說(shuō)起芯片制造這塊兒，EUV光刻機(jī)就是那把最鋒利的刀子，沒(méi)它，7納米以下的先進(jìn)制程根本玩不轉(zhuǎn)。全球就荷蘭的ASML一家在賣這種機(jī)器，價(jià)格貴得離譜，一臺(tái)上億歐元不說(shuō)，還得整個(gè)工廠改建才能裝下。很多人直呼ASML牛逼，技術(shù)老大非它莫屬。

ASML的厲害在于它會(huì)當(dāng)“總導(dǎo)演”，把全世界的技術(shù)高手拉一塊兒，拼出一臺(tái)完整的EUV機(jī)。但核心部件呢？光源、鏡面、精密臺(tái)，這些關(guān)鍵玩意兒，它基本都靠外包。

尤其是那套光學(xué)系統(tǒng)，全球就德國(guó)蔡司一家能搞定，沒(méi)它，EUV鏈條直接癱瘓。所以，真正卡脖子的那位大哥，其實(shí)是蔡司。數(shù)據(jù)擺在那兒，全球80%的芯片光學(xué)組件都出自蔡司手筆。

蔡司從光學(xué)小作坊到EUV鏡面霸主的底氣

蔡司這家公司，根兒老得發(fā)霉了，得從1816年說(shuō)起。那年，卡爾·蔡司在德國(guó)一個(gè)小鎮(zhèn)出生，本來(lái)家里是干木匠活兒的，他從小就對(duì)精密東西感興趣。大學(xué)念物理和數(shù)學(xué)，畢業(yè)后先在藥房混，負(fù)責(zé)磨玻璃啥的，但很快就自己?jiǎn)胃桑?846年在耶拿開了間小光學(xué)作坊。

起步時(shí)就盯著顯微鏡這塊兒，因?yàn)楫?dāng)時(shí)醫(yī)學(xué)和科學(xué)界正缺好工具放大細(xì)胞啥的。他手工打磨鏡片，慢慢做出第一批產(chǎn)品，質(zhì)量過(guò)硬，很快就賣到大學(xué)和醫(yī)院。1857年，推出復(fù)合顯微鏡，能放大幾百倍，那時(shí)候的科學(xué)家用它看清細(xì)菌結(jié)構(gòu)，訂單刷刷上來(lái)。

到1866年，蔡司拉上恩斯特·阿貝，這位物理學(xué)家?guī)?lái)衍射理論，幫他解決色差問(wèn)題。兩人搭檔，產(chǎn)品直線上升。1872年，阿貝發(fā)明消色差物鏡，成像不模糊了，顯微鏡銷量翻倍。

接著1883年，奧托·肖特加入，搞出高純度玻璃配方，鏡片折射率穩(wěn)如老狗。這仨人合力，把蔡司從作坊變成光學(xué)巨頭。1888年蔡司去世后，阿貝接棒，設(shè)基金會(huì)模式，利潤(rùn)全投研發(fā)，不讓資本家亂來(lái)。到20世紀(jì)初，蔡司鏡頭用到攝影機(jī)和天文望遠(yuǎn)鏡，出口全球。

二戰(zhàn)打亂節(jié)奏，德國(guó)分裂，東德耶拿廠做消費(fèi)光學(xué)，西德奧伯科亨廠轉(zhuǎn)軍工和工業(yè)。戰(zhàn)后統(tǒng)一進(jìn)程慢，1950年代西德蔡司開始碰半導(dǎo)體，1968年就給Telefunken供光刻鏡頭。

那時(shí)候集成電路剛起步，光刻機(jī)還用可見光，蔡司的玻璃鏡片就占大頭。1977年，蔡司正式進(jìn)軍半導(dǎo)體光學(xué)，針對(duì)步進(jìn)式光刻機(jī)優(yōu)化設(shè)計(jì)。1980年代，芯片節(jié)點(diǎn)從10微米縮到亞微米，蔡司跟上節(jié)奏，開發(fā)浸沒(méi)式光學(xué)系統(tǒng)，用液體介質(zhì)提高分辨率。

轉(zhuǎn)折點(diǎn)在1983年，蔡司啟動(dòng)EUV預(yù)研。那時(shí)候EUV還只是實(shí)驗(yàn)室概念，波長(zhǎng)13.5納米的光，穿透力弱得在空氣里就散了，得用真空和反射鏡。蔡司砸錢建實(shí)驗(yàn)室，專攻多層涂層鏡面，鉬硅材料一層一層堆，厚度控制在納米級(jí)。

