英國的金融時報在2025年9月16日扔出一篇報道，直接點明中國最大的芯片代工廠中芯國際已經(jīng)在試用本土生產(chǎn)的DUV光刻機。這玩意兒不是最頂尖的EUV，但對芯片制造來說已經(jīng)是關(guān)鍵一步了。

報道里說，這臺機器出自上海的一家初創(chuàng)公司，叫裕量晟科技，他們搞的是浸沒式DUV，能處理28納米工藝，通過多重圖案化技術(shù)勉強擠到7納米級別。這消息一出，美國那邊估計得坐不住了，因為他們這些年花大力氣封鎖中國先進芯片技術(shù)，現(xiàn)在看起來有點白費勁。

DUV光刻機是芯片生產(chǎn)的核心設(shè)備，用深紫外光在硅片上刻圖案。全球市場基本被荷蘭的ASML壟斷，他們的機器集成了上千家供應(yīng)商的零件，從德國的蔡司光學(xué)到美國的激光源，全是國際合作的結(jié)果。美國從2019年起就開始搞出口管制，先是針對EUV，后來連DUV也卡得死死的。

2023年，美國拉著荷蘭和日本一起加強限制，禁止向中國出口能做7納米以下的DUV機器。荷蘭政府在2024年進一步收緊，特定型號如NXT:2050i直接禁售中國。目的很明顯，就是想拖慢中國在AI、5G這些高科技領(lǐng)域的步伐，讓中國芯片卡在成熟制程上沒法往下走。

但中國這邊沒閑著。從2020年起，國家層面就加大投入，搞大基金支持本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。上海微電子設(shè)備集團（SMEE）是主力，早幾年就推出過193納米DUV，但精度只到65納米左右，不夠用?，F(xiàn)在裕量晟冒出來了，這家公司據(jù)說是華為生態(tài)鏈的一部分，背后有SiCarrier的技術(shù)支持。

他們從2023年開始低調(diào)研發(fā)，2025年上半年組裝出第一臺樣機。金融時報采訪了業(yè)內(nèi)人士，說中芯國際從7月開始在上海工廠測試，目標(biāo)是到2026年把產(chǎn)量翻三倍。雖然初期良率不高，可能只有國際水平的70%，但這已經(jīng)是突破了。想想看，以前中國靠囤積ASML的老機器維持7納米生產(chǎn)，現(xiàn)在本土設(shè)備上場，意味著供應(yīng)鏈更穩(wěn)了。

美國為啥最不愿意看到這個？因為他們的“鎖芯計劃”本質(zhì)上是時間賽跑。芯片制程分界線在28納米以上是成熟的，下面是先進的，占全球高端需求的90%。美國想用制裁鎖死中國7納米以下的能力，順帶拖累AI和自動駕駛發(fā)展。

但現(xiàn)在DUV國產(chǎn)化了，中國就能建5納米的全產(chǎn)業(yè)鏈。英偉達(dá)老板黃仁勛早在2023年就說過，制裁只會逼中國自己搞定。他和ASML總裁彼得·溫尼克都警告過，這么搞適得其反。結(jié)果呢？中國提前了五年，本來業(yè)界覺得2030年才能突破，現(xiàn)在2025年就測試上了。全球芯片市場20萬億的蛋糕，美國本來想獨吞大頭，現(xiàn)在中國有話語權(quán)了。

DUV用193納米波長，通過浸沒液提高分辨率。裕量晟的機器據(jù)說集成了本土光源和光學(xué)系統(tǒng)，雖然部分零件還靠進口，但核心技術(shù)是自己的。測試中，他們先從28納米起步，逐步試多重曝光，目標(biāo)是7納米。報道說，如果成功，華為的昇騰芯片、寒武紀(jì)的AI處理器就能用本土設(shè)備生產(chǎn)，不用看別人臉色了。

國際半導(dǎo)體協(xié)會在2025年10月分析，中國這步雖快，但離ASML的EUV還有差距。EUV用13.5納米波長，能輕松做3納米以下。但中國兩條腿走路，一方面追EUV，華為在東莞測試LDP光源，計劃2026年量產(chǎn)；另一方面優(yōu)化DUV，搶占中高端市場。

影響可不小。首先，美國制裁失效了。以前中國市場大，ASML、英偉達(dá)還幫著說好話，現(xiàn)在中國自產(chǎn)DUV，他們的王牌沒了。英特爾、高通這些美國公司壟斷先進芯片，最怕中國整合產(chǎn)業(yè)鏈，提供從設(shè)計到生產(chǎn)的整套服務(wù)。全球只有中國有這么大的市場和產(chǎn)能，競爭起來美國怎么玩？

其次，全球科技話語權(quán)變了。AI革命靠先進芯片，訓(xùn)練大模型需要5納米級別。中國自產(chǎn)后，壁仞科技這些本土企業(yè)就能正面剛西方巨頭。20萬億市場，美國可能只剩湯喝了。更麻煩的是，下一步中國瞄準(zhǔn)EUV和1納米后技術(shù)。目前全球卡在1納米，物理極限在哪，誰先探索新路線誰領(lǐng)先。中國有時間窗口，彎道超車不是夢。

中國在逆向工程ASML機器時出過岔子，2025年10月亞洲時報報道，一家中國公司拆了DUV想復(fù)制，結(jié)果組裝不回，叫ASML幫忙修。這說明技術(shù)門檻高，短期內(nèi)本土機器良率低，成本高。但長遠(yuǎn)看，中國半導(dǎo)體自給率會升。趨勢力報告說，2025年ASML對華銷售占25%，但本土EUV還需幾年。清華大學(xué)和北大在光源上突破，13.5納米波長已實現(xiàn)，未來整合成機器指日可待。

美國想維持主導(dǎo)，但中國自力更生速度超預(yù)期。全球芯片生態(tài)變了，誰笑到最后還得看?，F(xiàn)在中國這條道修通了，美國得想想下一步怎么走。