說起光刻機(jī)這玩意兒，就跟芯片制造的命根子差不多，誰掌握了它，誰就能在半導(dǎo)體鏈條上多占幾分便宜。2024年9月前后，美荷兩國(guó)幾乎踩著點(diǎn)兒，一前一后放出狠話，直接點(diǎn)名中國(guó)自主搞的光刻技術(shù)有問題。

荷蘭那邊先動(dòng)手，9月7日政府宣布擴(kuò)大深紫外光刻機(jī)對(duì)華出口許可范圍，把ASML的NXT:1970Ci和NXT:1980Di型號(hào)都拉進(jìn)審查清單，這等于變相卡住了中低端設(shè)備的流通。

美國(guó)商務(wù)部也沒閑著，幾乎同時(shí)跟進(jìn)，更新出口管制條例，把半導(dǎo)體制造設(shè)備的集成部件列為重點(diǎn)監(jiān)控對(duì)象，還強(qiáng)調(diào)這些限制針對(duì)中國(guó)企業(yè)的獨(dú)立研發(fā)項(xiàng)目。兩國(guó)官員在各自的發(fā)布會(huì)和報(bào)告里，直言不諱，說中國(guó)光刻機(jī)涉嫌逆向工程，侵犯知識(shí)產(chǎn)權(quán)，威脅全球供應(yīng)鏈安全。

荷蘭經(jīng)濟(jì)事務(wù)部長(zhǎng)在聲明中點(diǎn)到為止，但ASML前CEO彼得·溫寧克就沒那么含蓄，他公開抱怨美國(guó)壓力太大，導(dǎo)致公司丟了中國(guó)市場(chǎng)大頭，歐洲自家供應(yīng)鏈都開始裂開縫。美方智庫報(bào)告更狠，列出一堆案例，硬說中國(guó)設(shè)備的參數(shù)跟現(xiàn)有產(chǎn)品太像，暗示這是抄襲來的。

這波操作不是頭一回了，早從2023年3月荷蘭禁止先進(jìn)設(shè)備出口中國(guó)開始，美荷就聯(lián)手升級(jí)管制，10月美國(guó)又?jǐn)U展到軟件和技術(shù)服務(wù)。

2024年4月維修禁令落地，2025年1月荷蘭首相在議會(huì)重申跟美國(guó)步調(diào)一致，4月1日新措施生效。說白了，這不是單純的技術(shù)爭(zhēng)端，而是大國(guó)博弈的縮影，美荷想守住技術(shù)高地，不讓中國(guó)輕易爬上來。

壟斷壁壘搖晃：美荷為啥咽不下這口氣

光刻機(jī)市場(chǎng)，本來就是ASML一家獨(dú)大，荷蘭這家公司占了全球九成份額，高端EUV設(shè)備更是他們專利堆出來的金飯碗。中國(guó)以前買設(shè)備得看荷蘭政府臉色，高端貨根本輪不到咱們。

現(xiàn)在情況變了味兒，中國(guó)本土企業(yè)開始憋大招，上海微電子裝備集團(tuán)（SMEE）在2023年底就把28納米深紫外光刻機(jī)推出來，2025年5月正式交付首臺(tái)浸沒式型號(hào)，國(guó)產(chǎn)化率超70%。這可不是小打小鬧，28納米工藝全球主流，能批量產(chǎn)芯片，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高端制造的空白。

哈工大團(tuán)隊(duì)也在極紫外光源上發(fā)力，2025年上半年測(cè)試數(shù)據(jù)出來，曝光系統(tǒng)精度逼近國(guó)際水平。產(chǎn)業(yè)鏈上下游跟上節(jié)奏，光刻膠、主軸、鏡頭這些核心部件，民營(yíng)企業(yè)和高校實(shí)驗(yàn)室齊上陣，新凱來、宇量昇科技這些新玩家冒頭，專攻EUV預(yù)研，目標(biāo)直指2026年量產(chǎn)。

美荷那邊坐不住了，因?yàn)橹袊?guó)市場(chǎng)體量大，2024年中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)量翻番，2025年上半年國(guó)產(chǎn)率爬到5%以上，ASML對(duì)中國(guó)銷售占比從高峰的40%滑到20%。溫寧克在2024年1月2日?qǐng)?bào)告里直言，荷蘭政府部分撤銷出口許可后，公司shipment直接取消，損失上億歐元。

