日前，一項由淄博力量主導的團體標準《光刻機用氧化鋁陶瓷導軌》（T/SDTC 010-2025）正式發(fā)布，這不僅填補了國內(nèi)空白，更標志著我國在高端光刻機核心部件領域?qū)崿F(xiàn)了從技術到標準的雙重重大突破。

據(jù)介紹，光刻機被譽為“芯片之母”，其內(nèi)部陶瓷導軌雖微小，卻堪稱精密設備的“骨骼”——其精度與穩(wěn)定性直接決定了高端裝備制造的“高度”。過去，這類核心部件長期被國外企業(yè)壟斷，成為“卡脖子”的技術壁壘。

為打破這一困局，淄博市企業(yè)山東硅元新型材料股份有限公司依托深厚工業(yè)陶瓷技術積累，自2014年起聯(lián)合產(chǎn)學研力量，十年如一日潛心攻關。從材料配方到精密成型工藝逐一突破，最終成功開發(fā)出性能比肩國際的氧化鋁陶瓷導軌系列產(chǎn)品，為國產(chǎn)高端光刻機裝上了自研“關節(jié)”。

技術突破后，企業(yè)又馬不停蹄牽頭制定團體標準，將十年心血凝結(jié)為《光刻機用氧化鋁陶瓷導軌》這一技術標尺。標準嚴格規(guī)范了產(chǎn)品技術指標與生產(chǎn)要求，為國產(chǎn)替代提供了清晰可靠的技術依據(jù)，讓核心技術真正落地生根，轉(zhuǎn)化為產(chǎn)業(yè)競爭力。此項標準的實施，將顯著提升我國光刻機與芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈的整體實力。

該標準發(fā)布是全市持續(xù)實施團體標準培優(yōu)計劃的重大成果，而團體標準是創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化的重要橋梁。淄博市市場監(jiān)管部門長期致力于培育高水平團體標準，未來將繼續(xù)深入推動“培優(yōu)計劃”，讓“淄博標準”為產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供堅實支撐。

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責任編輯：劉宗堯