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復(fù)刻對(duì)韓制裁?日本智庫(kù)叫囂用光刻膠反制中國(guó),我們真的怕嗎?

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問(wèn)大家一個(gè)問(wèn)題:你覺(jué)得日本會(huì)不會(huì)拿光刻膠反制中國(guó)?

如今日本官方雖沒(méi)明著反制,但臺(tái)下早已暗流涌動(dòng),不容輕視。不得不說(shuō),光刻膠之于中國(guó),就像稀土之于日本,是后者手中的利劍,而日本國(guó)內(nèi)呼吁揮出這把劍的聲音早已不絕于耳。

這老太太看著慈眉善目,實(shí)則一肚子壞水。



那么問(wèn)題來(lái)了,若日本真動(dòng)了光刻膠這張牌,中國(guó)有能力應(yīng)對(duì)嗎?

此后三星加碼本土研發(fā),對(duì)日依賴(lài)度降至60%多,但高端仍需進(jìn)口。日本雖下游光刻機(jī)實(shí)力較弱,卻長(zhǎng)期掌控半導(dǎo)體上游(份額超50%),光刻膠領(lǐng)域絕對(duì)壟斷。

早年間日本借 VLSI 計(jì)劃積累半導(dǎo)體材料經(jīng)驗(yàn),避與美 UV 聯(lián)盟對(duì)抗轉(zhuǎn)向上游,經(jīng)政府扶持及與臺(tái)積電等企業(yè)合作,實(shí)現(xiàn)全光刻膠產(chǎn)品線覆蓋,從傳統(tǒng)到尖端 EUV 光刻膠均被日企主導(dǎo)。

其中KRF和ARF兩種DUV光刻膠,日本占比超80%;EUV光刻膠更是占90%-95%以上。

這些日本企業(yè)均具備EUV光刻膠供應(yīng)能力,除信越化學(xué)份額稍大,整體分布較平均,可見(jiàn)這不是一兩家企業(yè)的獨(dú)家優(yōu)勢(shì),而是日本半導(dǎo)體實(shí)力的完整體現(xiàn)。



日本之外,能商業(yè)化供應(yīng)光刻膠的主要是中、韓、美三國(guó)。韓國(guó)東進(jìn)世美肯是除日系外唯一實(shí)現(xiàn)EUV光刻膠商業(yè)化供應(yīng)的企業(yè),主要供三星等本土廠商。

2019年前韓國(guó)已實(shí)現(xiàn)KRF、ARF光刻膠量產(chǎn),但EUV領(lǐng)域空白;日本禁運(yùn)后,韓國(guó)加速研發(fā),2021年實(shí)現(xiàn)EUV光刻膠突破,2023年用于三星14納米DRAM產(chǎn)線,2025年進(jìn)入3納米產(chǎn)線。

不過(guò)韓國(guó)仍需從日本進(jìn)口EUV光刻膠,一來(lái)產(chǎn)能不足,二來(lái)在3納米以下制程、High NA EUV光刻機(jī)配套光刻膠等領(lǐng)域,純度、一致性等指標(biāo)仍無(wú)法穩(wěn)定量產(chǎn),與日本有差距。



美國(guó)杜邦有EUV光刻膠技術(shù)儲(chǔ)備,但未實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)化,產(chǎn)品線仍以KRF、ARF為主??梢?jiàn)光刻膠是典型寡頭市場(chǎng),尤其EUV領(lǐng)域高度壟斷。

對(duì)中國(guó)而言,在02專(zhuān)項(xiàng)推動(dòng)下,光刻膠國(guó)產(chǎn)化已取得一定進(jìn)展。2018年i線光刻膠產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收,后續(xù)KRF、ARF等項(xiàng)目也通過(guò)客戶(hù)驗(yàn)證并進(jìn)入量產(chǎn)。

EUV光刻膠方面,2018年北京科華承擔(dān)的02專(zhuān)項(xiàng)任務(wù)通過(guò)驗(yàn)收,清華等科研院所也有技術(shù)突破,部分設(shè)計(jì)達(dá)國(guó)際水準(zhǔn)。

但因國(guó)內(nèi)暫無(wú)服役的EUV光刻機(jī),科研成果轉(zhuǎn)化情況不明確;不過(guò)若報(bào)道中EUV光刻機(jī)確在組建,EUV光刻膠國(guó)產(chǎn)化替代想必也在推進(jìn)。

從國(guó)產(chǎn)化率看,LED用光刻膠已100%國(guó)產(chǎn)(難度較低);LCD用光刻膠國(guó)產(chǎn)化率約50%,部分特定類(lèi)型仍依賴(lài)進(jìn)口;PCB用光刻膠中,濕膜和阻焊油墨國(guó)產(chǎn)化率約50%,干膜仍高度依賴(lài)進(jìn)口。



