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在芯片制程節(jié)點在納米尺度不斷延伸的今天，“潔凈”與“精準”是影響芯片制造精度與良率的關(guān)鍵命題。有一位學者深耕“光-機-電-液”一體化，聚焦微納尺度流體控制技術(shù)，捕捉極微污染物的蹤跡，為高端集成電路（IC）裝備自主化提供多項關(guān)鍵基礎(chǔ)技術(shù)支撐——他就是浙江大學“百人計劃”研究員、博士生導師申英男，一位扎根半導體裝備領(lǐng)域，以基礎(chǔ)研究創(chuàng)新與關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)回應(yīng)國家戰(zhàn)略需求的青年科學家。

申英男（左一）陪同美國四院院士J.A.Rogers參觀超潔凈流控實驗室

身為“流體人”，錨定IC產(chǎn)業(yè)痛點

“流體是我們的‘老本行’；IC制造的上百道工藝以及光刻、濕法刻蝕等核心機臺均涉及到超潔凈高精密流體控制問題?！鄙暧⒛械目蒲羞x擇，從一開始就瞄準了流體相關(guān)的半導體裝備研發(fā)“卡脖子”環(huán)節(jié)。

他聚焦的高精密超潔凈流體控制、極微污染物檢測與控制領(lǐng)域，是高端集成電路制造的關(guān)鍵技術(shù)需求。半導體液體工藝介質(zhì)中，十億分之一含量的金屬污染物、小至50納米的顆粒污染物就可能讓芯片性能劣化甚至導致“廢片”，而他的工作正是為這些“看不見、摸不著”的隱患打造一套由“精準捕網(wǎng)”、測量手段與預(yù)防策略所構(gòu)成的體系。這種“以產(chǎn)業(yè)痛點為科研起點”的導向，讓他的研究始終扎根實際，與其所在“啟爾”團隊一道，成為半導體裝備領(lǐng)域不可或缺的創(chuàng)新力量。

從浙大到普渡、從美國回國效力的雙向淬煉

申英男的學術(shù)之路，體現(xiàn)了本土深耕與國際前沿研究的融合。他在浙江大學機械電子工程專業(yè)完成本博完整培養(yǎng)，并基于本土半導體裝備產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢，系統(tǒng)掌握機-電-流體一體化的核心知識體系，這份扎實的“浙大底色”讓他始終錨定國家戰(zhàn)略需求。

博士畢業(yè)后，他赴美國普渡大學開展博士后研究，并于2023年晉升為普渡大學機械工程學院研究員（Lead Research Scholar）。海外研學期間，他持續(xù)深挖微納尺度下的流體控制與顆粒物控制等相關(guān)基礎(chǔ)研究。2024年，他回歸求是園，加盟機械工程學院、流體動力基礎(chǔ)件與機電系統(tǒng)全國重點實驗室，持續(xù)身體力行“基礎(chǔ)研究-技術(shù)創(chuàng)新-產(chǎn)業(yè)應(yīng)用”的閉環(huán)探索。

從頂刊論文到產(chǎn)業(yè)實踐，把成果做到實處

在半導體裝備相關(guān)流體檢測與控制技術(shù)領(lǐng)域的多年深耕，讓申英男的研究同時收獲了學界與業(yè)界的認可。他在Physical Review Letters等發(fā)表論文20余篇，基礎(chǔ)研究成果曾獲美國物理學會亮點論文、英國皇家物理學會《Physics World》、美國科學促進會（AAAS）旗下媒體報道等。

技術(shù)創(chuàng)新方面，他授權(quán)/公開發(fā)明專利20余項，含美國專利1項。在中國機械工程學會半導體裝備分會成立大會的委員特邀報告、我國半導體裝備龍頭企業(yè)之一——北方華創(chuàng)“屏芯而論”CTO系列沙龍等場合，他所分享的半導體液體工藝介質(zhì)污染物測控技術(shù)研究進展、難點痛點與未來趨勢，成為半導體裝備及其核心零部件領(lǐng)域的學界與業(yè)界所共同關(guān)注的重要議題之一。

緊貼半導體產(chǎn)業(yè)需求，積極搭建產(chǎn)學研橋梁

“半導體核心裝備與關(guān)鍵技術(shù)的自主可控與自我發(fā)展，不但需要基礎(chǔ)研究的長期耕耘，更需要面向產(chǎn)業(yè)需求的不斷聚焦?！弊鳛閲壹壡嗄耆瞬庞媱澣脒x者，申英男始終堅持將國家集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略需求作為個人學術(shù)研究方向的指引與依歸。

目前，他擔任DLIS教育部工程研究中心副主任，主持國家自然科學基金委原創(chuàng)探索計劃項目等多項國家級項目，深度參與3項國家科技重大專項，將研究方向與集成電路裝備自主化的迫切需求緊密對接。他還積極搭建學界與產(chǎn)業(yè)界溝通橋梁，曾為新生代浙商解讀關(guān)鍵技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)應(yīng)用前景，讓實驗室的基礎(chǔ)研究成果真正服務(wù)于相關(guān)制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，踐行“把論文寫在祖國大地上”的科研理念。

依托“啟爾”團隊，培養(yǎng)半導體裝備研發(fā)的后備力量

作為博士生導師，他將國際前沿技術(shù)與產(chǎn)業(yè)實際需求融入研究生培養(yǎng)過程，引導學生“聚焦真問題、練就硬本領(lǐng)”。回國任職兩年來，依托流體動力基礎(chǔ)件與機電系統(tǒng)全國重點實驗室，在以付新教授為帶頭人的“啟爾”團隊支持下，他帶領(lǐng)一支由十余名研究生、多名工程師組成的研發(fā)隊伍，形成了“基礎(chǔ)研究—技術(shù)攻關(guān)—產(chǎn)業(yè)驗證”的閉環(huán)科研模式，為集成電路裝備領(lǐng)域培養(yǎng)兼具理論功底與實踐能力的后備力量。因此，他作為主要完成人之一獲得了2025年中國機械行業(yè)產(chǎn)教融合教育教學創(chuàng)新大賽一等獎。

從浙大校園到普渡實驗室，再回到求是園繼續(xù)服務(wù)于半導體裝備國家戰(zhàn)略需求，申英男始終銘記：為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻“流體人”的力量。這位心系國之重器、扎根產(chǎn)業(yè)需求、探索學術(shù)前沿的青年學者，正以不懈努力為我國集成電路裝備高端化、自主化發(fā)展貢獻自己的力量。

來源：省青年高層次人才協(xié)會

責編：葉　揚

美編：鄭娜莉

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