前段時間，無錫落地了一個重大項目。

位于錫東新城，總投資50億元的芯慧聯(lián)集成電路工藝設(shè)備研發(fā)制造基地項目正式奠基，將建設(shè)集研發(fā)、制造、測試一體化的智能化產(chǎn)業(yè)基地。

為什么我會注意到它？

因為兩個關(guān)鍵詞：集成電路和錫東新城。

眾所周知，無錫是全國唯一擁有集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈的地級市，產(chǎn)業(yè)布局呈現(xiàn)多點開花之勢，各個板塊都有自己鮮明的產(chǎn)業(yè)特色，例如濱湖區(qū)的芯片設(shè)計、高新區(qū)的芯片制造、錫山區(qū)的應(yīng)用裝備、江陰的封測、宜興的材料等等……

作為無錫東部高端產(chǎn)業(yè)集聚中心，錫東新城同樣將集成電路作為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)進行重點培育，圍繞設(shè)計、制造、封裝、裝備及材料等環(huán)節(jié)深度布局產(chǎn)業(yè)鏈。

尤其是半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，錫東的中電（無錫）數(shù)字芯谷里，聚集了包括鑫業(yè)誠、艾方芯動、拓氟未來等在內(nèi)的一批關(guān)鍵設(shè)備及零部件企業(yè)。

這次的芯慧聯(lián)基地項目就坐落在數(shù)字芯谷，總建筑面積大概14萬平方米，建成后，將重點突破多款半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化替代，預(yù)計將實現(xiàn)年產(chǎn)300臺（套）半導(dǎo)體核心設(shè)備的生產(chǎn)能力。

看來，錫東新城不光要造“芯片”，還要發(fā)力造“能造芯片的設(shè)備”。

可以預(yù)見，圍繞芯慧聯(lián)和數(shù)字芯谷，錫東正在加速形成無錫集成電路產(chǎn)業(yè)鏈向上延伸的關(guān)鍵節(jié)點，成為產(chǎn)業(yè)“強鏈補鏈”的重要一環(huán)。

半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，即將崛起一股不容忽視的“錫東力量”。

01.

芯慧聯(lián)的“四步走”

在錫東新城擲下50億重磅項目的芯慧聯(lián)，究竟是一家怎樣的公司？

翻看芯慧聯(lián)的發(fā)展歷史，這家低調(diào)的企業(yè)成立于2019年，掌舵人劉紅軍是一位在集成電路行業(yè)深耕30余年的“老將”。

時間拉回1992年，從河海大學(xué)自動化專業(yè)畢業(yè)的劉紅軍，趕上了一個特殊的節(jié)點。

前一年，北京首鋼喊出“首鋼未來不姓鋼” 的口號，宣布與日本半導(dǎo)體設(shè)備巨頭NEC合資成立首鋼NEC，進軍芯片制造領(lǐng)域。劉紅軍有幸加入這支隊伍，一入職就投身我國第一條6英寸晶圓生產(chǎn)線的籌備與建設(shè)。

僅用兩年時間，首鋼NEC便交出亮眼答卷：建成國內(nèi)首條6英寸1.2微米晶圓生產(chǎn)線，后來更升級到0.7微米工藝。在首鋼NEC的十年間，劉紅軍不僅全程參與產(chǎn)線建設(shè)與運營，還作為國家首批公派人員赴日深造，系統(tǒng)學(xué)習芯片產(chǎn)線技術(shù)，為日后的深耕打下了堅實基礎(chǔ)。

2003年，劉紅軍的職業(yè)生涯迎來新起點，加入全球排名前三的半導(dǎo)體設(shè)備制造商東京電子（TEL），專注于技術(shù)服務(wù)支持長達十余年。

彼時，大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備外企僅僅只在國內(nèi)設(shè)置銷售和售后業(yè)務(wù)，直到2011年，TEL決定在昆山投建生產(chǎn)制造基地，才首次實現(xiàn)關(guān)鍵設(shè)備零部件的本地化生產(chǎn)與組裝。已是TEL大中華區(qū)資深經(jīng)理的劉紅軍，受命擔任廠長，一手主導(dǎo)了工廠從籌備到建成的全流程。

在他的帶領(lǐng)下，昆山工廠在供應(yīng)鏈現(xiàn)代化建設(shè)、生產(chǎn)周期優(yōu)化等方面成效顯著，生產(chǎn)效率躋身