1990年代，兩德統(tǒng)一后，蔡司整合資源，1991年和ASML簽聯(lián)盟協(xié)議。ASML當(dāng)時(shí)還小，靠蔡司的DUV光學(xué)起家。1995年，雙方在奧伯科亨開EUV研討會(huì)，敲定合作框架。蔡司的貢獻(xiàn)不小，它提供投影系統(tǒng)原型，測(cè)試時(shí)分辨率已到22納米。

到2000年，歐盟IMEC項(xiàng)目拉蔡司入伙，共享數(shù)據(jù)，資金到位建新廠。蔡司光學(xué)出口破億歐元，專利庫(kù)囤積上千項(xiàng)。2012年，第一批商用EUV光學(xué)交付三星，里面投影鏡組重2噸，零件2萬(wàn)個(gè)。蔡司的Starlith系列問(wèn)世，照明和投影一體，效率高到70%以上。

蔡司的EUV光學(xué)直接決定芯片良率，沒(méi)它，曝光圖案就歪。2025年，蔡司慶祝EUV光學(xué)30周年，投射結(jié)構(gòu)已低于10納米，支撐AI和量子芯片。它的底氣，就在于從顯微鏡時(shí)代攢下的光學(xué)積累，別人抄都抄不來(lái)。

ASML的拼圖游戲：整合高手，但離不開蔡司的鏡子

ASML這公司，1984年在荷蘭 Eindhoven 成立，本來(lái)是飛利浦的子公司，起步做DUV光刻機(jī)。1990年代，芯片縮到65納米，傳統(tǒng)光源不夠用，ASML押注EUV，和蔡司、美國(guó)能源部實(shí)驗(yàn)室聯(lián)手。

2006年，第一臺(tái)EUV原型機(jī)出爐，但產(chǎn)量低，良率慘。2010年后，ASML優(yōu)化供應(yīng)鏈，才慢慢商用。2025年，ASML壟斷EUV市場(chǎng)，100%份額，高NA版本計(jì)劃交付，重量15萬(wàn)公斤，長(zhǎng)14米，專為2納米節(jié)點(diǎn)。

可ASML的牛逼，在于它不自己造核心部件，而是當(dāng)供應(yīng)鏈總協(xié)調(diào)。EUV機(jī)有幾十萬(wàn)零件，分光源、照明、投影、晶圓臺(tái)四大塊。光源占27%，美國(guó)Cymer（現(xiàn)在ASML子公司）負(fù)責(zé)激光產(chǎn)生等離子體，錫滴被CO2激光擊中，噴出13.5納米光。

2025年10月，ASML表彰德國(guó)Trumpf的新EUV激光，系列產(chǎn)從2026年開始，功率更高，芯片廠用它印更多邏輯門。Trumpf的CO2激光是光源關(guān)鍵，ASML獨(dú)家采購(gòu)。

腔體和真空占32%，荷蘭VDL鑄造機(jī)身，英國(guó)Edwards泵抽真空，確保無(wú)塵。精密臺(tái)是荷蘭TNO的活兒，磁懸浮移動(dòng)晶圓，速度200米/秒，誤差皮米級(jí)。日本材料占27%，信越化學(xué)的光刻膠涂層均勻，JSR的硅晶圓基底純度高。光學(xué)系統(tǒng)14%，全指蔡司。

它的物鏡塔高1.5米，重3.5噸，3.5萬(wàn)零件。照明系統(tǒng)1.5噸，1.5萬(wàn)組件；投影2噸，2萬(wàn)零件。多層鏡面反射EUV光，涂層40層以上，每層2.8納米，粗糙度0.1納米以下。蔡司的專利超1500項(xiàng)，涵蓋浸沒(méi)和EUV設(shè)計(jì)，全球無(wú)替代。

ASML組裝在Eindhoven工廠，2025年Q3凈利亮眼，但供應(yīng)鏈脆弱。地緣風(fēng)險(xiǎn)大，美國(guó)禁令限售中國(guó)，ASML得繞道。蔡司的鏡面是瓶頸，沒(méi)它，ASML的EUV就成空殼。

