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讓中國(guó)光刻機(jī)變成廢鐵?日本下狠手,外媒:事情越來(lái)越大了

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日本這幾年在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)χ袊?guó)的出口管制,搞得越來(lái)越緊,尤其是光刻膠這塊,簡(jiǎn)直就是卡脖子的一招。光刻膠是芯片制造的關(guān)鍵材料,沒它那些高端光刻機(jī)就沒法正常轉(zhuǎn),等于一堆廢鐵擱那兒。從2023年起步,到2025年還不停加碼,你說(shuō)這不是下狠手嗎?日本政府一邊跟著美國(guó)走,一邊自己也想保住上游優(yōu)勢(shì),結(jié)果中國(guó)這邊也沒閑著,國(guó)產(chǎn)化搞得飛起,供應(yīng)鏈慢慢穩(wěn)住了。



先說(shuō)說(shuō)光刻膠到底多重要。芯片生產(chǎn)得一層一層刻電路,得用光刻機(jī)照光,但光得先通過(guò)光刻膠這層感光材料才能定型。硅片上涂勻了膠,曝光后顯影,圖案就出來(lái)了。沒有這東西,光刻機(jī)再牛也白瞎。三星高管以前就直說(shuō),沒光刻膠,光刻機(jī)就是鐵疙瘩。

成本上看,這膠占材料費(fèi)的12%左右,高端10納米以下的,全球九成來(lái)自日本公司,比如JSR、信越化學(xué)、東京應(yīng)化。中國(guó)這邊,EUV光刻膠自給率基本零,ArF才1%,KrF5%。中芯國(guó)際一年得花5億買膠,要是斷了,28納米線每月虧幾十億,誰(shuí)扛得住?

日本的動(dòng)作,從2023年就開了頭。3月31日,政府改了外匯法,把23種半導(dǎo)體設(shè)備列進(jìn)管制清單,清洗機(jī)11種、薄膜沉積、熱處理、光刻4種、刻蝕3種、檢測(cè)啥的全包了。5月23日,經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省出法令,7月23日正式管起來(lái),對(duì)中國(guó)等160國(guó)出口,得一個(gè)個(gè)批。

中國(guó)買日本設(shè)備的占近一半,尤其是先進(jìn)工藝。尼康的光刻掃描儀,直接受影響。管制前一周,6月26日,日本產(chǎn)業(yè)革新投資機(jī)構(gòu)JIC砸9093億日元,溢價(jià)40%收J(rèn)SR。JIC錢96%是政府出的,JSR全球光刻膠份額30%,ArF銷量頭把交椅,客戶有臺(tái)積電、三星。

收購(gòu)分步走,先鎖10%股份,2024年2月公開要約,4月完成私有化。東京證交所股價(jià)那天漲28%。經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省說(shuō),這是整合材料企業(yè),抓牢上游。彭博社報(bào)道,這針對(duì)中國(guó),封鎖升級(jí),事兒大了。



這還沒停。2024年7月25日,日本加5項(xiàng),CMOS集成電路、掃描電子顯微鏡啥的,9月8日實(shí)施。2025年1月31日,改清單,加半導(dǎo)體、增材制造。2月6日,42家中國(guó)實(shí)體進(jìn)黑名單,總數(shù)110家。

4月3日,又十多種,光刻膠點(diǎn)名,GAAFET技術(shù)、量子計(jì)算機(jī)相關(guān)。10月9日,最終用戶清單更新。中國(guó)商務(wù)部每次都懟回去,說(shuō)干擾貿(mào)易,傷企業(yè)。中日半導(dǎo)體本來(lái)互補(bǔ),日本這么玩,自己供應(yīng)鏈也疼。

中國(guó)為啥這么靠日本?材料自給率10-20%,光刻膠市場(chǎng)百億,中芯采購(gòu)5億,廠商賺頭小。ArF研發(fā),得買1億一臺(tái)浸沒光刻機(jī),年利潤(rùn)常不夠。出問(wèn)題賠大,2019年臺(tái)積電膠壞,廢萬(wàn)片晶圓,虧幾十億。企業(yè)愛快錢,不碰燙手貨。



看看韓國(guó),2019年7月4日,日本限氟聚酰亞胺、光刻膠、高純氟化氫對(duì)韓,三種依賴92%、92%、44%。三星一周庫(kù)存空,DRAM線減30%,SK海力士產(chǎn)量掉20%。轉(zhuǎn)美貨,純度不行,第一代3納米GAA良率10-20%,每片12寸晶圓廢10萬(wàn)美元。臺(tái)積電同期50%,差距大。韓國(guó)砸千億,2021年自產(chǎn)30%,但傷元?dú)狻?/p>

日本想復(fù)制到中國(guó)。JSR私有化后,出口聽政府,一斷供就完。路透社說(shuō),日本鐵腕,瑞穗銀行注資4000億,新公司資本5000億。Resonac2025年2月接盤,國(guó)有化穩(wěn)。



但中國(guó)動(dòng)起來(lái)了。南大光電,南京大學(xué)孵化的,15年專注光刻膠。2020年12月,首款A(yù)rF浸沒式出,厚1.4微米,38納米精度,投10億建廠。2023年7月26日,兩款驗(yàn)證過(guò),首批訂單。

2024年,進(jìn)中芯28納米、長(zhǎng)江存儲(chǔ)NAND,認(rèn)證半年,營(yíng)收漲38%,光刻膠占11%。2025年上半年,量產(chǎn),產(chǎn)能500噸,供頭部客戶。10月27日,平臺(tái)說(shuō),去年銷超千萬(wàn),今年多款測(cè)順,訂單連。國(guó)內(nèi)唯一ArF量產(chǎn),寧波基地滿,計(jì)劃500噸。

不止南大,鼎龍股份、晶瑞電材、久日新材跟進(jìn),光敏劑收入翻20倍,KrF ArF深挖。國(guó)資委推基金,萬(wàn)億砸材料。大基金三期,設(shè)備自主50%。

日本管制推國(guó)產(chǎn)。2025年4月,日本加光刻膠,中國(guó)商務(wù)部反對(duì),但南大已供中芯,28nm邏輯、50nm存儲(chǔ)穩(wěn)。ASML光刻機(jī)賣89億歐元,材料國(guó)產(chǎn),沒閑置。



日本日子難,JSR年收5000億日元,員工2萬(wàn),技術(shù)牛,但市場(chǎng)小,客戶跑。中國(guó)2025年10月,公告雙用物管制,稀土電池材卡回。日本企業(yè)苦。彭博社預(yù)警,供應(yīng)鏈重塑,中國(guó)起。日本下手重,但低估中國(guó)勁。光刻膠從零到500噸,不是吹。明年自給翻,中芯長(zhǎng)江不慌。光刻機(jī)廢鐵?沒戲,繼續(xù)轉(zhuǎn)!

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