TEL

全球業(yè)務(wù)前列。

而在國際半導(dǎo)體制造商數(shù)十年的工作經(jīng)歷，也讓劉紅軍深度參與了半導(dǎo)體制造的各個環(huán)節(jié)，積累了豐富的設(shè)備制造及維護經(jīng)驗。

正是帶著這樣的積淀，劉紅軍在2019年開啟創(chuàng)業(yè)之路。依托對長三角制造供應(yīng)鏈的熟稔，芯慧聯(lián)落地蘇州。

在公司的發(fā)展規(guī)劃上，劉紅軍最初定下了一個“四步走”的戰(zhàn)略。

“從公司團隊最擅長的技術(shù)服務(wù)支持入手，逐步延伸到零部件設(shè)計生產(chǎn)、設(shè)備整機制造，最終成長為能為客戶提供整體解決方案的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。”

這是一個穩(wěn)扎穩(wěn)打的發(fā)展步調(diào)，理想很豐滿，但現(xiàn)實很殘酷。

在零部件制造環(huán)節(jié)，芯慧聯(lián)原本計劃與日韓企業(yè)以合資模式開展研發(fā)，然而突如其來的疫情打亂了節(jié)奏，合作項目不得不擱置。

為了企業(yè)生存，芯慧聯(lián)被迫提前啟動整機設(shè)備研發(fā)，其中一個重要突破口，瞄準了半導(dǎo)體的一道關(guān)鍵步驟：晶圓鍵合。

通俗來講，傳統(tǒng)芯片制造像是在晶圓這張“紙”上“畫電路”，電路越密集，晶體管越多，芯片的集成性能也就越強大。但在二維平面上，“紙”總有畫滿的一天。這也是業(yè)界認為摩爾定律總會迎來物理極限的原因之一。

晶圓鍵合設(shè)備的作用，就類似把許多張畫好“電路”的“紙” 極其精準且緊密地疊在一起，讓芯片變得“立體”，打破二維限制，實現(xiàn)更強的性能和集成化水平。

尤其是在當下，國內(nèi)短時間內(nèi)難以自主突破EUV光刻機等核心制造設(shè)備，外加國外芯片技術(shù)的嚴密封鎖，以混合鍵合為代表的先進封裝技術(shù)，對推動高性能芯片發(fā)展意義重大。

也正因如此，即使晶圓鍵合設(shè)備的研發(fā)門檻極高、周期漫長，芯慧聯(lián)仍然選擇投入關(guān)鍵力量，一步步啃下這塊“硬骨頭”。

當然，這個過程必定充滿艱辛。

劉紅軍透露，在創(chuàng)業(yè)初期，芯慧聯(lián)經(jīng)歷過無數(shù)次挑戰(zhàn)，從戰(zhàn)略調(diào)整、研發(fā)攻關(guān)再到合作交付，是一個無比漫長且煎熬的過程。

他坦言，“創(chuàng)業(yè)是我最后悔也最自豪的一件事”，從一家國際企業(yè)的高管轉(zhuǎn)變?yōu)榍把丶夹g(shù)的創(chuàng)業(yè)者，要面對的是更加激烈且變幻莫測的市場競爭。

百舸爭流，不進則退，唯有向前。

經(jīng)過團隊的不懈努力，如今芯慧聯(lián)自主研發(fā)的混合鍵合設(shè)備，性能已經(jīng)達到全球領(lǐng)先，并且實現(xiàn)了95%的在地化生產(chǎn)，不僅保障了自身供應(yīng)鏈的穩(wěn)定，也縮短了客戶的供貨周期、降低了成本。

與此同時，芯慧聯(lián)并沒有完全落下對核心零部件的研發(fā)，一直在深耕半導(dǎo)體產(chǎn)線自動化領(lǐng)域，例如從去年起，有關(guān)半導(dǎo)體機械手等核心部件的研發(fā)制造已經(jīng)緊鑼密鼓地進行中。

在劉紅軍看來，盡管芯慧聯(lián)沒有按照當初設(shè)想的那樣，平穩(wěn)地走過“技術(shù)支持-零部件-設(shè)備-整體方案”的發(fā)展規(guī)劃，但好在最終仍然頑強地堅持了下來，“這也要歸功于核心團隊長期以來的配合以及多年來積累下來的設(shè)備經(jīng)驗，我們才有信心做出這樣的突破?！?/p>

02.

