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中科大造出首個紫外光譜成像芯片,成本有望直降99%

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1666 年,牛頓在劍橋的房間里,讓一束陽光穿過三棱鏡,世界第一次看見光分解成彩虹般的色彩。那一刻,人類擁有了一把解碼自然的新鑰匙——光譜儀。憑借光譜儀,科學(xué)家能夠以前所未有的精度去探測物質(zhì),認(rèn)識世界。

300 多年過去,光譜儀已成為科研和工業(yè)的重要工具。依靠光譜儀和光譜成像技術(shù),不僅能獲取被檢測目標(biāo)的光譜特征信息,還能夠捕捉其空間幾何特征等多維度數(shù)據(jù),從而實現(xiàn)對復(fù)雜環(huán)境和目標(biāo)的實時精準(zhǔn)測量與識別。光譜分析和光譜成像在物質(zhì)成分分析、環(huán)境實時監(jiān)測、衛(wèi)星遙感、深空探測等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景和價值。

然而,現(xiàn)有光譜成像技術(shù)(光譜相機)普遍依賴幾何分光與機械掃描等傳統(tǒng)模式,其系統(tǒng)復(fù)雜、體積龐大,難以實現(xiàn)小型化集成式發(fā)展,且價格昂貴。

因此,基于傳統(tǒng)光譜儀及其光譜成像技術(shù)已經(jīng)無法滿足日益增長的對集成便攜式且具有快速響應(yīng)特性的智能光譜成像儀的應(yīng)用需求。尤其針對工作在深紫外/紫外波段(對生物制藥、有機物和分子檢測有重要意義),目前受限于材料、工藝和結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性,片上微型紫外光譜成像技術(shù)長期存在空白,成為制約該領(lǐng)域發(fā)展的關(guān)鍵瓶頸。

為了解決這一難題,中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)孫海定教授 iGaN 實驗室,聯(lián)合武漢大學(xué)劉勝院士團隊,成功研制出微型紫外光譜儀芯片,并實現(xiàn)片上光譜成像。

該芯片基于新型氮化鎵基(GaN)級聯(lián)光電二極管架構(gòu),并與深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(DNN)算法深度融合,實現(xiàn)了高精度光譜探測與高分辨率多光譜成像,其光譜響應(yīng)速度實現(xiàn)納秒級(國際已報道微型光譜儀中響應(yīng)速度最快)。

該成果不僅填補了微型光譜儀技術(shù)在紫外波段的空白,同時展現(xiàn)了其在未來大規(guī)??芍圃斓木o湊型、便攜式光譜分析和快速光譜成像芯片,及其在高通量實時生物分子和有機物檢測、片上集成式傳感技術(shù)等領(lǐng)域的廣闊應(yīng)用前景。


圖丨相關(guān)論文(來源:Nature Photonics)

近日,相關(guān)研究以《微型級聯(lián)二極管陣列光譜成像儀》(A Miniaturized Cascaded-Diode-Array Spectral Imager)為題,發(fā)表于 Nature Photonics 的 2025 年 12 月第 19 期上 [1]。

該論文的共同第一作者為余華斌博士、Muhammad Hunain Memon 博士、高志祥和姚銘家。孫海定教授是本論文的唯一通訊作者,武漢大學(xué)劉勝院士、浙江大學(xué)楊宗銀教授、劍橋大學(xué) Tawfique Hasan 教授對該工作提供了重要支持和指導(dǎo)。

審稿人之一對該研究評價稱,研究人員展示了一種新的光譜分析和高光譜成像器件,并認(rèn)定所提出的利用背靠背級聯(lián)兩個二極管結(jié)構(gòu)設(shè)計構(gòu)建光譜儀是極致簡單而又美妙的構(gòu)思,且進一步強調(diào)該設(shè)計簡單到只需懂得最基本半導(dǎo)體知識就能理解它們的工作原理,并評價該設(shè)計具有很強的普適性。

最后,審稿人總結(jié)此次開發(fā)的這款紫外光譜儀芯片非常及時,而它所具備的超快響應(yīng)速度是一個頗具亮點的性能優(yōu)勢,這為整個微型光譜領(lǐng)域的發(fā)展提供了一個簡單且低成本的、未來可大規(guī)模制造和應(yīng)用的重要方案。


