這家荷蘭公司的日子可謂喜憂參半，財(cái)務(wù)報(bào)表上的數(shù)字異常亮眼，仿佛亞洲大陸市場(chǎng)成了其新的財(cái)富來(lái)源

但這份光鮮的報(bào)告無(wú)法掩蓋現(xiàn)實(shí)的嚴(yán)峻，自二零一九年起，美國(guó)的出口政策日趨嚴(yán)苛，直接指向了高端光刻設(shè)備，后續(xù)更是將荷蘭拉入統(tǒng)一戰(zhàn)線，逐步加大了限制力度

就在這樣的背景下，那家荷蘭公司的收入構(gòu)成發(fā)生了戲劇性變化，二零二三年，來(lái)自亞洲大國(guó)的貢獻(xiàn)從過(guò)去的百分之十五，一路猛增到百分之四十六，到了二零二四年，這一高比例依然得以維持

這種反常的采購(gòu)熱潮，背后是清晰的邏輯，采購(gòu)越是瘋狂，就表明可供購(gòu)買的時(shí)間窗口關(guān)閉得越快

亞洲大國(guó)方面非常清楚，只要限制措施沒(méi)有完全生效，就必須抓住機(jī)會(huì)盡可能多地購(gòu)入設(shè)備，尤其是DUV浸潤(rùn)式光刻設(shè)備，這些設(shè)備是支撐其全體成熟工藝的基石

先進(jìn)工藝雖然短期內(nèi)難以觸及，但成熟工藝卻是當(dāng)前汽車、太陽(yáng)能、電力裝備、自動(dòng)化設(shè)備等產(chǎn)業(yè)的核心半導(dǎo)體來(lái)源，多囤積一臺(tái)就是多一分保障

正是這種“在限制完全生效前搶購(gòu)”的心態(tài)，將那家荷蘭公司推向了一種不真實(shí)的興盛之中

公司高層并不感到輕松，前任首席執(zhí)行官溫寧克在任時(shí)就曾表示，行政力量的過(guò)度干預(yù)，只會(huì)迫使這個(gè)大客戶自行培育出競(jìng)爭(zhēng)者

新上任的首席執(zhí)行官富凱面臨的局面更為復(fù)雜，銷售數(shù)據(jù)好得出奇，但他明白這都是在消耗未來(lái)的業(yè)務(wù)，因?yàn)殡S著美國(guó)持續(xù)加碼，荷蘭方面從二零二三年起，已將NXT冒號(hào)二零零零i以上的機(jī)型列入許可范圍

到了二零二四年，二零五零i、二一零零i等主力型號(hào)也被禁止，甚至到了二零二五年，原本預(yù)計(jì)能夠幸免的一九七零i、一九八零i也可能面臨嚴(yán)格審查

公司內(nèi)部估計(jì)，來(lái)自亞洲大國(guó)的業(yè)務(wù)將很快跌回百分之二十，甚至可能更低，更大的麻煩在于“服務(wù)與維修”這條生命線

人家換了條賽道自己玩

既然購(gòu)買的道路終將受阻，亞洲大國(guó)的科研人員便另辟蹊徑，EUV光刻設(shè)備無(wú)法購(gòu)得，反向工程又極其復(fù)雜，那就不再執(zhí)著于此

另有一種思路是，將焦點(diǎn)從設(shè)備本身移開(kāi)，轉(zhuǎn)而關(guān)注其核心的EUV光源，在小機(jī)箱內(nèi)集成幾十千瓦的等離子體光源，是全球頂尖技術(shù)三十多年積累的結(jié)晶，短時(shí)間內(nèi)在國(guó)內(nèi)復(fù)刻這種小型化光源難度巨大

于是，科研人員們干脆繞過(guò)這一難題，既然小型化難以實(shí)現(xiàn)，那就不追求小型化，轉(zhuǎn)而建造一座“光源設(shè)施”，這便是清華大學(xué)主導(dǎo)的SSMB路徑，即穩(wěn)態(tài)微聚束

這個(gè)方案把EUV光源做成類似發(fā)電站的大型基建設(shè)施，利用一條長(zhǎng)達(dá)一公里的粒子加速環(huán)產(chǎn)生光，功率可達(dá)千瓦級(jí)別，甚至比那家荷蘭公司最先進(jìn)的EUV設(shè)備還要強(qiáng)四倍以上

清華團(tuán)隊(duì)二零一七年提出構(gòu)想，二零二一年與德國(guó)團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)發(fā)表在《自然》上，二零二二年進(jìn)入工程預(yù)研階段，自二零二三年起，國(guó)家層面開(kāi)始推動(dòng)項(xiàng)目選址，在雄安等地評(píng)估建設(shè)的可能性

西方正在押注限制有效，亞洲大國(guó)則在押注實(shí)現(xiàn)突破，這早已不是單一公司或設(shè)備的較量，而是整個(gè)產(chǎn)業(yè)體系的對(duì)抗

真正的目標(biāo)不是僅僅獲得一枚最頂尖的電子元件，而在于構(gòu)建一個(gè)穩(wěn)定、完整且能自我支撐的工業(yè)體系，用以托舉整個(gè)國(guó)家的制造業(yè)基盤(pán)，當(dāng)成熟的生產(chǎn)工藝越是牢固，整個(gè)工業(yè)體系就越穩(wěn)固，而工業(yè)體系越是穩(wěn)固，外部限制措施的影響力就越會(huì)減弱，

這給西方帶來(lái)了巨大的心理沖擊，富凱雖然聲稱“亞洲大國(guó)落后十到十五年”，但他也知道，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)并非只看二納米、三納米的尖端技術(shù)

汽車、電力、工業(yè)控制、風(fēng)能、太陽(yáng)能、新能源車等行業(yè)所需要的，并非最尖端的工藝，而是二十八納米、四十五納米、六十五納米等成熟可靠的技術(shù)

限制越是嚴(yán)厲，亞洲大國(guó)就越是集中資源進(jìn)行攻關(guān)，大基金三期一次性投入二百八十八億用于材料領(lǐng)域，各省也加大扶持力度，蘇州、上海、無(wú)錫、合肥、杭州等地，超過(guò)兩千家企業(yè)正在全力以赴填補(bǔ)空白

除了主流技術(shù)路徑，還有一些團(tuán)隊(duì)在嘗試其他突破口，浙江的電子束直寫(xiě)設(shè)備已經(jīng)能夠用于八納米級(jí)別的小批量研發(fā)樣品制備，杭州的企業(yè)則在納米壓印技術(shù)上尋求機(jī)會(huì)

當(dāng)中長(zhǎng)期方案在推進(jìn)時(shí)，眼前的需求也必須滿足，SMEE的二十八納米設(shè)備已進(jìn)入試產(chǎn)前的最后階段，國(guó)產(chǎn)光刻膠正向高端市場(chǎng)邁進(jìn)，KrF已能覆蓋七納米工藝，清華的新型EUV光刻膠在靈敏度上取得進(jìn)展，恒坤、南大光電等企業(yè)也在加速擴(kuò)大產(chǎn)能

當(dāng)微型集成電路的制造競(jìng)賽，被硬生生拉回到宏觀工程建設(shè)的領(lǐng)域時(shí)，這場(chǎng)角逐中誰(shuí)更具備優(yōu)勢(shì)，答案似乎也就不那么難判斷了