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?專題導讀?

半導體生產(chǎn)有幾百至上千道工藝，堪稱最為復雜的制造系統(tǒng)之一。為保障生產(chǎn)效率與產(chǎn)品良率，半導體工廠需要在高度潔凈的無塵室中構建無縫連接生產(chǎn)與物流的高度自動化的生產(chǎn)體系，并對其穩(wěn)定性和安全性有極為嚴苛的要求。

隨著新能源汽車、光伏、5G等行業(yè)的高速發(fā)展，在人工智能技術快速迭代升級與落地應用的驅(qū)動下，中國對芯片的市場需求暴增。近年來，受到地緣政治影響，為了產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈安全，中國不斷加大投入，推動半導體行業(yè)進入技術突破與制造能力全面提升的新發(fā)展階段。隨著技術進步、產(chǎn)能擴大、工藝增加，從前道的晶圓廠到后道的封測廠，越來越多的半導體工廠亟待進行物流自動化升級。AMHS（自動化物料搬運系統(tǒng)）和移動操作機器人的需求顯著上升。

據(jù)SEMI分析，全球半導體制造設備市場（包含AMHS）銷售額2024年強勁增長，預計2025年繼續(xù)增加，2026年將再創(chuàng)新高；從區(qū)域來看，中國仍將繼續(xù)保持半導體制造設備（包含AMHS）支出全球市場首位。有關機構預測，2025年中國AMHS市場將突破160億元，年復合增長率超過12%。

長期以來，AMHS技術主要由日本企業(yè)掌控。近年來，國內(nèi)AMHS企業(yè)奮起直追，通過持續(xù)研發(fā)，逐步構建了涵蓋OHT天車系統(tǒng)、Stocker晶圓存儲立庫、MCS物料控制系統(tǒng)等核心軟硬件技術的完善的AMHS產(chǎn)品體系，可以助力更多的半導體工廠提高生產(chǎn)效率。

本刊曾在2024年5月推出了“潔凈物流系統(tǒng)及關鍵技術發(fā)展”專題報道，受到高度關注。本期專題，我們將聚焦晶圓廠與封裝測試廠制造與物流升級解決方案、移動操作機器人在半導體行業(yè)的應用、AMHS技術發(fā)展特別是AI帶來的智能化升級，以及AMHS企業(yè)的出海探索等話題，詳解半導體行業(yè)適用的物流解決方案、技術發(fā)展趨勢、市場需求變化與典型應用案例等，為相關人士提供參考。

?文章簡介?

蘇州新施諾半導體設備有限公司技術總監(jiān) 呂杰

在半導體制造中，晶圓廠處于前道，生產(chǎn)規(guī)模大，對生產(chǎn)效率、精度和穩(wěn)定性的要求極高。近年來，空中走行式天車系統(tǒng)（OHT）已逐漸成為現(xiàn)代晶圓制造廠的標配。本文對晶圓廠的物流升級需求、OHT軟硬件系統(tǒng)構成及主要功能、物流系統(tǒng)項目落地難點與要點，以及核心技術創(chuàng)新發(fā)展趨勢進行了詳細分析。

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成川科技（蘇州）有限公司總經(jīng)理 顧曉勇

封測處于半導體制造的后道，可分為先進封測和傳統(tǒng)封測兩部分，本文主要對自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）在封測領域的應用進行深入探討，通過對晶圓廠與封測廠AMHS的異同進行對比，剖析了封測廠工藝及生產(chǎn)制造特點以及封測廠構筑AMHS的難點和痛點，并針對先進封測和傳統(tǒng)封測分別提出AMHS解決方案，最后總結AMHS帶來的價值。科學規(guī)劃和有效實施AMHS，能顯著提升封測制造的效率、質(zhì)量和競爭力，是封測產(chǎn)業(yè)升級的關鍵路徑。

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本刊記者 江宏

格創(chuàng)東智通過戰(zhàn)略收購成立格創(chuàng)維晟，完善AMHS（自動化物料搬運系統(tǒng)）軟硬一體化能力，特別是AMHS與CIM系統(tǒng)深度集成，并融合AI技術，進一步提高了系統(tǒng)效率與可靠性。本文通過格創(chuàng)維晟的視角，分析了半導體行業(yè)物流升級需求，探討了AMHS國產(chǎn)化發(fā)展，以及AI技術如何推動AMHS智能化升級。

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彌費科技（上海）股份有限公司聯(lián)合創(chuàng)始人、首席戰(zhàn)略官 柯娜

在AI驅(qū)動全球半導體產(chǎn)業(yè)技術發(fā)展與格局改變之際，以彌費科技為代表的中國AMHS企業(yè)，在取得關鍵技術突破、構建起產(chǎn)品體系后，正努力探索全球化布局，通過制定系統(tǒng)的全球化發(fā)展戰(zhàn)略，以及精準的市場定位、多元化的市場進入模式與本地化的運營策略，在海外市場逐漸站穩(wěn)腳跟。

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深圳優(yōu)艾智合機器人科技有限公司 徐青玉

移動操作機器人通過集成移動底盤與協(xié)作機械臂，可實現(xiàn)智能化和多功能的高度集成，以柔性化、數(shù)字化與智能化賦能半導體行業(yè)。本文結合移動操作機器人發(fā)展態(tài)勢，全面介紹其在半導體行業(yè)的應用現(xiàn)狀及實際應用案例，并探討移動操作機器人的進一步應用價值和發(fā)展空間。

編輯、排版：王茜

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