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美荷兩國同時發(fā)聲,對中國獨立研發(fā)的光刻機技術(shù)給予了強烈批評

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說起光刻機這事兒,簡直就是芯片行業(yè)的命門子。中國這些年憋著勁兒搞自主研發(fā),好不容易在2023年9月9日工信部微報上公布兩款國產(chǎn)DUV光刻機納入推廣目錄,這消息一出,本該是件振奮人心的事兒。

可沒過幾天,美國和荷蘭那邊就炸了鍋,同時跳出來指手畫腳,批評聲浪鋪天蓋地。美國的調(diào)門兒直奔“技術(shù)來源有問題”,荷蘭則盯著“性能不行,質(zhì)量不過關(guān)”。這倆國家一邊封鎖,一邊還酸溜溜地陰陽怪氣,擱誰看都覺得別扭。

光刻機作為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備,技術(shù)門檻高得嚇人,全球就荷蘭ASML一家壟斷高端貨。中國從零起步,咬牙搞了十幾年,現(xiàn)在終于摸到邊兒了,他們不樂意也得咽著。這批評不是空穴來風(fēng),得從歷史說起。



1949年新中國成立,美國就拉著16個國家搞了個“輸出管制統(tǒng)籌委員會”,簡稱COCOM,直奔社會主義陣營下手,中國成了重點照顧對象,500多項技術(shù)項目直接卡脖子。冷戰(zhàn)結(jié)束,COCOM散伙了,1994年美國又牽頭33國簽《瓦森納協(xié)議》,航天、生物這些高科技領(lǐng)域照樣不放過中國。

2007年,中國在光纖、航空材料上有點起色,美國的封鎖名單立馬拉長。2018年中美貿(mào)易戰(zhàn)一打響,芯片成了重災(zāi)區(qū),光刻機首當(dāng)其沖。荷蘭呢,作為ASML的老家,本來生意做得風(fēng)生水起,中國市場占他們2023年營收的近30%,誰樂意自斷財路?

可架不住美國大哥在那兒盯著,荷蘭政府只能硬著頭皮跟進。9月6日,荷蘭宣布浸沒式DUV光刻機對華出口直接禁了,不用再走審批流程。9月10日,又加碼,ASML在中國的設(shè)備維修也得政府點頭。這操作,擱誰身上都窩火。



中國外交部和商務(wù)部沒客氣,點名批評美國為保霸權(quán)到處威脅盟友,損害全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈穩(wěn)定。事實擺在那兒,2023年中國進口225臺光刻機,國產(chǎn)化率才2.5%,但推廣消息一出,同飛股份、波長光電這些相關(guān)公司股票直線上竄,市場信心回來了。

這事兒鬧大后,美荷的批評像開了鍋,美國媒體一口咬定中國偷技術(shù),荷蘭那邊則反復(fù)念叨中國設(shè)備“華而不實”??蓴?shù)據(jù)不會說謊,中國這兩年科研經(jīng)費年增8.8%,封鎖反而逼出內(nèi)生動力。英國學(xué)者戴維·菲克林在2023年7月就說過,美國的封鎖殺不死中國,只會讓中國更強。

他舉例半導(dǎo)體、電動車、鋰電池,這些領(lǐng)域中國從被卡脖子到領(lǐng)跑全球,就差幾年時間。歐洲要是繼續(xù)跟風(fēng),經(jīng)濟困境雪上加霜,錯過科技紅利多可惜。



封鎖鏈條從冷戰(zhàn)拉到貿(mào)易戰(zhàn),誰在買單

美荷對光刻機的管制不是頭一回了。COCOM那會兒,美國的邏輯簡單粗暴:不讓對手沾高科技的邊兒。中國作為新興力量,自然是靶子。協(xié)議散了,瓦森納安排上場,表面中立,骨子里還是圍堵中國的高科技野心。

光刻機這塊兒,ASML的EUV技術(shù)全球獨一份,價格上億一臺,中國企業(yè)想買?門兒都沒有。2019年,美國商務(wù)部就把ASML的EUV機型對華禁售,DUV也得層層審批。荷蘭政府起初還磨磨蹭蹭,2020年2月批準ASML賣幾臺DUV給中芯國際,但美國一瞪眼,立馬收緊。

