壟斷壁壘筑牢，自主之路崎嶇

半導(dǎo)體本來就是全球科技鏈條里最硬的骨頭，光刻機(jī)更是其中的命根子。想想看，沒有它，芯片就沒法兒精細(xì)雕琢圖案，性能直接打折。多年來，荷蘭的ASML公司一家獨大，市場份額穩(wěn)穩(wěn)占了七成多，日本尼康勉強跟上點兒邊。

中國這邊呢，從上世紀(jì)90年代就開始琢磨自個兒干，可技術(shù)門檻高得像座山，專利壁壘一層一層，進(jìn)口設(shè)備成了常態(tài)。2023年，中國光刻機(jī)進(jìn)口額超300億人民幣，高端DUV和EUV全靠海外供貨，這不光是錢的事，更是產(chǎn)業(yè)鏈命門被別人捏著的感覺。

其實，早幾年中國就下定決心了。國家層面的“十四五”規(guī)劃里，半導(dǎo)體裝備列為重中之重，資金砸進(jìn)去上千億。上海微電子裝備公司帶頭沖鋒，2022年他們的SSA800系列DUV光刻機(jī)開始驗證，90納米級設(shè)備在2023年交付了好幾臺，中芯國際北京廠直接上生產(chǎn)線。

產(chǎn)量呢？那年全國光刻機(jī)總產(chǎn)量124臺，市場規(guī)模破160億，可國產(chǎn)化率才2.5%，差距拉得老大。這里面有光源、鏡頭、控制系統(tǒng)等一堆子部件，哪個都得從零攻關(guān)。寧波南大光電搞光刻膠，福晶科技切KBBF晶體，科益虹源的248納米準(zhǔn)分子激光器也推出來了，功率穩(wěn)在40瓦。

轉(zhuǎn)到2024年，事兒更緊迫了。人工智能和5G火得一塌糊涂，芯片需求每月400萬片晶圓起步，中國產(chǎn)量目標(biāo)直奔這個數(shù)。進(jìn)口數(shù)據(jù)擺在那兒，上半年87.54億美金，全從ASML和尼康那兒來。天津港卸貨的集裝箱堆成山，海關(guān)檢驗時工人忙得腳不沾地。

可供應(yīng)鏈風(fēng)險越來越明顯，美國從2018年就開始卡脖子，荷蘭也跟著動。2023年9月，荷蘭就要求NXT:2000系列DUV對華出口加許可，中國企業(yè)采購延誤幾個月，北京的供應(yīng)鏈會上，采購經(jīng)理們盯著文件算影響，頭都大了。

中國這邊沒閑著。4月，上海浦東實驗室多重曝光技術(shù)成熟，在現(xiàn)有DUV基礎(chǔ)上試制出5納米級芯片，華為深圳中心驗證后直接用在新處理器上。7月，工信部推ArF光刻機(jī)，193納米波長，分辨率控在65納米以下。

9月9日，國產(chǎn)光刻機(jī)推廣目錄正式出爐，規(guī)范一堆，上海研討會專家們圍著表格討論，圈圈點點。結(jié)果呢？中芯上海廠引入SMEE的90納米機(jī)，生產(chǎn)線上曝光時間調(diào)好，晶圓滑過去，圖案轉(zhuǎn)移穩(wěn)穩(wěn)的。華為海思設(shè)計師導(dǎo)入數(shù)據(jù)，模擬電路，功耗優(yōu)化了10%。

全球?qū)Ρ绕饋?，就更顯出這自主化的必要。ASML 2024年財報，對華出口降到20%，總銷售額280億歐元，可他們費爾德霍芬總部董事會室里，數(shù)據(jù)曲線往下彎，執(zhí)行官們眉頭緊鎖。日本尼康份額15%，東京廠裝配光學(xué)組件，測試光束均勻性，可也擋不住中國追趕的勢頭。

管制箭在弦上，批評聲四起

2024年9月7日，這天成了半導(dǎo)體圈的轉(zhuǎn)折點。荷蘭經(jīng)濟(jì)事務(wù)部大樓里，新規(guī)落地，從那天起ASML的NXT:1970Ci和NXT:1980Di型號DUV光刻機(jī)對華出口，得額外許可。部長瑪麗·德孔在新聞會上站定，講臺敲了敲，強調(diào)國家安全和技術(shù)優(yōu)勢。

閃光燈亂閃，記者追問，她簡短回應(yīng)，轉(zhuǎn)身走人。這政策直奔中國而來，維修服務(wù)和備件供應(yīng)也收緊。華盛頓那邊，美國商務(wù)部沒閑著，部長吉娜·雷蒙批準(zhǔn)臨時規(guī)則，涵蓋半導(dǎo)體設(shè)備和量子計算出口管制。發(fā)布會廳投影儀亮起，她逐條解釋，聲音平穩(wěn)，指出中國光刻機(jī)進(jìn)展涉嫌逆向工程，威脅供應(yīng)鏈。

兩國步調(diào)齊了，美大使館阿姆斯特丹遞交照會，荷蘭外交部書面確認(rèn)。媒體炸鍋，美國蘭德公司9月8日報告上線，專利對比圖表一目了然，標(biāo)題直戳“抄襲痕跡”。華盛頓郵報社論跟進(jìn)，編輯調(diào)整版面，質(zhì)疑知識產(chǎn)權(quán)原創(chuàng)。