圖丨微型化紫外光譜儀的光譜成像過程(來源:Nature Photonics)

研究的積累:從高效發(fā)光到高靈敏度探測芯片,再到微型光譜儀芯片的開發(fā)

回想本科保研剛加入中科大孫海定教授 iGaN 實驗室的時候,余華斌博士的科研第一個課題是研制高效率紫外發(fā)光二極管(LED)。這種緊湊節(jié)能的半導(dǎo)體光源在消毒殺菌、紫外固化、非視距光通信、皮膚治療、工業(yè)加工等領(lǐng)域都有重要應(yīng)用。

轉(zhuǎn)為博士生后,他在孫海定教授的指導(dǎo)下,專注于氮化鎵(GaN)和鋁鎵氮(AlGaN)材料體系的半導(dǎo)體光電器件及集成芯片,包括紫外 micro-LED 和 nano-LED、紫外-紅外寬譜探測器和片上信號傳輸集成芯片等。

在這些課題的研究中,光譜儀幾乎成為他和團隊小伙伴們每天離不開的科研“小助手”。且這些大大小小的光譜儀是大家能夠快速掌握,并理解半導(dǎo)體材料光學(xué)和其他物理特性的重要工具。光譜儀可以幫助我們分析半導(dǎo)體材料的禁帶寬度和晶體質(zhì)量,以及光電器件的輻射復(fù)合效率和光譜響應(yīng)特性等關(guān)鍵參數(shù)。

但與此同時,他和團隊也深切感受到傳統(tǒng)光譜儀的局限:動輒一臺設(shè)備占據(jù)半張光學(xué)平臺實驗桌,體積笨重、光路復(fù)雜、光柵校準(zhǔn)調(diào)試響應(yīng)遲緩,遠不能滿足未來對實時檢測和便攜應(yīng)用的需求。


(來源:中科大 iGaN 實驗室)

漸漸地,一個想法在他和團隊的心中萌生:既然他們在氮化鎵材料和光電器件方面已經(jīng)積累了豐富經(jīng)驗,“能否有一天,讓 GaN 光電探測器件替代復(fù)雜的光學(xué)部件,成為構(gòu)建光譜儀的核心部件呢?”

如果能擺脫棱鏡與光柵的限制,把光譜解析能力“嵌入”到一枚“像指甲蓋大小”的芯片上,那么光譜儀或許也能縮小到像 LED 芯片一樣大小,并從實驗室走向微型化、智能化與普及化。

他和團隊常常在實驗桌前望著那臺龐大的光譜儀,設(shè)想:如果有那么一天,光譜儀可以被縮小到指尖大小,我們就可以把它嵌入到手機里、手環(huán)里,甚至無人機上,讓光譜儀走出實驗室,走向日常生活中。


圖丨傳統(tǒng)臺式光譜儀和微型光譜儀(來源:中科大 iGaN 實驗室)

技術(shù)的突破:級聯(lián)光電二極管及其陣列的發(fā)明

在中科大孫海定教授和武漢大學(xué)劉勝院士的聯(lián)合指導(dǎo)下,余華斌和團隊經(jīng)過反復(fù)構(gòu)思、仿真設(shè)計并進行實驗驗證,最終設(shè)計并提出了一種基于 GaN/AlGaN 異質(zhì)結(jié)的 N-P 結(jié)二極管和 P-N 結(jié)二極管通過背靠背連接而成的 N-P-N 級聯(lián)光電二極管。這一新結(jié)構(gòu)的誕生是一個完全不同于傳統(tǒng)光譜儀的設(shè)計新思路,因為:

通過在不同偏壓下工作,每個二極管對紫外光的響應(yīng)曲線都會發(fā)生明顯的變化。這種變化主要源于在不同電場條件下,光生載流子的分布、分離效率以及復(fù)合幾率存在差異,從而改變了器件對不同波長光子的吸收與轉(zhuǎn)化效率。

結(jié)果是,二極管在不同電壓下對紫外光的光譜敏感度呈現(xiàn)出差異化特征。換句話說,一枚 N-P-N 級聯(lián)光電二極管并不是只有一條固定的響應(yīng)曲線,而是能夠通過外加偏壓實現(xiàn)“可編程”的光譜響應(yīng)。