美國(guó)智庫更直球，2024年2月報(bào)告分析，荷蘭堵EUV出口能短期延緩中國(guó)，但長(zhǎng)遠(yuǎn)看只會(huì)逼中國(guó)自立，產(chǎn)業(yè)鏈重構(gòu)速度超預(yù)期。美荷的批評(píng)聽起來冠冕堂皇，實(shí)際就是護(hù)著自家飯碗，知識(shí)產(chǎn)權(quán)糾紛他們提得歡，但忽略了全球?qū)＠w系本該促進(jìn)創(chuàng)新，不是用來筑墻的。

2025年10月16日ASML展望發(fā)布，中國(guó)銷售繼續(xù)下滑，他們內(nèi)部承認(rèn)，AI芯片需求旺盛，但管制讓歐洲供應(yīng)商跟著遭殃。說到底，美荷這套組合拳，表面上針對(duì)中國(guó)，骨子里是怕全球格局洗牌，技術(shù)主導(dǎo)權(quán)旁落。

自研路上的硬骨頭：中國(guó)光刻機(jī)怎么啃下來的

中國(guó)光刻機(jī)起步晚，但后勁足，從90納米干涉式到28納米浸沒式，一步步爬坡靠的是實(shí)打?qū)嵉耐度?。上海微電?00系列早在2010年代就量產(chǎn)90納米，2025年9月24日中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)上，他們首秀EUV參數(shù)圖，核心部件如光源和光學(xué)系統(tǒng)全自主，填補(bǔ)了從材料到集成的閉環(huán)。

國(guó)家大基金二期砸錢，地方專項(xiàng)資金跟進(jìn)，2024年工信部公布技術(shù)推廣目錄，鼓勵(lì)全產(chǎn)業(yè)鏈接力。民營(yíng)企業(yè)不甘落后，宇量昇科技2025年與中芯國(guó)際合作測(cè)試，電子束光刻路線走得穩(wěn)，納米壓印技術(shù)也并行推進(jìn)。

高校力量不能少，哈爾濱工業(yè)大學(xué)在2025年3月在實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證極紫外光束穩(wěn)定性，數(shù)據(jù)支持下，曝光精度誤差控制在納米級(jí)。產(chǎn)業(yè)鏈盤活后，配套企業(yè)雨后春筍，2025年新設(shè)半導(dǎo)體設(shè)備公司數(shù)量漲30%，研發(fā)投入節(jié)節(jié)高。

面對(duì)美荷封鎖，中國(guó)不光守，還主動(dòng)出擊，開拓東南亞和拉美市場(chǎng)，分散風(fēng)險(xiǎn)。2025年4月14日，南華早報(bào)報(bào)道，荷蘭對(duì)華出口暴跌，但中國(guó)企業(yè)清庫存后，轉(zhuǎn)向自主替代，ASML的DUV機(jī)型雖貴，但國(guó)產(chǎn)貨性價(jià)比高，晶圓廠反饋良率達(dá)標(biāo)。

美荷批評(píng)逆向工程，這話聽著刺耳，但中國(guó)企業(yè)強(qiáng)調(diào)，所有進(jìn)展基于公開專利和基礎(chǔ)研究，2024年9月9日工信部回應(yīng)，科技創(chuàng)新不應(yīng)被單邊限制。實(shí)際數(shù)據(jù)擺那兒，SMEE的28納米機(jī)2025年8月在無錫出廠，進(jìn)入驗(yàn)證，覆蓋60%高端需求。

中微半導(dǎo)體也沾光，2025年排名全球第四，薄膜沉積設(shè)備迭代快。說白了就是咬牙頂住壓力，政策資金人才三管齊下，砸出條自主路。美荷管制越嚴(yán)，中國(guó)動(dòng)力越足，2025年上半年國(guó)產(chǎn)EUV預(yù)研加速，華為中芯聯(lián)合3納米線導(dǎo)入200臺(tái)國(guó)產(chǎn)設(shè)備，浸沒式加多重曝光技術(shù)逐步本土化。

美荷的聯(lián)合施壓，看似鐵板一塊，實(shí)際露了馬腳。中國(guó)客戶提前囤貨，DUV系統(tǒng)銷量雖降，EUV禁令讓公司整體收入承壓。說實(shí)話，這波操作讓全球科技治理更亂，中國(guó)推動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)制定，提升競(jìng)爭(zhēng)力。管制像把雙刃劍，短期疼，長(zhǎng)期逼出新路。

中國(guó)半導(dǎo)體路走得實(shí)誠(chéng)，不靠捷徑，靠一步步積累。未來博弈，中國(guó)有底氣，市場(chǎng)是裁判，堅(jiān)持創(chuàng)新，高端制造中國(guó)名字會(huì)多起來。美荷批評(píng)像過眼云煙，技術(shù)賽道上，誰跑得穩(wěn)誰贏。