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稀土元素(共 17 種,包括鑭系元素鑭、鈰、鐠等 15 種,外加鈧、釔)
稀土元素在半導體中的應用概覽
一方面,對于高K介質柵的改性,摻雜稀土元素之后,相對介電系數提升2-6不等,減少漏電流,增加柵極控制能力,晶體管的導通速度進一步提升。
在工藝設備中,比如光學檢測、量測、對準相關的Yb元素、Tm元素、Er元素,這是激光發(fā)生器的核心摻雜元素。
另外設備中的運控平臺(如光刻機的雙工件臺)需要超高性能永磁體。
加工中,光刻膠光敏劑,增強pattern能力
加工中,前段STI及后段銅用二氧化鈰CMP拋光材料是標配的材料。
刻蝕腔體中涂層多為稀土氧化物,以提高耐刻蝕能力。
以CMP拋光用材料CeO2為例:
鈰氧化物(CeO?)是三元催化器(TWC)的關鍵材料,通過氧存儲-釋放機制(Ce3?/Ce??轉換)高效凈化尾氣中的CO、NOx和碳氫化合物
氧化鈰(CeO?)是高性能拋光粉的核心成分,用于光學鏡頭、半導體晶圓、顯示面板(如LCD玻璃)和汽車玻璃的精密拋光
鈰化合物用于半導體工藝中的化學機械拋光(CMP)和光刻膠添加劑
氧化鈰作為玻璃脫色劑(吸收紫外光)和著色劑(黃色調),用于高端建筑玻璃和防輻射玻璃
中國對全球的稀土供應一直維持穩(wěn)定,一直維持穩(wěn)定。實際上,稀土盡管是監(jiān)控,上了系統,也是維護供應鏈風向的一種風險,針對川普?
單位:公斤
只列一下,美國、越南(主要是貿易)
單位:同樣為公斤
全球的芯片、光學、精密設備、醫(yī)療設備、航空飛行器都是建立在中國穩(wěn)定出口稀土的基礎上。
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