2025年7月，重慶奧松半導(dǎo)體的廠房里，一臺(tái)裹著防塵罩的8英寸光刻機(jī)穩(wěn)穩(wěn)落地；同一時(shí)間，紹興八億時(shí)空宣布建成國(guó)內(nèi)首條百?lài)嵓?jí)光刻膠樹(shù)脂產(chǎn)線。

這讓荷蘭的ASML坐不住了，到了11月，ASML全球副總裁沈波趕緊出來(lái)說(shuō)話，說(shuō)預(yù)計(jì)2026年中國(guó)客戶需求回落是“行業(yè)周期常態(tài)”?？韶?cái)報(bào)數(shù)據(jù)藏不住心思，2025年第三季度，中國(guó)市場(chǎng)占ASML銷(xiāo)售額的42%，比之前的29%高出一大截。

一邊是訂單猛漲，一邊又急著和中國(guó)市場(chǎng)撇清關(guān)系，ASML到底在怕什么？

從買(mǎi)光刻機(jī)到造“光刻工廠”

聊半導(dǎo)體制造，光刻機(jī)是繞不開(kāi)的坎。以前，全球只有ASML能造頂級(jí)光刻機(jī)，中國(guó)企業(yè)想買(mǎi)得排隊(duì)，還得看人家愿不愿意發(fā)貨。

轉(zhuǎn)折點(diǎn)出在清華大學(xué)唐傳祥團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)室。2021年，他們用穩(wěn)態(tài)微聚束技術(shù)做出了13.5納米的極紫外光源，這可是高端光刻的核心參數(shù)。更關(guān)鍵的是，這套方案用環(huán)形加速器產(chǎn)生光源，一個(gè)光源能同時(shí)帶動(dòng)多臺(tái)光刻設(shè)備。

2024年，團(tuán)隊(duì)和德國(guó)合作推進(jìn)相位鎖定實(shí)驗(yàn)，2025年又在光刻膠材料上有了突破。這就意味著，從光源到材料，整條技術(shù)鏈正在被我們打通。

國(guó)家在這一領(lǐng)域的推進(jìn)速度很可觀，2025 年已投入 370 億歐元用于極紫外光刻系統(tǒng)的研發(fā)，按照計(jì)劃，今年第三季度就能進(jìn)入試生產(chǎn)階段，到 2026 年實(shí)現(xiàn)批量制造。

企業(yè)這邊也有實(shí)質(zhì)進(jìn)展，華為在東莞對(duì)相關(guān)部件展開(kāi)測(cè)試，中芯國(guó)際則借助深紫外光刻機(jī)的多次曝光技術(shù)，成功生產(chǎn)出 7 納米芯片。重慶、廣州等地的芯片產(chǎn)線，目前也在加緊調(diào)試設(shè)備。

現(xiàn)在我們不再是簡(jiǎn)單采購(gòu)設(shè)備來(lái)拼湊產(chǎn)能，而是從底層技術(shù)著手，一步步搭建完全屬于自己的技術(shù)體系。

材料和設(shè)備兩頭抓

光刻機(jī)只是其中一環(huán)，沒(méi)有配套材料和工藝，再好的設(shè)備也沒(méi)用。光刻膠就是個(gè)難啃的骨頭，它是涂在硅片表面感光的化學(xué)材料，純度要求達(dá)到ppt級(jí)別，也就是萬(wàn)億分之一的雜質(zhì)含量都不能有。

今年，北京大學(xué)彭海琳?qǐng)F(tuán)隊(duì)用冷凍電鏡，拍出了光刻膠分子在液相環(huán)境下的三維結(jié)構(gòu)，第一次發(fā)現(xiàn)聚合物團(tuán)聚才是造成缺陷的根源。針對(duì)這個(gè)問(wèn)題，他們提出的優(yōu)化方案，讓12英寸晶圓的圖案缺陷數(shù)量下降了99%以上。這可不是實(shí)驗(yàn)室里的理論數(shù)據(jù)，是能直接用到產(chǎn)線上的實(shí)用方案。

八億時(shí)空的百?lài)嵓?jí)產(chǎn)線非常實(shí)在了，光刻膠樹(shù)脂是光刻膠的核心原料，技術(shù)難點(diǎn)在分散度和純度控制。這家公司從液晶材料領(lǐng)域積累的化學(xué)合成經(jīng)驗(yàn)入手，花了好幾年摸透了KrF光刻膠用樹(shù)脂的全系列工藝。

產(chǎn)線建成后，預(yù)計(jì)2025年下半年就能實(shí)現(xiàn)千萬(wàn)級(jí)收入，未來(lái)五年產(chǎn)能還能擴(kuò)到200到300噸。再加上徐州博康等企業(yè)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)光刻膠量產(chǎn)，材料這塊的自主化速度越來(lái)越快。