每一個偏壓條件都對應(yīng)一條獨特的響應(yīng)曲線,而多個偏壓下的響應(yīng)集合,就構(gòu)成了一組可調(diào)諧的光譜通道。這意味著,僅憑一枚小器件,就可以模擬出一個多通道光譜探測單元。

這種特性就像在芯片內(nèi)部“寫入”了多個可調(diào)諧的光譜通道:每個通道對應(yīng)一條偏壓下的響應(yīng)曲線,多個通道組合在一起,就形成了一個豐富的響應(yīng)函數(shù)集合。這樣一來,原本需要光柵或棱鏡來進行分光的過程,被巧妙地轉(zhuǎn)移到了電子調(diào)控層面。

光譜信息不再依賴傳統(tǒng)的體積龐大、機械結(jié)構(gòu)復(fù)雜的光學(xué)分光系統(tǒng),而是通過電壓掃描在一枚微小的芯片上完成。同時利用深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法,把這些通道信號組合起來,重建出完整的光譜曲線,大幅提升了解析精度。


圖丨 NPN 級聯(lián)二極管工作原理(來源:Nature Photonics)

更重要的是,該器件可以在 2 英寸晶圓上實現(xiàn)大規(guī)模陣列化制備,并通過鍵合工藝完成光譜成像芯片的集成。在這種架構(gòu)下,級聯(lián)光電二極管能夠通過外加偏壓精確調(diào)控載流子的波長依賴傳輸行為,從而實現(xiàn)電壓可調(diào)的雙向光譜響應(yīng)。結(jié)合深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法,該芯片能夠?qū)ξ粗庾V進行高精度重構(gòu)。

實驗結(jié)果表明,該光譜成像芯片在 250-365 nm 紫外波段展現(xiàn)出極高的性能:光譜重構(gòu)準(zhǔn)確,響應(yīng)速度極快,光譜分辨率可達 0.62 nm,時間響應(yīng)小于 10 納秒,比現(xiàn)有大多數(shù)微型光譜儀快上千倍,達到國際最快光譜探測感知。這不僅意味著它能夠捕捉光譜,還能實時跟蹤瞬態(tài)的物理和化學(xué)過程。


圖丨微型紫外光譜儀及其光譜分析結(jié)果(來源:Nature Photonics)

基于這一微型光譜儀芯片,研究團隊進一步對不同有機物(橄欖油 A、花生油 B、動物油脂 C 和牛奶 D)的液滴樣品進行了空間分辨與單次直接成像。每一個像素點都能捕捉波長依賴的光電流信號,形成完整的三維數(shù)據(jù)集。利用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進行光譜重構(gòu)后,成功生成了高分辨率的光譜圖像,清晰展示了不同有機物在紫外波段的獨特吸收特性及其空間分布。

這一成果表明,微型化紫外光譜與成像芯片在有機物檢測、食品安全、環(huán)境監(jiān)測等方面具有巨大的應(yīng)用潛力,也標(biāo)志著紫外光譜儀第一次真正走上了芯片,實現(xiàn)了從“笨重設(shè)備”到“智能芯片”的跨越。


圖丨微型紫外光譜儀的有機光譜檢測和成像結(jié)果(來源:Nature Ph)

余華斌博士和團隊分享說:“我們在這項工作中提出并驗證了一種全新的微型化光譜儀芯片實現(xiàn)方案,并且首次將寬禁帶氮化物半導(dǎo)體作為光譜儀芯片的材料載體。展望未來,我認(rèn)為這一架構(gòu)具有廣闊的拓展?jié)摿Γ和ㄟ^改變芯片內(nèi)化合物半導(dǎo)體的組分及其摻雜特性,或者直接采用其他二六族材料(如硫化鎘、氧化鋅)和三五族材料(如砷化鎵、磷化銦),該芯片的工作波段可以從紫外擴展到可見光甚至紅外區(qū)域?!?/p>

