中國突破后，用產(chǎn)業(yè)整合搶話語權(quán)。中國能從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)一條龍，全球少見，美國競爭難。

報(bào)道后，荷蘭重申出口政策隨盟友調(diào)，美國商務(wù)部說會(huì)監(jiān)視，但沒新招。裕量晟團(tuán)隊(duì)有前華為工程師，帶進(jìn)芯片優(yōu)化經(jīng)驗(yàn)，加速迭代。測試一千片晶圓計(jì)劃到2025年底完，評長期靠度。Fudzilla在9月17日說，中芯想用老ASML翻產(chǎn)能，但本土機(jī)是長遠(yuǎn)出路。Digitimes報(bào)道，中國減ASML依賴，從低端90納米光刻機(jī)已量產(chǎn)，現(xiàn)在推到55/65納米。

中國兩條腿走路，一邊追EUV，一邊探新路徑。物理極限下，1納米后技術(shù)不確定，給追趕時(shí)間。矽捷的珠穆朗瑪項(xiàng)目早階段，焦點(diǎn)在光源和光學(xué)。全球AI革命靠先進(jìn)芯片，20萬億市場，美國管英特爾AI芯片出口，遏中國發(fā)展?，F(xiàn)在中國自主5納米，就從訓(xùn)練到推理不求人。華為等巨頭正面拼算力地基，美國份額縮。

X上有人說，中國DUV問世讓西方慌，ASML背后是美歐聯(lián)盟，早期扶植打敗尼康佳能。ASML用臺(tái)積電浸沒方案，集全球五千供應(yīng)商十萬零件。美國主導(dǎo)話語，現(xiàn)在中國一己之力造出，丟王牌。以前中國市場大，讓ASML英偉達(dá)幫說話，現(xiàn)在有技術(shù)，話語更重。中國輸出不只芯片，還有生態(tài)，美國怎么比？

報(bào)道權(quán)威，金融時(shí)報(bào)引知情人，中芯低調(diào)，但通過華為麒麟可見一斑。這事投下炸彈，美國鎖芯計(jì)劃崩。28納米分界，高于是成熟，低于是先進(jìn)，DUV橋接，蓋90%高端需求。7納米下占10%，但中國造出，產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)，其他科技難封。

這進(jìn)展雖非顛覆，但注入信心。半導(dǎo)體協(xié)會(huì)報(bào)告，技術(shù)轉(zhuǎn)移影響貿(mào)易。中國支持創(chuàng)新，測試推進(jìn)，用自動(dòng)化軟控曝光，提高效率15%。地緣因素影響科技，美國策略考驗(yàn)。

全球市場調(diào)整，英特爾三星評估競爭。中國產(chǎn)能擴(kuò)，靠本土機(jī)長遠(yuǎn)。整體，這事標(biāo)志中國半導(dǎo)體自立邁步，美國不愿見，但發(fā)生。全球科技話語移，中國份額大。

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