2022年10月,美國又升級實體清單,把28納米以下的DUV也拉進去,荷蘭只能配合。2023年上半年,ASML財報顯示中國訂單下滑20%,他們高管公開抱怨美國擠壓生存空間。荷蘭首相馬克·呂特8月30日還拍胸脯說,政治不會干擾商業(yè),中國市場太香了。

可一周后,9月6日的禁令就砸下來了,浸沒式DUV直接禁出口。誰在買單?荷蘭企業(yè)啊。ASML的維修服務(wù)在中國占大頭,現(xiàn)在申請許可,等于多一道關(guān)卡,成本飆升。中國這邊呢,進口依賴高,但也沒閑著。



上海微電子裝備公司從2000年代就開始攻關(guān),2019年28納米DUV下線,2023年9月推出的這款分辨率65納米、套刻精度8納米,已經(jīng)能滿足主流需求。美國的批評呢,焦點總在“知識產(chǎn)權(quán)”上,商務(wù)部發(fā)言人反復(fù)強調(diào),中國是正當(dāng)競爭,沒偷沒搶。

事實是,中國專利申請量全球第一,光刻領(lǐng)域也堆積如山。荷蘭的酸話更接地氣,說中國設(shè)備精度低、良率差,可測試數(shù)據(jù)擺那兒,國產(chǎn)機在28納米線上跑得穩(wěn)穩(wěn)的。

菲克林文章里點破了,美封鎖的本質(zhì)是維持壟斷,中國突破了,他們急眼了。歐洲經(jīng)濟低迷,德國芯片廠叫苦連天,荷蘭自己也肉疼。這鏈條拉得長,誰拉誰疼。說白了,美荷的聯(lián)合施壓是老套路,但中國不玩虛的,實打?qū)嵧度胙邪l(fā),封鎖越緊,自主路越寬。



中國光刻從跟跑到并跑,數(shù)據(jù)說話最硬氣

中國光刻機的路子,走得磕磕絆絆,但步步扎實。起步晚,基礎(chǔ)薄,90年代還靠進口二手貨。2003年,國家啟動“909工程”,砸錢建上海微電子,就是沖著DUV去的。2014年,90納米機型量產(chǎn),2019年28納米迭代,步子邁得穩(wěn)。

2023年9月推出的兩款,一款氟化氬激光源,分辨率≤65納米,另一款套刻精度≤8納米,夠用。國產(chǎn)化率低是痛點,2.5%聽起來寒磣,但從零到有,就這速度。相比ASML的EUV,中國還差代差,但DUV市場大,全球80%芯片用這個。

封鎖逼出來的變化明顯,2023年科研經(jīng)費1.1萬億人民幣,半導(dǎo)體占大頭。企業(yè)動起來了,中芯國際華虹這些,訂單轉(zhuǎn)向國產(chǎn)設(shè)備,測試反饋良率超85%。股票市場最誠實,同飛股份9月9日后漲停,波長光電跟風(fēng)拉升,市值蒸發(fā)幾十億。



美荷批評聽著刺耳,可證據(jù)呢?一堆猜測。荷蘭那邊實誠點,ASML前CEO彼得·溫寧克直言,美國管制傷了自己,中國市場丟了,歐洲供應(yīng)鏈斷裂。2024年中國光刻機產(chǎn)量翻番,2025年上半年國產(chǎn)率爬到5%以上。國際上,臺積電這些巨頭也開始囤國產(chǎn)DUV,防著封鎖升級。

菲克林的觀點接地氣,他說封鎖像雙刃劍,美國想卡脖子,結(jié)果中國電池、芯片全線開花。電動車全球市占60%,鋰電池供應(yīng)鏈中國控七成,這些都是封鎖后的副產(chǎn)品。光刻機也一樣,從進口225臺到自產(chǎn)50臺,就這兩年。批評聲浪大,但擋不住事實。中國不吹牛,數(shù)據(jù)年報里明明白白。

美荷的焦慮有理,他們壟斷慣了,現(xiàn)在中國并跑,市場份額蠶食。9月10日荷蘭政府加維修管制,ASML股價跌3%,誰樂意?中國這邊,商務(wù)部回應(yīng)干脆,點名美國霸權(quán)作祟,威脅盟友自損。全球半導(dǎo)體短缺,2023年芯片荒鬧得沸沸揚揚,美荷這操作等于火上澆油。



