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中國自主研發(fā)突破封鎖,荷蘭光刻機(jī)神話破滅,該來的終究還是會(huì)來

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半導(dǎo)體這行當(dāng),本來就是全球分工合作的產(chǎn)物,可從2019年起,美國就開始攪局,推動(dòng)荷蘭的ASML公司限制向中國出口極紫外光刻機(jī),這種機(jī)器是做5納米以下芯片的核心家伙。荷蘭政府頂不住壓力,從那時(shí)候起,ASML就沒再賣給中國大陸一臺這樣的設(shè)備。中國企業(yè)一下子卡在高端芯片生產(chǎn)上,因?yàn)槿澜缇虯SML一家壟斷了這技術(shù)。

2020到2022年,美國禁令越擴(kuò)越大,還把更多設(shè)備和軟件拉進(jìn)去。ASML的老板彼得·溫寧克說過好幾次,公司得遵守這些管制,但中國市場占他們銷售額兩成多,這損失可不小。2022年,美國又逼荷蘭加碼,禁止ASML給中國提供部分深紫外光刻機(jī)的維修服務(wù)。到了2023年1月,荷蘭正式下文,限制ASML對華出口先進(jìn)浸沒式深紫外光刻機(jī)。

中國企業(yè)沒坐以待斃,轉(zhuǎn)頭囤貨,2022和2023年從ASML買了大量沒禁的深紫外機(jī)器,花了超744億人民幣。這些機(jī)器主要用來做7納米工藝,通過多重曝光湊合著用,頂上極紫外機(jī)的空缺。中芯國際這些廠家靠庫存撐著生產(chǎn)線,還啟動(dòng)本土替換方案。采購時(shí),企業(yè)得協(xié)調(diào)物流,從荷蘭港口運(yùn)到中國廠房,安裝調(diào)試得花好幾周,倉庫還得配恒溫系統(tǒng)防老化。ASML早期還給點(diǎn)技術(shù)支持,但管制緊了就少了。中國半導(dǎo)體協(xié)會(huì)開會(huì)分享經(jīng)驗(yàn),政府出錢幫著囤。

2023年進(jìn)口量創(chuàng)紀(jì)錄,有些企業(yè)提前付定金鎖貨。ASML財(cái)報(bào)里,中國訂單占比明顯漲。企業(yè)內(nèi)部改生產(chǎn)線,加備用機(jī)防故障。技術(shù)員自學(xué)維修手冊,培訓(xùn)上百人。市場數(shù)據(jù)說,這策略短期穩(wěn)住了產(chǎn)量,但耗材供應(yīng)成隱患。國際貿(mào)易數(shù)字顯示,2022年中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口猛增。企業(yè)間共享數(shù)據(jù),調(diào)工藝參數(shù)。2023年中,7納米芯片產(chǎn)量穩(wěn)升。

政府政策推本土配件,延長設(shè)備命。行業(yè)報(bào)告講,這幫中國半導(dǎo)體過初始難關(guān)。談判桌上,中國企業(yè)和ASML代表見面好多次,敲合同細(xì)節(jié)保交付。物流混??者\(yùn),減延誤。設(shè)備校準(zhǔn)用精密儀器驗(yàn)。企業(yè)投自動(dòng)化監(jiān)運(yùn)行。2024年,美國禁令擴(kuò)到更多部件,中國企業(yè)盤庫存,估壽命。ASML報(bào)告,中國訂單還重,但管制顯效。企業(yè)轉(zhuǎn)二手市場,收海外閑置機(jī)。

拆解組記關(guān)鍵參數(shù)。維修課全國開,工程師參與。協(xié)會(huì)發(fā)指南,幫中小企業(yè)。2025年,中國囤的ASML設(shè)備夠數(shù)月用,還逆向研究深紫外型。10月,一臺拆機(jī)壞了,ASML人幫修,但暴露維修短板。同期,國產(chǎn)光刻機(jī)國產(chǎn)率到45%,含鏡頭軟件自主件。這些事一步步推,成中國半導(dǎo)體對封鎖的完整鏈。