團隊負(fù)責(zé)人孫海定教授告訴 DeepTech:“此外,由于芯片制備工藝完全兼容現(xiàn)有先進的半導(dǎo)體大規(guī)模制造工藝,我相信其特征尺寸還可以進一步縮小到亞微米甚至納米級,從而實現(xiàn)更高分辨率的光譜成像?!?/p>

更為重要的是,孫海定補充稱:“在實驗開展和論證過程中,團隊的導(dǎo)師劉勝院士針對一些關(guān)鍵技術(shù)細節(jié),包括光譜儀結(jié)構(gòu)如何構(gòu)造、氮化物材料外延生長過程、以及器件的單片集成與封裝方面等予以指導(dǎo),并引導(dǎo)我們提前進行產(chǎn)業(yè)化布局包括專利申請等。該技術(shù)有望將光譜成像儀的成本降至傳統(tǒng)技術(shù)方案的百分之一,使光譜儀真正走向低成本、規(guī)模化和普及化應(yīng)用。”


圖 | 劉勝院士(左)指導(dǎo)孫海定(來源:孫海定)

該團隊相信:“就像曾經(jīng)硅基 CCD/CMOS 芯片技術(shù)的不斷進步推動了數(shù)碼相機的大規(guī)模普及一樣,這枚新型氮化鎵基微型光譜芯片的問世,有望引領(lǐng)光譜成像邁入新一輪產(chǎn)業(yè)升級,尤其是為下一代小型化、便攜式和可穿戴光譜技術(shù)的大規(guī)模應(yīng)用提供新的思路和解決方案?!?/p>

團隊與堅持:跨越時空的國際科研合奏曲

論文投稿時,余華斌已赴美國密歇根大學(xué)開展新的博士后研究工作。因此,大部分審稿回復(fù)的工作都是需要跨時區(qū)和跨國來合作完成。iGaN 實驗室與英國劍橋大學(xué)、浙江大學(xué)、武漢大學(xué)等團隊緊密溝通協(xié)作。在這過程中,時常因為十幾個小時的時差,凌晨三四點的視頻會議成了常態(tài)。

即使在 2025 年初春節(jié)期間,當(dāng)大多數(shù)人沉浸在合家團聚的喜慶氛圍中時,iGaN 實驗室團隊成員繼續(xù)打磨論文。有時深夜又逢寒冷冬雨,街上已無出租車,團隊成員只能冒著寒風(fēng)獨自步行回宿舍。冬夜冷風(fēng)呼嘯,腦中卻只有一個念頭:必須在最短時間內(nèi)把論文內(nèi)容做到最好。


圖丨 iGaN 實驗室部分成員(來源:中科大 iGaN 實驗室)

2025 年夏天,當(dāng) Nature Photonics 編輯發(fā)來錄用通知時,實驗室里并沒有喧囂的歡呼,反而大家都很平靜。大家想到的,是過去三年里數(shù)不清的重復(fù)實驗和測試,是那些一次次推倒重來的器件結(jié)構(gòu)、工藝流程和測試系統(tǒng),也是跨國合作里無數(shù)個深夜的屏幕燈光。

這項成果,成為國際首個微型紫外光譜儀芯片,不僅填補了紫外波段微型光譜儀的技術(shù)空白,也讓中國科研團隊在這一微型光譜儀前沿研究領(lǐng)域方向上實現(xiàn)了從“跟跑”到“領(lǐng)跑”的跨越。


圖 | 微型光譜儀覆蓋光譜波段(來源:Nature Photonics)

光譜的未來:從實驗室走向應(yīng)用

這枚只有指甲蓋大小的芯片,卻蘊含著改變世界的潛力。

日常食品安全

拿出手機,對著一顆蘋果掃一掃,就能立刻知道有沒有農(nóng)藥殘留;對一杯牛奶一測,就能“讀出”是否含有三聚氰胺。食品檢測不再需要實驗室和專業(yè)人員,而是像掃碼支付一樣簡單快捷。

醫(yī)療健康監(jiān)測

對于糖尿病患者而言,每天扎手指檢測血糖是一種長期的痛苦。未來,這枚芯片可以嵌入智能手環(huán),實現(xiàn)實時、無創(chuàng)的血糖監(jiān)測。不再有針刺,不再有等待,健康數(shù)據(jù)時刻在掌握之中。