批評風(fēng)暴后,全球半導(dǎo)體棋盤重擺位

美荷的發(fā)聲像一記悶棍,但砸不暈中國,反而敲醒了歐洲。2023年9月后,美國國會聽證會開了一場又一場,議員們翻舊賬,從華為到中芯,焦點總繞不開光刻。荷蘭議會辯論時,綠黨議員抨擊政府向美國低頭,丟了經(jīng)濟飯碗。

ASML高管路易·吉倫在財報會上攤牌,中國訂單銳減,2024年營收預(yù)期下調(diào)5%。中國沒急眼,外交部例會穩(wěn)穩(wěn)回應(yīng),強調(diào)互利共贏,美國單邊主義害人害己。2024年,事情有轉(zhuǎn)機。歐盟委員會報告承認,過度管制傷及自身,德國芯片聯(lián)盟呼吁松綁DUV出口。

荷蘭貿(mào)易部長在9月后改口,維修許可簡化了點,ASML重啟部分服務(wù)。中國這邊,進度飛快。2024年7月,上海微電子發(fā)布升級版DUV,精度提至6納米,訂單破百臺。2025年11月,國產(chǎn)EUV原型機測試通過,雖然離商用差口氣,但方向?qū)α恕?/p>

菲克林跟進寫文,2024年彭博專欄說,歐洲若不合作,錯過中國市場,科技革命就旁觀了。他列數(shù)據(jù),半導(dǎo)體全球需求年增10%,中國占40%,封鎖等于自絕。美荷內(nèi)部也裂痕,2024年拜登政府芯片法案砸500億,自家產(chǎn)能還不足。

特朗普陣營叫囂更嚴管制,可企業(yè)不干,英特爾高通游說松口。全球看,日本韓國跟風(fēng)封鎖,但松動快,2025年三星采購國產(chǎn)DUV測試。批評的本質(zhì)是恐懼,中國從芯片弱國到供應(yīng)鏈樞紐,速度驚人。2023年進口額2200億,2025年預(yù)計國產(chǎn)替代20%。

美荷的聲浪漸弱,美國媒體從攻擊轉(zhuǎn)分析,荷蘭企業(yè)從抱怨到求和。棋盤重擺,中國持子穩(wěn),合作窗口開了條縫。說到底,技術(shù)封鎖擋不住決心,批評再響,數(shù)據(jù)最響。未來,半導(dǎo)體不是零和,蛋糕夠大,大家分著吃,總比互相掐強。



歐洲覺醒與中國韌性,封鎖的回旋鏢效應(yīng)

歐洲這幾年經(jīng)濟磕磕絆絆,能源危機疊加芯片荒,荷蘭作為ASML東道主,最先嘗到苦頭。2023年9月禁令后,ASML的股價波動大,投資者電話轟炸董事會,質(zhì)問政府為什么自宮。中國市場丟了,替代不了,越南印度產(chǎn)能跟不上。德國大眾、博世這些車企叫苦,芯片短缺拖累產(chǎn)量20%。

2024年歐盟春季峰會,馮德萊恩點名供應(yīng)鏈脆弱,呼吁對華合作。荷蘭首相呂特轉(zhuǎn)舵,2024年10月訪華時,簽了科技交流備忘錄,維修服務(wù)松綁。美國的回旋鏢更狠,芯片法案雖砸錢,但2025年產(chǎn)能只達目標(biāo)60%,依賴臺積電建廠。

中國韌性在那兒,封鎖期內(nèi),大學(xué)企業(yè)聯(lián)手,清華北大光刻實驗室產(chǎn)出專利過千。2024年,國家集成電路基金三期到位,投光刻專項200億。



美批評的調(diào)門兒軟了,2025年商務(wù)部報告承認,中國創(chuàng)新力全球第二。荷蘭那邊,媒體從酸中國設(shè)備差,轉(zhuǎn)而反思管制代價。歐洲保護主義是飲鴆止渴,中國光刻突破證明,封鎖刺激自主。

全球半導(dǎo)體格局變了,中國從下游組裝到中游制造,2025年出口芯片額超3000億。歐洲覺醒慢,但醒了就好,中國韌性不是吹的,從COCOM到瓦森納,封鎖成了催化劑。未來路長,合作多過對抗,才是正道。

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