在全球半導(dǎo)體領(lǐng)域中，荷蘭ASML被稱為全球芯片光刻技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者，因?yàn)椴粌H是我們大陸晶圓廠要用它的光刻機(jī)，就連晶圓大廠臺積電、三星、英特爾等都離不開它。

主要是光刻機(jī)是芯片制造過程中不可缺少的核心設(shè)備，荷蘭ASML如今又是全球光刻機(jī)霸主，占據(jù)絕大部分市場份額。不過近日消息傳來，大陸光刻機(jī)開始全面圍攻了！

荷蘭ASML到底有多厲害，以至于全球晶圓廠商基本都離不開它呢？大家可以看看下邊的這個(gè)統(tǒng)計(jì)圖片，從ASML的2024年的各類光刻機(jī)銷量和市占率就能明白了。

最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，只有ASML一家能夠生產(chǎn)，獨(dú)家壟斷了100%市場份額，晶圓大廠臺積電、三星、英特爾想要進(jìn)行7nm及以下芯片制造，就離不開它的EUV。

再說次高端浸潤式DUV光刻機(jī)，除了ASML，尼康還能生產(chǎn)，但去年年產(chǎn)量才4臺。

還有干式DUV光刻機(jī)，尼康才出貨7臺。而ASML的ArFi和ArF這兩類光刻機(jī)的市場占比分別達(dá)到了96.99%和80%?？梢哉f，ASML基本壟斷中高端DUV市場。

不僅傳統(tǒng)光刻機(jī)領(lǐng)域，ASML在 GAA光刻 、電子束光刻 等新興技術(shù)領(lǐng)域也保持領(lǐng)先。

然而，大家都知道，美方為阻撓我們芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展，2019年開始就阻撓EUV光刻機(jī)對會(huì)出貨。當(dāng)時(shí)，美方四次向荷蘭政府施壓，導(dǎo)致中芯國際買的一臺EUV未能到貨。

之后，美方嚴(yán)格限制EUV光刻機(jī)對華出口，甚至連外企在大陸建的晶圓廠也不能購買EUV。2022年開始，美方又?jǐn)U大光刻機(jī)限制范圍，進(jìn)一步限制先進(jìn)浸潤式DUV。

沒有ASML的EUV光刻機(jī)，我們就不能實(shí)現(xiàn)7nm及以下先進(jìn)制程芯片，即使通過浸潤式DUV能做出7nm甚至5nm，因?yàn)橐嘀仄毓?，?huì)導(dǎo)致良率不高、成本過高。

再說，先進(jìn)浸潤式DUV也被納入限制范圍，所以我們除了自研國產(chǎn)光刻機(jī)別無出路。

當(dāng)然，我們也不會(huì)坐以待斃，早就開始布局，近日消息傳來，已從三條路線開始突圍。

首先是納米壓印光刻技術(shù)路線。這方面技術(shù)一直以日本佳能較為領(lǐng)先，其最先進(jìn)的納米壓印光刻設(shè)備線寬已達(dá)14nm，對應(yīng)傳統(tǒng)5nm制程。不過，這個(gè)紀(jì)錄被中企打破。

近日，國內(nèi)企業(yè)璞璘科技自主設(shè)計(jì)研發(fā)的首臺PL-SR系列噴墨步進(jìn)式納米壓印設(shè)備已經(jīng)交付給國內(nèi)特色工藝客戶產(chǎn)線使用，線寬小于10nm，能用于存儲芯片等領(lǐng)域。

其次是電子束光刻技術(shù)路線。近日，浙江大學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)推出我國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)，命名為“羲之”， 精度0.6nm，線寬8nm，用電子束在芯片上刻寫電路。

值得一提的是，這個(gè)不是停留在PPT上，而是有了成品機(jī)，并且已經(jīng)進(jìn)入應(yīng)用測試。

其主要用于制造量子芯片，以及高端芯片前期科研，因?yàn)殡娮邮饪虣C(jī)的優(yōu)勢是精度非常高，能夠靈活修改設(shè)計(jì)無需掩膜版，缺點(diǎn)是效率不高，不適合大規(guī)模芯片量產(chǎn)。

再者是傳統(tǒng)光刻技術(shù)路線。也就是繼續(xù)研發(fā)ASML的傳統(tǒng)光刻技術(shù)，從i-line到KrF，到干式ArF，到浸潤式ArFi，再到EUV。目前，上海微電子就在這個(gè)路線上前進(jìn)。

盡管上海微電子現(xiàn)在跟ASML的差距還很大，但從其官網(wǎng)公布的光刻機(jī)可以看出，已經(jīng)能夠做出ArF光刻機(jī)，接下來就是ArFi，據(jù)說正在攻堅(jiān)，浸潤式DUV也不遠(yuǎn)了。

接下來還有EUV，上海微電子不是孤軍奮戰(zhàn)，國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈都在努力攻堅(jiān)相關(guān)技術(shù)。

不過，納米壓印和電子束這兩種都有缺點(diǎn)，納米壓印重點(diǎn)用于存儲芯片制造，電子束光刻主要用于量子芯片和高端芯片研發(fā)，我們還要繼續(xù)努力，突破國產(chǎn)EUV光刻機(jī)。

對此，有外媒直接評價(jià)道，ASML快要坐不住了！大陸可是ASML重要出貨市場，如今有3種路線開始圍攻，并且已取得突破進(jìn)展，一旦突破EUV，芯片戰(zhàn)就結(jié)束了。