荷蘭NRC晚報社論也來勁兒，措辭改了又改，“技術(shù)壁壘挑戰(zhàn)”掛頭版。CNN直播間，主播朗讀專家評論，中國進(jìn)展動搖穩(wěn)定。ASML首席執(zhí)行官彼得·溫寧克總部采訪，手指點桌，承認(rèn)中國投入數(shù)百億美金，可短期難匹敵光學(xué)系統(tǒng)。公司股價阿姆斯特丹交易所跌2%，交易員鼠標(biāo)飛舞，下單拋售。

這批評不是空穴來風(fēng)，而是管制的前奏。荷蘭對外貿(mào)易和發(fā)展合作部9月6日宣布，擴(kuò)展先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備出口管制，浸沒式DUV未經(jīng)授權(quán)，禁止出口。ASML EUV銷售早有限制，現(xiàn)在DUV也加碼。

中國商務(wù)部9月8日回應(yīng)，注意到情況，近來中荷就半導(dǎo)體出口管制溝通，可荷蘭這步“對齊”美國，單邊主義味道重。中方表示不滿，愿維護(hù)全球供應(yīng)鏈暢通，反對任何形式霸凌。國際金融報報道，荷蘭2023年首度推出許可證，此后多次擴(kuò)大，2024年這輪是壓力下的延續(xù)。

輿論浪潮沒停。9月12日，美國國會聽證會，議員木槌敲響，證人展開圖表，列中國逆向案例。荷蘭議會辯論，經(jīng)濟(jì)部長翻備忘錄，回應(yīng)ASML就業(yè)影響。

布魯金斯學(xué)會分析師整理資料，打印專利列表，上傳“知識產(chǎn)權(quán)侵蝕”。ASML供應(yīng)商德國車間暫停裝配，主管會議討論延誤，標(biāo)記受限部件。季度電話會議，溫寧克講話，預(yù)測中國市場收縮10%，強調(diào)多元化。

中國企業(yè)沒被嚇住。SMEE浦東廠參數(shù)盤旋，夜班咖啡杯堆臺。工信部內(nèi)部會展開目錄，討論策略。華為實驗室探針讀取，優(yōu)化曝光序列。美荷這聲齊發(fā)，表面批評技術(shù)，骨子里是封鎖自主。

ASML財報顯示，對華占比降，可全球需求穩(wěn)。公司高層預(yù)測長期潛力。這些發(fā)聲，暴露霸權(quán)心態(tài)，管制升級，批評迭起，可擋不住中國腳步。話說，科技競爭本該共贏，美荷這套，只會加速別人自立。

破圍自強不止，前景曙光初現(xiàn)

管制落地，中國沒退縮，反而加速本土化。2024年10月，SMEE ArF光刻機(jī)首臺驗收，晶圓圖案觀察，線寬均勻，數(shù)據(jù)打包運中芯上海廠。浸沒槽水位調(diào)好，曝光循環(huán)跑，28納米樣片轉(zhuǎn)移穩(wěn)。年底，28納米浸沒式原型推東莞華為廠，液膜厚度監(jiān)控，激光點亮，分辨率曲線迭代。交付儀式文件交換，卡車運北京生產(chǎn)線。

2025年2月，芯上微裝科技成立，剝離后道業(yè)務(wù)，辦公室掛牌，繼承訂單專利。到3月底，交付第500臺步進(jìn)式，倉庫叉車穿梭，晶圓廠全國鋪開。

3月26日，深圳半導(dǎo)體峰會，新凱來展臺演示精度儀，激光掃描，納米偏差實時顯。SMEE-3600 LDP樣機(jī)華為東莞壓力測試，機(jī)械臂定位，數(shù)據(jù)采集振動。第三季度試生產(chǎn)啟動，團(tuán)隊輪班監(jiān)控。

5月，首臺28納米浸沒交付上海潔凈室，真空管線連，機(jī)器啟動，晶圓滑出，質(zhì)檢放大鏡查完整。國產(chǎn)化率超85%，光源鏡頭自給。7月，EUV Hyperion-1試產(chǎn)，光源效率4.5%，激光誘導(dǎo)放電模塊調(diào)整，火花閃，功率攀升。LDP方案避禁運，與ASML LPP不同。

9月17日，中芯測試宇量昇 DUV，上海初創(chuàng)設(shè)備拆箱安裝，電纜連，軟件校準(zhǔn)。曝光序列跑，探針信號讀，28納米穩(wěn)定。合作深化，會議藍(lán)圖敲定接口。23日，上海工博會，SMEE展EUV參數(shù)圖，觀眾排隊，激光筆指指標(biāo)。

阿斯麥CEO訪談，中國努力，可路長。媒體爆，6月底關(guān)鍵突破，不同路線。電子專題報告，ASML對中國銷售90億歐元，占41%，壟斷封鎖出口管制。前路有阻，可曙光在前。自主不止，破圍自強，中國半導(dǎo)體從制約到自立，靠的就是這份韌勁。

產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)化，市場份額升，國際合作興趣起。這些實打?qū)嵉倪M(jìn)步，回應(yīng)了所有批評。話說，科技自立不是夢，得一步步走，未來光明著呢。