魯網(wǎng)7月28日訊（記者 陳珊珊 通訊員 陳朝）近日，一項由淄博力量主導(dǎo)的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《光刻機(jī)用氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌》（T/SDTC 010-2025）正式發(fā)布，這不僅填補(bǔ)了國內(nèi)空白，更標(biāo)志著我國在高端光刻機(jī)核心部件領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從技術(shù)到標(biāo)準(zhǔn)的雙重重大突破。

光刻機(jī)被譽(yù)為“芯片之母”，其內(nèi)部陶瓷導(dǎo)軌雖微小，卻堪稱精密設(shè)備的“骨骼”——其精度與穩(wěn)定性直接決定了高端裝備制造的“高度”。過去，這類核心部件長期被美、日企業(yè)壟斷，成為“卡脖子”的技術(shù)壁壘。

為打破這一困局，淄博企業(yè)山東硅元新型材料股份有限公司依托深厚工業(yè)陶瓷技術(shù)積累，自2014年起聯(lián)合產(chǎn)學(xué)研力量，十年如一日潛心攻關(guān)。從材料配方到精密成型工藝逐一突破，最終成功開發(fā)出性能比肩國際的氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌系列產(chǎn)品，為國產(chǎn)高端光刻機(jī)裝上了自研“關(guān)節(jié)”。

技術(shù)突破后，硅元公司馬不停蹄牽頭制定團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，將十年心血凝結(jié)為《光刻機(jī)用氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌》這一技術(shù)標(biāo)尺。標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格規(guī)范了產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)與生產(chǎn)要求，為國產(chǎn)替代提供了清晰可靠的技術(shù)依據(jù)，讓核心技術(shù)真正落地生根，轉(zhuǎn)化為產(chǎn)業(yè)競爭力。此項標(biāo)準(zhǔn)的實施，將顯著提升我國光刻機(jī)與芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈的整體實力。

該標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布是全市持續(xù)實施團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)培優(yōu)計劃的重大成果。團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)是創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化的重要橋梁。淄博市場監(jiān)管部門長期致力于培育高水平團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，未來將繼續(xù)深入推動“培優(yōu)計劃”，讓“淄博標(biāo)準(zhǔn)”為高質(zhì)量發(fā)展提供堅實支撐。

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