產(chǎn)學(xué)研融合

長三角眾多城市里，芯慧聯(lián)為什么選中錫東？

劉紅軍有兩個核心的理由。

其一，是無錫繞不開的產(chǎn)業(yè)配套優(yōu)勢。

從產(chǎn)業(yè)生態(tài)層面來看，無錫本身就是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重鎮(zhèn)，是國內(nèi)布局產(chǎn)業(yè)起步最早、最全的地區(qū)之一。當?shù)丶哿酥T如海力士、華虹、華潤微、長電科技等頭部企業(yè)。據(jù)統(tǒng)計，無錫集成電路產(chǎn)業(yè)列統(tǒng)規(guī)上企業(yè)273家，今年上半年實現(xiàn)產(chǎn)值1315億元，同比增長14.2%，龐大的產(chǎn)業(yè)集群具備極強的磁吸效應(yīng)。

尤其對于身處行業(yè)上游的芯慧聯(lián)而言，客戶的分布直接決定市場的走向。

劉紅軍表示，

布局錫東

不僅能顯著降低

公司

的市場開拓成本，還能加速產(chǎn)品的推廣與應(yīng)用，形成緊密的產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應(yīng)，讓

企業(yè)

更快地融入當?shù)禺a(chǎn)業(yè)循環(huán)，實現(xiàn)技術(shù)與市場的高效對接。

與此同時，芯慧聯(lián)落地的錫東新城，地理位置優(yōu)越、交通條件便利，高鐵最快28分鐘到達上海，距離碩放機場僅15分鐘車程，擁有‘一小時供應(yīng)鏈生態(tài)圈’的獨特優(yōu)勢，有助于企業(yè)對接資源、促進交流。

其二，則是產(chǎn)學(xué)研深度融合的機遇。

除了制造基地外，芯慧聯(lián)還將與無錫學(xué)院、錫東新城攜手建設(shè)集成電路工藝聯(lián)合創(chuàng)新中心，致力于搭建一個集成電路技術(shù)研發(fā)、驗證、人才培養(yǎng)和成果轉(zhuǎn)化平臺。

對于這次產(chǎn)學(xué)研合作，劉紅軍頗為重視，也是讓他最終下定決心，將制造基地落地錫東的關(guān)鍵。

在和許多城市洽談時，劉紅軍總會主動提出，希望能與當?shù)卣?、高校?lián)手探索產(chǎn)學(xué)研創(chuàng)新模式。而當無錫拋出橄欖枝時，錫東新城與無錫學(xué)院的積極響應(yīng)，恰好契合了他的設(shè)想。

在劉紅軍看來，當前國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)試驗線十分稀缺，企業(yè)不僅缺少設(shè)備產(chǎn)線試驗的機會，測試成本也居高不下；另一方面，推動國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)整體發(fā)展，亟需更多懂技術(shù)、懂產(chǎn)業(yè)的專業(yè)人才。

通過與錫東新城、無錫學(xué)院的合作，芯慧聯(lián)希望能為解決這些行業(yè)痛點出一份力，也為人才培養(yǎng)貢獻力量。

按照規(guī)劃，創(chuàng)新中心將采用“校中企、企中校”模式，發(fā)揮三方優(yōu)勢，形成“政府引導(dǎo)一高校主導(dǎo)一企業(yè)協(xié)同”的創(chuàng)新生態(tài)。

企業(yè)端將打造一條研發(fā)生產(chǎn)試驗線。作為半導(dǎo)體設(shè)備專用的中試線，這里既能通過產(chǎn)品流片測試設(shè)備性能，為設(shè)備迭代提供真實場景驗證；也能作為行業(yè)服務(wù)平臺，幫設(shè)計公司完成“short loop（短循環(huán)流片）”，驗證芯片設(shè)計的可行性，還能為其他半導(dǎo)體設(shè)備和材料企業(yè)提供性能與循環(huán)周期測試服務(wù)。

