光刻機(jī)的重要性大家都了解，由于其制造不易，全球能夠生產(chǎn)芯片制造用光刻機(jī)的沒幾家，如今市場基本被荷蘭ASML壟斷，尤其是最高端的EUV，只有ASML能生產(chǎn)。

為此，多地在研究繞開EUV的光刻技術(shù)路線。其中，日本佳能研發(fā)的納米壓印光刻技術(shù)最為突出，已經(jīng)進(jìn)入產(chǎn)線應(yīng)用。不過，佳能壟斷很快被打破，大陸首臺已經(jīng)交付。

目前，全球能夠生產(chǎn)芯片制造用光刻機(jī)的只有三個國家、四家公司，除了荷蘭ASML外，就是日本的尼康和佳能，以及我國上海微電子，但都跟荷蘭ASML差距很大。

其實，在ASML崛起之前，全球的光刻機(jī)霸主是尼康和佳能，當(dāng)時號稱日本“光刻機(jī)雙雄”。后來，ASML憑借浸潤式DUV實現(xiàn)超越，再后來推出EUV，徹底稱霸了。

但尼康和佳能并沒有放棄光刻機(jī)業(yè)務(wù)，還在繼續(xù)追趕，其中尼康繼續(xù)沿老路線前進(jìn)。

如今，尼康已經(jīng)突破了浸潤式光刻技術(shù)，能夠?qū)ν怃N售浸潤式DUV，但產(chǎn)量不大，每年才售出幾臺。佳能繼續(xù)銷售中低端光刻機(jī)，但另辟蹊徑，研發(fā)納米壓印光刻技術(shù)。

因為佳能明白，在EUV上打敗ASML已經(jīng)不太可能，所以就押注納米壓印光刻技術(shù)。

我國上海微電子雖然也突破了芯片制造用光刻機(jī)，但制程上相對比較落后。不過，這也解決了不小問題，至少我們成熟制程芯片不擔(dān)心被斷供，并且還在研發(fā)先進(jìn)光刻機(jī)。

其他不多講，今天主要聊納米壓印光刻（NIL）技術(shù)。所謂NIL技術(shù)，是將三維結(jié)構(gòu)的掩膜壓在晶圓的感光材料上，同時照射光線完成一次性轉(zhuǎn)印，實現(xiàn)光刻達(dá)到的效果。

該技術(shù)一直被認(rèn)為是最有前景的光刻技術(shù)之一，佳能2014年就開始研發(fā)這方面，如今在NIL專利上優(yōu)勢非常大，已經(jīng)遠(yuǎn)超其他相關(guān)廠商，并且該技術(shù)不是停留在紙面上。

2021年時，佳能就已經(jīng)推出成品機(jī)，并且還應(yīng)用到日本鎧俠NAND閃存的生產(chǎn)線上。

目前，佳能生產(chǎn)的最先進(jìn)的納米壓印光刻設(shè)備已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)14nm線寬的圖案，對應(yīng)傳統(tǒng)光刻機(jī)5nm制程邏輯芯片的生產(chǎn)。要知道，5nm制程就必須用到EUV光刻機(jī)。

去年9月份，佳能向德克薩斯電子研究所交付的 FPA-1200NZ2C 納米壓印光刻機(jī)就是14nm線寬，理論上比傳統(tǒng)光刻成本更低，投資為EUV的40%，能耗降低10倍。

因此，NIL技術(shù)被視為EUV技術(shù)的有力競爭者，據(jù)說佳能還將研發(fā)更先進(jìn)2nm工藝。

可能會有人說，那我們是不是就可以購買佳能的NIL光刻機(jī)，不用再受ASML的EUV對華限制了。但很遺憾，此前佳能CEO在接受采訪時已經(jīng)表態(tài)，也不能對華銷售。

因為美方的出口管制，我們也買不到佳能的NIL光刻機(jī)，所以我們只能實現(xiàn)國產(chǎn)突破。

好消息是，我們也在努力，并且近日國內(nèi)企業(yè)璞璘科技近日公開宣布，自主設(shè)計研發(fā)的首臺PL-SR系列噴墨步進(jìn)式納米壓印設(shè)備順利通過驗收并交付至國內(nèi)特色工藝客戶。

值得一提的是，璞璘科技的PL-SR系列噴墨步進(jìn)式納米壓印設(shè)備更進(jìn)一步，實現(xiàn)了對應(yīng)線寬小于10nm 的納米壓印光刻工藝，也就是說在這項指標(biāo)上已經(jīng)超越了佳能。

重點是，璞璘科技成功攻克了多項技術(shù)瓶頸，還搭配了自主研發(fā)的軟件控制系統(tǒng)，并且該款設(shè)備目前已經(jīng)初步完成儲存芯片、硅基微顯、硅光及先進(jìn)封裝等芯片研發(fā)驗證。

不過，該設(shè)備主要應(yīng)用于存儲芯片，意味著國內(nèi)存儲芯片廠商能夠擺脫國外設(shè)備依賴。

即使是佳能的納米壓印設(shè)備也有缺點，那就是芯片制造速度相比傳統(tǒng)光刻方式更慢，不適合用于復(fù)雜的邏輯制程芯片制造，更適合NAND存儲芯片，實現(xiàn)多層相同堆疊。

因此，璞璘科技納米壓印設(shè)備的突圍，標(biāo)志著我國在高端半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域邁出堅實的一步，徹底打破了佳能的壟斷和西方的禁運，所以外媒才表示日企壟斷被打破了！