中國科研和企業(yè)加碼投錢,推光刻機(jī)自研。上海微電子從2010年代搞起,2021年出90納米機(jī)。2025年,他們28納米浸沒式深紫外機(jī)進(jìn)驗(yàn)證,但極紫外還預(yù)研。8月,AMIES出貨第500臺步進(jìn)式光刻機(jī)。國家集成電路基金增資,攻光源鏡頭。2023年8月,華為Mate 60 Pro上麒麟9000S,由中芯國際7納米做,用深紫外多曝,實(shí)現(xiàn)衛(wèi)星通5G。拆解看,性能近高通驍龍888。美國商務(wù)部長吉娜·雷蒙多說這芯片落后幾年,但認(rèn)中國進(jìn)步。

2024年,中芯國際試5納米,靠進(jìn)口庫存。中國科學(xué)院光電所開發(fā)氟化氬源,2024測分辨率65納米。2025年1月,企業(yè)公極紫外源突破,用激光等離子體產(chǎn)13.5納米光。3月,國家投430億美元,研極紫外機(jī),目標(biāo)2026小產(chǎn)。7月,囤ASML庫存夠月用,逆向深紫外。上海微電子推28納米機(jī),計(jì)劃2027進(jìn)7納米產(chǎn)。華為2025年出Pura 80系列,用麒麟9020,銷量超1億臺。麒麟9030年底上Mate 80。中芯國際5納米開發(fā)完,但成本比臺積電高50%,良率33%。

全球純代工,中芯國際排第三。2025年,中芯國際7納米良率升,國產(chǎn)設(shè)備滲率從2023年15%到2025年30%。納米壓印光刻突圍,璞璘科技出裝置。電子束光刻機(jī)也產(chǎn)品化。哈爾濱工業(yè)大學(xué)獲獎(jiǎng),放電等離子體極紫外源,高轉(zhuǎn)換效,低成本。上海光機(jī)所EUV源,轉(zhuǎn)換效近6%。復(fù)旦大學(xué)不靠EUV做芯片,破限。清華SSMB-EUV原理,2025出整機(jī)。2025年6月,光刻機(jī)替代加速,DUV透鏡進(jìn)供應(yīng)鏈,擬啟動(dòng)紫外檢測樣機(jī)。長江存儲(chǔ)232層NAND秀實(shí)力。這些進(jìn)展實(shí)打?qū)崳繄F(tuán)隊(duì)鉆研,資金堆,產(chǎn)業(yè)鏈配合。

這些突破讓ASML股價(jià)晃,2025年?duì)I收預(yù)期降10%,中國訂單少。公司總裁克里斯托夫·富凱警告,中國自研3年內(nèi)蓋成熟工藝,西管制失效。公司轉(zhuǎn)其他市場,認(rèn)中國超預(yù)期。美國審ASML鏈,2024年10月擴(kuò)禁部件。中國企業(yè)續(xù)投,華為團(tuán)隊(duì)擴(kuò)數(shù)萬。ASML領(lǐng)全球,但中國份額從29%降15%。中國半導(dǎo)體自給2025年50%,管制弱,格局變。

2025年10月,中國稀土管制,境外含中國稀土超0.1%需批。ASML用稀土磁鐵電池,CEO說庫存夠撐短期。荷蘭2025出口新規(guī),限從7納米到14納米,審期長。中國大陸1027臺ASML機(jī),三成配件斷。中芯國際一臺2022年8000萬美元深紫外機(jī),超期三月未換氟化氬。ASML中國銷2026回落,2025占42%。中國稀土管制警示,美壓升級。

商務(wù)部2025年第61號,管稀土。ASML備稀土限,信供應(yīng)穩(wěn)。但全球鏈影響大,地緣加不確定。ASML說2026銷不低于2025。安世半導(dǎo)體出口禁近月,傳部分解。中國市場需強(qiáng),ASML中國銷比25%略高。半導(dǎo)體戰(zhàn)火升,稀土限擊ASML。產(chǎn)業(yè)重構(gòu),中國韌性顯。

全球芯片場,無聲較量拉開:外封層層碼,中國力悄升,控核心技定主導(dǎo)。這歷程轉(zhuǎn)折多,未知懸。


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