前言

最近美荷兩國(guó)又跳出來，對(duì)我國(guó)光刻機(jī)技術(shù)的自主突破說三道四，甚至不惜在國(guó)際場(chǎng)合放狠話，想讓中國(guó)的創(chuàng)新止步。

外部的封鎖和指責(zé)，只會(huì)讓我們更清醒地看到，真正的勝負(fù)手，其實(shí)早就在我們手里了。

光刻機(jī)突破引爆風(fēng)波，美荷為何坐不住了？

老實(shí)說，近年來我國(guó)在高端制造裝備領(lǐng)域的進(jìn)步，確實(shí)讓國(guó)際同行有點(diǎn)不安。這里面，光刻機(jī)是最具代表性的例子。大家都知道，芯片制造有多依賴光刻機(jī)，這玩意兒相當(dāng)于給半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝上了發(fā)動(dòng)機(jī)。以前，EUV（極紫外）光刻機(jī)是ASML一家獨(dú)大，想買就得看荷蘭政府臉色。

但這兩年，局勢(shì)真變了。像上海微電子這樣本土企業(yè)，已經(jīng)把28納米深紫外光刻機(jī)做出來了。別小看這一步，28納米本就是全球主流工藝，能量產(chǎn)出來，意義重大。更值得一提的是，國(guó)內(nèi)還在同步攻關(guān)更高級(jí)別的技術(shù)。

比如哈工大團(tuán)隊(duì)在極紫外光源、曝光系統(tǒng)上取得突破，行業(yè)里還出現(xiàn)了不少探索納米壓印、電子束光刻等新路線的創(chuàng)新企業(yè)。雖然我們?cè)陧敿饧夹g(shù)上還在追趕，但產(chǎn)業(yè)鏈的底子已經(jīng)被盤活。

美荷這次之所以突然“炮轟”，表面上是質(zhì)疑我們的技術(shù)獨(dú)立性，說什么“逆向工程”。但大家都懂，真正讓他們坐不住的，是中國(guó)企業(yè)在光刻機(jī)核心部件、材料、系統(tǒng)集成這些領(lǐng)域，已經(jīng)走出了閉環(huán)。

更別說國(guó)內(nèi)市場(chǎng)巨大，配套企業(yè)如雨后春筍般冒出來，眼看著一條全新的國(guó)產(chǎn)產(chǎn)業(yè)鏈要成型了。外部壓力越大，內(nèi)部動(dòng)力越強(qiáng)，這就是現(xiàn)實(shí)。

美方的動(dòng)作其實(shí)更露骨。美國(guó)商務(wù)部幾乎每年都要更新對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的出口限制，直接影響到供應(yīng)鏈的每一個(gè)環(huán)節(jié)。

2023年起，荷蘭也不斷升級(jí)對(duì)我國(guó)的DUV光刻機(jī)出口管控，甚至把部分成熟機(jī)型都納入了許可清單。歸根結(jié)底，這一切都指向同一個(gè)目標(biāo)——延緩“中國(guó)速度”，守住他們賴以為生的技術(shù)壁壘。

面對(duì)美荷的聯(lián)合發(fā)難，我國(guó)官方的回應(yīng)可以說是有理有據(jù)，既不回避矛盾，也不盲目對(duì)抗。外交部和商務(wù)部多次強(qiáng)調(diào)，科技創(chuàng)新不該被人為阻斷，單邊限制只會(huì)破壞全球市場(chǎng)和供應(yīng)鏈的穩(wěn)定。我國(guó)始終支持開放合作，同時(shí)有足夠的能力和信心應(yīng)對(duì)一切外部挑戰(zhàn)。

但更精彩的，其實(shí)是在產(chǎn)業(yè)一線發(fā)生的故事。大家不難發(fā)現(xiàn)，過去幾年圍繞光刻機(jī)的攻堅(jiān)戰(zhàn)，幾乎成了國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體的代名詞。

上海微電子的28納米DUV光刻機(jī)成功下線，是無數(shù)中國(guó)工程師、工匠夜以繼日攻關(guān)換來的。背后不僅是企業(yè)的埋頭苦干，更離不開全國(guó)范圍內(nèi)的政策、資金、人才三重加持。國(guó)家大基金二期、地方專項(xiàng)資金、產(chǎn)業(yè)孵化園，這一套組合拳，讓本土企業(yè)的研發(fā)投入水漲船高。

更值得一說的是，國(guó)產(chǎn)化已經(jīng)不局限于一兩家頭部企業(yè)。光刻膠、光源、主軸、鏡頭等關(guān)鍵部件領(lǐng)域，涌現(xiàn)出大批創(chuàng)新型企業(yè)和研究團(tuán)隊(duì)。比如有的民營(yíng)企業(yè)專攻主軸和運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，有的高校實(shí)驗(yàn)室則瞄準(zhǔn)極紫外光源和高精度光學(xué)元件。

各自為戰(zhàn)的時(shí)代過去了，現(xiàn)在是一場(chǎng)“全產(chǎn)業(yè)鏈接力賽”。在政策支持下，地方政府也紛紛將半導(dǎo)體裝備列為戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)，形成了從中央到地方的合力推進(jìn)。

還有一個(gè)細(xì)節(jié)值得注意。面對(duì)外部封鎖，國(guó)內(nèi)企業(yè)已經(jīng)不再單純依靠進(jìn)口和貼牌，而是主動(dòng)開拓海外市場(chǎng)，建立屬于自己的供應(yīng)鏈朋友圈。

和東南亞、南亞、拉美等國(guó)家合作，既能分散風(fēng)險(xiǎn)，也能提升國(guó)際影響力。這種“走出去”的策略，讓中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在全球市場(chǎng)上有了更多話語權(quán)。