而無錫學(xué)院則將成為"產(chǎn)學(xué)研前沿陣地"，聚焦適合高校開展的啟蒙性教學(xué)、基礎(chǔ)實驗環(huán)節(jié)，相當于研發(fā)實驗線伸進校園的 "觸角"，從研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、組裝測試到最后流片驗證環(huán)節(jié)，學(xué)生都能有機會參與實習實訓(xùn)。

對于企業(yè)和人才而言，這也是一次提前的試崗培訓(xùn)，讓學(xué)生畢業(yè)時就具備實戰(zhàn)能力。

"我們既篩選人才，也輸送人才。" 劉紅軍的目標看得很長遠，優(yōu)秀學(xué)生將被芯慧聯(lián)直接吸納，而更多人才則流入行業(yè)，"五年到八年之后，當這些人成為半導(dǎo)體行業(yè)的主力時，整個產(chǎn)業(yè)生態(tài)都會記得，他們的成長里有芯慧聯(lián)的影子。"

在芯慧聯(lián)的藍圖里，這個產(chǎn)學(xué)研平臺不追求"三塊錢投入換五塊錢回報"的短期效益。劉紅軍信奉"愛出者愛返"，當平臺培養(yǎng)的這些人才逐漸成為行業(yè)精英，企業(yè)自然會獲得市場認可。

“芯慧聯(lián)的夢想是成長為一家半導(dǎo)體設(shè)備的頭部企業(yè)。

”劉紅軍表示，在支持企業(yè)發(fā)展上，錫東新城給他留下了深刻印象，

“因此，我們希望

選擇一個

合適的棲息之地

產(chǎn)業(yè)氛圍要濃厚，能形成

產(chǎn)學(xué)研用

緊密結(jié)合的環(huán)境，還要有愿意陪伴、支持我們發(fā)展的地方政府。

綜合來看，無論是高校資源還是相關(guān)體系配套，錫東都給予了芯慧聯(lián)實實在在的支持和幫助。

你看，我們這個項目

6

月底

剛奠基，

7

月初就開始動工，推進速度非?？?/blockquote>

每天都有新變化

劉紅軍指向不遠處的項目工地，

這些最能體現(xiàn)當?shù)卣畬Ξa(chǎn)業(yè)的扶持力度

畢竟講產(chǎn)業(yè)政策、扶持措施都很容易，但我們是做實業(yè)的，更看重實際結(jié)果。

如今，劉紅軍每天去到現(xiàn)場，都能看到扎實的進展，工地上一派熱火朝天的景象。

“事實勝于雄辯，這些實際行動給予了芯慧聯(lián)極大的信心?！眲⒓t軍表示，“我們相信，在這樣良好的產(chǎn)業(yè)環(huán)境和氛圍下，只要自己夠努力，未來無論是企業(yè)的發(fā)展夢想還是追求的目標，都會更容易實現(xiàn)。”

03.

一代設(shè)備，一代工藝，一代產(chǎn)品

在錫東新城，并非只有芯慧聯(lián)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域追逐夢想，一批同樣聚焦該賽道的實力企業(yè)，正與芯慧聯(lián)并肩扎根于同一個產(chǎn)業(yè)地標：

中電（無錫）數(shù)字芯谷。

作為錫東新城重點打造的“1+3+N”產(chǎn)業(yè)的重要載體，數(shù)字芯谷以“央企搭臺，地方政府支持，各類企業(yè)參與唱戲”模式，圍繞集成電路芯片應(yīng)用、物聯(lián)網(wǎng)/車聯(lián)網(wǎng)芯片應(yīng)用、數(shù)字信息產(chǎn)業(yè)和高端智能制造四大發(fā)展方向，一期吸引了人形機器人、半導(dǎo)體行業(yè)芯片測試、高新材料研發(fā)等多個領(lǐng)域總部企業(yè)入駐，入駐率超90%。

尤其在半導(dǎo)體設(shè)備及零部件制造這一核心賽道，數(shù)字芯谷通過精準招商，匯聚了一批頗具代表性的企業(yè)，共同構(gòu)建起日趨完善的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

比如艾方芯動。

2009年，MEMS芯片發(fā)展之初，艾方芯動就敏銳地捕捉到市場對測試設(shè)備的需求，果斷切入微機電（MEMS）傳感芯片測試設(shè)備研發(fā)領(lǐng)域。歷經(jīng)十余年技術(shù)攻堅與持續(xù)創(chuàng)新，艾方芯動已躋身全球高端MEMS芯片檢測設(shè)備廠商第一梯隊，成為全球僅有的三家具備高端MEMS芯片檢測設(shè)備量產(chǎn)能力的企業(yè)之一，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于消費電子、汽車電子等領(lǐng)域，為MEMS芯片國產(chǎn)化提供了關(guān)鍵測試支撐。