2016年，ASML買下蔡司SMT 24.9%股份，綁得更緊，高NA EUV靠這合作。ASML的AI策略，賭EUV續(xù)命，但鏡面升級(jí)全看蔡司迭代。說(shuō)白了，ASML是好導(dǎo)演，蔡司是首席攝影師，沒(méi)攝影師，片子拍不出來(lái)。

全球EUV鏈條的隱形推手：不止蔡司，還有誰(shuí)在卡位

EUV不是ASML一家的獨(dú)角戲，背后是歐洲-美-日混搭的生態(tài)。美國(guó)光源霸主，Cymer的激光器占大頭，2025年升級(jí)版功率翻倍，幫臺(tái)積電3納米線沖量。

德國(guó)不光蔡司，Trumpf的激光放大光源效率，2025年測(cè)試成功，ASML供應(yīng)商獎(jiǎng)直接頒它。荷蘭本土，VDL的腔體鑄造，鋼材焊接精度毫米級(jí)，抗震設(shè)計(jì)扛住工廠振動(dòng)。

日本材料穩(wěn)，2025年EUV膠市占超60%，信越的化學(xué)配方耐高溫，不易變形。供應(yīng)鏈Tier1有幾十家，Tier2/3上百家。ASML的BOM單子長(zhǎng)得嚇人，光鏡面就蔡司獨(dú)供，其他如冷卻系統(tǒng)是丹麥Danfoss，真空閥門瑞士VAT。

2025年市場(chǎng)規(guī)模1210億美元，EUV拉動(dòng)11.8% CAGR，到2034年翻番。中國(guó)想自建ASML，砸1.38萬(wàn)億人民幣補(bǔ)鏈條，但EUV最難，鏡面和光源卡死。

上海微電子的DUV還行，EUV原型遙遙無(wú)期。但生態(tài)脆，疫情或貿(mào)易戰(zhàn)一打，延誤半年產(chǎn)量腰斬。蔡司的角色最大，它不光供貨，還幫ASML調(diào)試，駐廠工程師調(diào)參數(shù)，良率從50%提到90%。

其他推手如IMEC，比利時(shí)研發(fā)中心，2025年測(cè)試高NA原型，數(shù)據(jù)反饋給ASML和蔡司。歐洲聯(lián)合項(xiàng)目，德國(guó)政府投EUV fab，幫蔡司擴(kuò)產(chǎn)。

隱形里，美國(guó)能源部實(shí)驗(yàn)室早期數(shù)據(jù)共享，沒(méi)它，EUV波長(zhǎng)選13.5納米就懸。鏈條上，每環(huán)都專，但蔡司的鏡面是樞紐，斷它，全盤皆輸。

2025年后EUV的下一站：高NA時(shí)代誰(shuí)笑到最后

2025年，EUV進(jìn)入高NA階段，數(shù)值孔徑從0.33跳到0.55，分辨率直奔1納米以下。ASML首臺(tái)高NA機(jī)重15噸，預(yù)計(jì)在2025年底出貨，客戶鎖英特爾Oregon廠。

蔡司的Starlith 3600系統(tǒng)適配，鏡面增到15層，反射率超75%，熱負(fù)載扛住每小時(shí)幾千次曝光。ZEISS SMT的30年慶上，強(qiáng)調(diào)歐洲聯(lián)合，德國(guó)光學(xué)領(lǐng)跑。

市場(chǎng)預(yù)測(cè)，EUV從2024年114億刀，2025起年增16.8%，AI芯片需求爆棚。ASML的壟斷續(xù)命，但競(jìng)爭(zhēng)隱現(xiàn)，日本尼康和佳能的DUV還行，EUV難追。

蔡司的專利壁壘高，2025年新涂層技術(shù)，耐久性翻倍，少維護(hù)。供應(yīng)鏈優(yōu)化，ASML推數(shù)字化BOM，實(shí)時(shí)追蹤零件，防延誤。地緣上，美國(guó)CHIPS Act投520億，穩(wěn)EUV生態(tài)，但限華影響大。長(zhǎng)遠(yuǎn)，高NA后是EUV+，可能混多光束，蔡司已預(yù)研。

ASML的AI賭注對(duì)，但蔡司的鏡面升級(jí)決定成敗。誰(shuí)是老大？蔡司的隱形手，捏著EUV的命門。芯片賽道，長(zhǎng)跑靠耐力，蔡司這德國(guó)老將，底子厚，跑得穩(wěn)。