全球科技格局重塑，光刻機(jī)爭(zhēng)端是一場(chǎng)深水較量

很多人以為美荷批評(píng)我們光刻機(jī)技術(shù)，只是商業(yè)競(jìng)爭(zhēng)，其實(shí)背后是全球科技主導(dǎo)權(quán)的爭(zhēng)奪。光刻機(jī)是芯片制造的命門，誰掌握了它，誰就掌控了產(chǎn)業(yè)鏈的主動(dòng)權(quán)。美方聯(lián)合盟友對(duì)我國(guó)高端設(shè)備層層設(shè)限，說到底，是希望繼續(xù)維持他們的市場(chǎng)壟斷和技術(shù)領(lǐng)先。

但事情有意思就有意思在這里。美荷的限制，短期內(nèi)確實(shí)帶來了壓力，但從長(zhǎng)遠(yuǎn)看，反而倒逼我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈加速自立自強(qiáng)。過去幾年，國(guó)內(nèi)新設(shè)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)數(shù)量和研發(fā)投入節(jié)節(jié)攀升。

技術(shù)封鎖越嚴(yán)，我們的創(chuàng)新動(dòng)力越足。這種正向反饋在光刻機(jī)領(lǐng)域尤為明顯：從上游材料、核心零部件，到整機(jī)系統(tǒng)和工藝流程，國(guó)內(nèi)企業(yè)正合力打造一條全新的自主可控產(chǎn)業(yè)鏈。

如今，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)出現(xiàn)“雙軌制”的苗頭。一邊是歐美日主導(dǎo)的高端制程路線，另一邊則是中國(guó)主導(dǎo)的成熟工藝和自主替代生態(tài)。

表面上看，我們和國(guó)際先進(jìn)水平還有差距，但實(shí)際上，在大規(guī)模量產(chǎn)、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化、產(chǎn)業(yè)協(xié)同等環(huán)節(jié)，國(guó)產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)有了不小的優(yōu)勢(shì)。更別說中國(guó)市場(chǎng)體量巨大，形成了良性的內(nèi)循環(huán)生態(tài)。只要堅(jiān)持下去，未來在更多關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)“彎道超車”，絕非空談。

此外，國(guó)際合作依然是中國(guó)科技產(chǎn)業(yè)的底色。哪怕美荷限制再多，我國(guó)依然積極參與全球科技治理，推動(dòng)開放與交流。與全球多國(guó)的供應(yīng)鏈合作、標(biāo)準(zhǔn)制定，不僅提升了我們的競(jìng)爭(zhēng)力，也讓中國(guó)企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)分工中擁有更多主動(dòng)權(quán)。

國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)背后的故事，其實(shí)遠(yuǎn)比外界想象的更豐富。你很難想象，幾年前還被“卡脖子”的中國(guó)企業(yè)，如今已經(jīng)能在國(guó)際市場(chǎng)上掀起風(fēng)浪。

大量中國(guó)工程師，放棄高薪，埋頭實(shí)驗(yàn)室，一遍遍測(cè)試，只為讓自主光刻機(jī)出廠那一刻更有底氣。更有無數(shù)產(chǎn)業(yè)鏈上下游的中小企業(yè)，默默為核心技術(shù)攻關(guān)提供支持。他們不是新聞熱點(diǎn)，卻是中國(guó)制造最堅(jiān)實(shí)的底氣。

現(xiàn)在回頭看，美荷的封鎖和批評(píng)，更像是一種無力的焦慮。他們擔(dān)心的不僅僅是市場(chǎng)份額，更是中國(guó)自主創(chuàng)新帶來的全球產(chǎn)業(yè)格局變化。

市場(chǎng)永遠(yuǎn)是最真實(shí)的裁判員。中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)能否真正站穩(wěn)腳跟，不是看外部怎么說，而是看自己能否持續(xù)創(chuàng)新，能否把技術(shù)積累轉(zhuǎn)化為產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)。

關(guān)于未來，官方目前并沒有公布明確的新計(jì)劃。但有一點(diǎn)可以肯定，隨著政策、資金、市場(chǎng)、人才的持續(xù)加碼，中國(guó)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)一定會(huì)走出一條屬于自己的路。

每一次技術(shù)突破，都是對(duì)外部封鎖最有力的回應(yīng)。每一個(gè)自主研發(fā)的小零件，都是大國(guó)制造的關(guān)鍵拼圖。只要我們繼續(xù)堅(jiān)持自主創(chuàng)新、開放合作、人才培養(yǎng)，終有一天，全球高端制造領(lǐng)域會(huì)有更多中國(guó)名字。

美荷這波“聯(lián)手圍堵”中國(guó)光刻機(jī)，說到底只是表面風(fēng)浪?？萍嫉穆罚瑥膩頉]有捷徑，只有腳踏實(shí)地。被“卡脖子”的日子讓我們吃夠了苦頭，但正是那種壓力，成就了今天中國(guó)的自主創(chuàng)新。市場(chǎng)變化快，技術(shù)進(jìn)步更快。

誰能想象，幾年之前還被人用技術(shù)壁壘“卡死”的中國(guó)企業(yè)，如今已能在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中昂首挺胸？光刻機(jī)的突破只是個(gè)開始，未來還有更多關(guān)鍵領(lǐng)域等待我們?nèi)スタ?。全球半?dǎo)體產(chǎn)業(yè)的格局，會(huì)不會(huì)就此改寫？也許真正的答案，掌握在每一個(gè)堅(jiān)持創(chuàng)新的中國(guó)人手里。

參考：美荷擬進(jìn)一步限制對(duì)華合作?美媒爆料:阿斯麥與中方合作面臨更嚴(yán)限制——環(huán)球網(wǎng)