2023年入駐數(shù)字芯谷的鑫業(yè)誠，則專注于精密光學(xué)檢測與精密激光加工領(lǐng)域，主要服務(wù)半導(dǎo)體、新型顯示、新能源等行業(yè)的高端智能制造。其自主研發(fā)的AOI檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)先，配備高精度2D+3D檢測模組，檢測功能豐富。2D功能可精準識別臟污、劃傷、破損、偏移、錯片、DBC異物等各類缺陷；3D功能能夠檢測芯片BLT、引線高度、線徑、數(shù)量、引線搭接、焊點長寬高、焊點有無及位置等關(guān)鍵指標，在半導(dǎo)體封裝檢測及晶圓檢測領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用。

今年7月，鑫業(yè)誠的AOI檢測設(shè)備入選2025年度江蘇省“三首兩新”擬認定技術(shù)產(chǎn)品名單。

拓氟未來是一家致力于高端零部件材料領(lǐng)域的科技企業(yè)，其研發(fā)的高性能氟材料部件，能耐受半導(dǎo)體生產(chǎn)中的高溫、強腐蝕環(huán)境，有效降低了晶圓制造過程中的耗材更換頻率與生產(chǎn)成本。

公司副總經(jīng)理林晨介紹，拓氟未來目前擁有40多項專利，多款產(chǎn)品的性能實現(xiàn)與國際龍頭企業(yè)并肩，部分指標實現(xiàn)國際領(lǐng)先，并推動了國內(nèi)多家半導(dǎo)體制造企業(yè)實現(xiàn)關(guān)鍵耗材的國產(chǎn)化替代。

例如2017年以前，上海某頭部半導(dǎo)體制造企業(yè)依賴日韓進口加工部件，不但價格高昂，貨期漫長，同時售后和研發(fā)跟進的速度也相對緩慢。拓氟未來切入后，提供從研發(fā)設(shè)計到本土化生產(chǎn)的全鏈條方案，不僅降低了材料成本，貨期更是從原本的90天縮短到21天，保障了供應(yīng)鏈的高效與安全。

目前，拓氟未來已經(jīng)成為國內(nèi)多家晶圓廠的一級供應(yīng)商。

從核心設(shè)備到精密零部件、再到關(guān)鍵耗材，數(shù)字芯谷已經(jīng)形成了“設(shè)備整機-零部件-耗材”的垂直產(chǎn)業(yè)鏈布局，既各有專攻又協(xié)同互補，共同推動錫東新城成為長三角半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的重要增長極。

朋友告訴我，數(shù)字芯谷目前入駐了30多

家企業(yè)，產(chǎn)值約

8

億元，

二期

9

萬

平方米

載體

園區(qū)

將于

年內(nèi)

竣工投用，

未來將進一步

打造全國重點的集成電路先進工藝設(shè)備研發(fā)制造和關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)園區(qū)。

“半導(dǎo)體行業(yè)有句行話，叫‘一代設(shè)備，一代工藝，一代產(chǎn)品’，半導(dǎo)體產(chǎn)品制造要超前電子系統(tǒng)開發(fā)新一代工藝，而半導(dǎo)體設(shè)備作為工藝載體，要超前半導(dǎo)體產(chǎn)品制造開發(fā)新一代設(shè)備。”

只有率先突破設(shè)備的技術(shù)瓶頸，在半導(dǎo)體各個生產(chǎn)環(huán)節(jié)實現(xiàn)國產(chǎn)化替代甚至領(lǐng)先，才能最終實現(xiàn)芯片制程的自主突破。

這是一條漫長但必經(jīng)的道路。

幸運的是，隨著芯慧聯(lián)項目的落地、艾方芯動等鏈上企業(yè)的集聚和聯(lián)動，以數(shù)字芯谷為支點，錫東新城正在加速成為承載這一使命的產(chǎn)業(yè)高地。

期待未來，在錫東聽見更多中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突圍和崛起的故事。

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