截至2025年12月25日 14:58，上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)上漲0.12%，成分股華興源創(chuàng)上漲9.18%，先鋒精科上漲6.83%，華峰測控上漲2.88%，歐萊新材上漲2.68%，盛美上海上漲1.71%?？苿?chuàng)半導體ETF（588170）上漲0.19%。

據(jù)中國政府采購網(wǎng)公示，上海微電子裝備（集團）股份有限公司中標zycgr22011903采購步進掃描式光刻機項目，設備數(shù)量為一臺，成交金額10999.985萬元。

招商證券表示，設備公司正處于景氣上行周期，本輪核心驅(qū)動因素系AI帶動先進制程需求增長同時成熟制程逐步復蘇，2025 年先進邏輯持續(xù)拉貨，設備公司訂單持續(xù)向好，同時頭部設備公司不斷放量，國產(chǎn)化率持續(xù)提升。展望25-27年，全球半導體設備市場空間持續(xù)增長，國內(nèi)設備技術(shù)水平持續(xù)突破，國產(chǎn)化率迎來1-N階段大規(guī)模提升，伴隨下游先進存儲持續(xù)擴產(chǎn)，卡位良好及份額較高的存儲設備公司有望充分受益。

相關ETF：公開信息顯示， 科創(chuàng)半導體ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中 半導體設備（61%）和半導體材料（23%）細分領域的硬科技公司。 半導體設備和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求，擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術(shù)進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357），指數(shù)中半導體設備（61%）、半導體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。