半導(dǎo)體用光刻膠中,入門(mén)級(jí)環(huán)化橡膠型光刻膠技術(shù)成熟,國(guó)產(chǎn)化率較高(具體比例無(wú)權(quán)威統(tǒng)計(jì));傳統(tǒng)g線、i線光刻膠也較成熟,國(guó)產(chǎn)化率約30%。

KRF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率僅10%左右,僅部分企業(yè)實(shí)現(xiàn)批量化供應(yīng),依賴(lài)度仍高;ARF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率更低,約5%,但已有產(chǎn)品通過(guò)驗(yàn)收并出貨。

券商數(shù)據(jù)顯示,除EUV光刻膠外,中國(guó)已具備所有半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)能,只是產(chǎn)能規(guī)模和技術(shù)先進(jìn)性與海外廠商有差距。

這種背景下,若日本拿光刻膠反制,中國(guó)有應(yīng)對(duì)能力,但需配合其他牌。目前中國(guó)光刻膠進(jìn)口超50%來(lái)自日本,其余來(lái)自韓、美。

若日本斷供,除擴(kuò)大本土產(chǎn)能,理論上可向韓、美采購(gòu)緩解壓力,但這取決于地緣政治格局。



先進(jìn)制程相關(guān)采購(gòu)阻礙較大,但韓國(guó)或成重要后援——中國(guó)是韓國(guó)半導(dǎo)體最大出口市場(chǎng),韓有動(dòng)機(jī)維持對(duì)華貿(mào)易。不過(guò)即便韓國(guó)頂著二級(jí)制裁風(fēng)險(xiǎn)相助,也僅能提供中低端光刻膠,高端仍無(wú)能為力。

另一張反制牌就是稀土。日本高度依賴(lài)中國(guó)稀土,2010年前后依賴(lài)度達(dá)90%,雖后續(xù)聯(lián)合美澳構(gòu)建產(chǎn)業(yè)鏈,現(xiàn)階段仍60%進(jìn)口來(lái)自中國(guó),尤其重稀土依賴(lài)度極高。

2025年4月中國(guó)對(duì)7種中重稀土實(shí)施出口管制后,日本電子、汽車(chē)工業(yè)已明顯感到危機(jī)——中國(guó)一旦掐斷供應(yīng),日企產(chǎn)線隨時(shí)可能停擺。這也是日本國(guó)內(nèi)呼聲高,但政府遲遲不敢動(dòng)手的核心原因。

廣義汽車(chē)產(chǎn)業(yè)貢獻(xiàn)日本10%GDP和超500萬(wàn)就業(yè)崗位,如今日企已被中國(guó)新能源汽車(chē)持續(xù)擠壓,若中國(guó)祭出稀土牌,對(duì)日本汽車(chē)產(chǎn)業(yè)將是滅頂之災(zāi)。

稀土是關(guān)鍵礦產(chǎn),產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)周期長(zhǎng),且中重稀土地理分布不均,日本應(yīng)對(duì)能力極弱。

而光刻膠是化工材料,核心是配方,中國(guó)掌握配方后只需擴(kuò)產(chǎn)即可應(yīng)對(duì),所需時(shí)間遠(yuǎn)短于日本構(gòu)建稀土產(chǎn)業(yè)鏈。所以光刻膠對(duì)陣稀土,日本勝算不大。



有人問(wèn)能不能提前儲(chǔ)備光刻膠?其實(shí)儲(chǔ)備不了——光刻膠質(zhì)保期僅6個(gè)月左右,都是訂單制。

2021年日本福島地震破壞信越化學(xué)產(chǎn)線,一度造成光刻膠短缺,國(guó)內(nèi)不少晶圓廠產(chǎn)能受波及,即便東京應(yīng)化等企業(yè)補(bǔ)產(chǎn)也無(wú)法滿(mǎn)足需求。

這既體現(xiàn)了日本的影響力,也說(shuō)明光刻膠供應(yīng)鏈的脆弱性,對(duì)進(jìn)口依賴(lài)就是懸在頭頂?shù)倪_(dá)摩克利斯之劍。

如今我們要做的,是加大國(guó)產(chǎn)供應(yīng)比例,盡快突破高端產(chǎn)品封鎖。目前國(guó)內(nèi)多家光刻膠企業(yè)已啟動(dòng)產(chǎn)能擴(kuò)張和爬坡,預(yù)計(jì)未來(lái)幾年整體國(guó)產(chǎn)化率可提升至40%以上,進(jìn)一步壓縮風(fēng)險(xiǎn)。

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