環(huán)境保護與應(yīng)急監(jiān)測

無人機搭載光譜芯片,可以在城市上空實時監(jiān)測大氣污染物的分布;在火災(zāi)、爆炸或化學(xué)泄漏現(xiàn)場,它能迅速識別空氣中的有害氣體,為救援和處置贏得寶貴時間。

科研與工業(yè)應(yīng)用

在實驗室里,它能以納秒級速度捕捉化學(xué)反應(yīng)的瞬間變化,觀察燃燒過程的光譜特征,甚至跟蹤短壽命的生物事件。這些原本需要昂貴且笨重設(shè)備才能完成的實驗,如今有望用一枚芯片實現(xiàn)。

隨著技術(shù)成熟,這種光譜芯片可以被集成到手機、無人機、可穿戴設(shè)備中。那意味著未來的日常生活,或許就是一場“科幻變現(xiàn)實”的體驗:

  • 購物時,手機能告訴你食材的新鮮度;
  • 運動時,手環(huán)實時監(jiān)測體內(nèi)代謝狀態(tài);
  • 出行時,無人機為你繪制空氣質(zhì)量地圖;
  • 醫(yī)療中,醫(yī)生通過一顆小小的芯片獲得全套代謝數(shù)據(jù)。

就像數(shù)碼相機替代了膠片相機一樣,微型化光譜儀可能重新定義人類“看世界”的方式:不僅僅看到形狀和顏色,還能即時解析物質(zhì)的成分與本質(zhì)。

氮化鎵被譽為第三代半導(dǎo)體材料,是國家戰(zhàn)略新興電子材料。而高效氮化鎵基藍光 LED 的發(fā)明,不僅改變了人類的照明方式,讓氮化鎵真正走進千家萬戶,相關(guān)科學(xué)家還因此獲得了諾貝爾物理學(xué)獎。但這只是氮化鎵光電子產(chǎn)業(yè)“發(fā)光發(fā)熱”的開始。

今天,基于氮化鎵的光譜芯片正為未來可能的高速、多功能的光電集成、光感知與光計算開辟出新的方向。隨著芯片與人工智能算法的結(jié)合,以及與產(chǎn)業(yè)界的深入?yún)f(xié)同,這一技術(shù)有望走出實驗室,廣泛應(yīng)用于醫(yī)療健康、食品安全、環(huán)境監(jiān)測和智能感知等領(lǐng)域。我們堅信氮化鎵不僅可以在傳統(tǒng)光電和電子芯片中繼續(xù)發(fā)揮舉足輕重的作用,而且有希望在新的研究賽道上讓它開出新的花,結(jié)出新的果。

目前,iGaN 團隊正在跟業(yè)界開展溝通和合作,希望盡快將微型光譜儀加以產(chǎn)業(yè)化。微型光譜儀能夠輕松搭載于無人機和機器人中,能夠突破人工檢測的場景限制,在環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)巡檢、農(nóng)業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)高效、精準(zhǔn)且無人化的作業(yè),大幅拓展光譜分析技術(shù)的應(yīng)用邊界。

此外,微型光譜儀成本較低,能夠與其他傳感器相互集成,構(gòu)建大規(guī)模分布式監(jiān)測系統(tǒng),實現(xiàn)多參數(shù)協(xié)同監(jiān)測的立體化感知,形成覆蓋廣、密度高、全流程的監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)。

更重要的是,芯片化的光譜儀或光譜成像儀能夠輕易集成到手機和可穿戴設(shè)備中,讓人們可以隨時隨地識別果蔬表面的農(nóng)藥殘留、鑒別珠寶首飾的材質(zhì)真假、檢測呼出氣體的特定成分、判斷飲用水的純凈度和空氣中的污染物含量。

這種便攜式光譜檢測手段,不僅打破了傳統(tǒng)光譜分析對專業(yè)場景、大型設(shè)備的依賴,更讓普通大眾能以極低的門檻享受科技帶來的安全與便利?;蛟S不久后,微型光譜儀將重新定義光譜分析技術(shù)的應(yīng)用邊界,為智慧生活與產(chǎn)業(yè)升級注入全新動能。

參考資料:

https://www.nature.com/articles/s41566-025-01754-6

排版:劉雅坤

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