設(shè)備端也有不少好消息。量子芯片研發(fā)需要超高精度光刻，傳統(tǒng)光刻機(jī)根本做不到。而國(guó)產(chǎn)“羲之”電子束光刻機(jī)精度達(dá)到0.6納米，雖然產(chǎn)量低不適合大規(guī)模制造，但在前沿科研領(lǐng)域完全夠用。

先進(jìn)封裝領(lǐng)域，上海芯上微裝的步進(jìn)光刻機(jī)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額已經(jīng)不低。提升封裝技術(shù)能優(yōu)化芯片整體性能，這也算是在高端制程受限的情況下，找到的另一條出路。

ASML的賬本越算越心慌

回頭看ASML的表態(tài)，就能明白他們?yōu)槭裁粗薄?023年，中國(guó)市場(chǎng)占ASML銷(xiāo)售額的29%，成了僅次于臺(tái)灣地區(qū)的第二大市場(chǎng)。2024年這個(gè)比例沒(méi)降，2025年第三季度直接沖到42%。

短期看訂單多是好事，可長(zhǎng)期下來(lái)全是風(fēng)險(xiǎn)。中國(guó)客戶買(mǎi)這么多設(shè)備，到底要干什么？答案很明顯，就是抓緊建產(chǎn)能，為技術(shù)替代做準(zhǔn)備。

美國(guó)主導(dǎo)的出口管制，讓ASML更難受。一方面，部分高端設(shè)備不讓賣(mài)給中國(guó)，2023年就影響了15%的對(duì)華銷(xiāo)售；另一方面，管制反而逼著中國(guó)加速自研。

沈波11月說(shuō)“中國(guó)市場(chǎng)銷(xiāo)售占比回落是周期常態(tài)”，這話聽(tīng)著更像給投資者吃定心丸。畢竟清華團(tuán)隊(duì)的SSMB技術(shù)，用環(huán)形加速器繞開(kāi)了光源小型化的專(zhuān)利壁壘，等于從根上動(dòng)了ASML的技術(shù)壟斷。

來(lái)看看數(shù)據(jù)，重慶奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目一期達(dá)產(chǎn)后，每個(gè)月能生產(chǎn)1萬(wàn)到2萬(wàn)片晶圓。這類(lèi)8英寸MEMS芯片產(chǎn)線主要做傳感器，雖然制程沒(méi)手機(jī)芯片那么先進(jìn)，但市場(chǎng)需求量大，技術(shù)成熟后完全能自給自足。再看光刻膠產(chǎn)線，八億時(shí)空已經(jīng)和多家頭部光刻膠廠合作開(kāi)發(fā)高性能樹(shù)脂，性能參數(shù)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。

這些進(jìn)展加起來(lái)，意味著ASML未來(lái)在中國(guó)市場(chǎng)的訂單肯定會(huì)減少，但不是因?yàn)樾枨笙陆?，而是?guó)產(chǎn)替代開(kāi)始發(fā)力了。

技術(shù)封鎖倒逼出來(lái)的新路子

說(shuō)白了，中國(guó)半導(dǎo)體這幾年的進(jìn)步，全是被倒逼出來(lái)的。買(mǎi)不到最先進(jìn)的光刻機(jī)，我們就研究新原理；材料被卡脖子，我們就從分子結(jié)構(gòu)重新設(shè)計(jì)。清華團(tuán)隊(duì)的“光刻工廠”思路，本質(zhì)上就是用大科學(xué)裝置的方式解決工業(yè)問(wèn)題。這和ASML把所有功能集成到一臺(tái)機(jī)器里的路線完全不同，但只要能生產(chǎn)出高端芯片，路線本身不重要。

產(chǎn)業(yè)落地速度也在加快，重慶奧松從2024年拿到施工許可證，到2025年4月主體封頂，再到7月光刻機(jī)進(jìn)場(chǎng)，整個(gè)周期還不到一年半。企業(yè)招了200多名員工準(zhǔn)備通線，按計(jì)劃8月底試產(chǎn)，第四季度就能產(chǎn)能爬坡交付客戶。廣州、紹興等地的項(xiàng)目也在同步推進(jìn)，形成了多點(diǎn)開(kāi)花的局面。

政策支持力度也很關(guān)鍵，重慶高新區(qū)針對(duì)集成電路企業(yè)的研發(fā)、融資、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同，給出300萬(wàn)到5000萬(wàn)的獎(jiǎng)勵(lì)，力度在西部是最優(yōu)的。國(guó)家層面370億歐元的投入，更是直接對(duì)標(biāo)國(guó)際頂尖水平。有資金、有技術(shù)、有市場(chǎng)，這三樣都齊了，產(chǎn)業(yè)崛起只是時(shí)間問(wèn)題。

中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)這幾年走的路，和當(dāng)年高鐵、新能源汽車(chē)的邏輯一樣，先解決有沒(méi)有，再提升好不好，最后做到能不能賣(mài)?，F(xiàn)在光刻機(jī)和材料正從“有沒(méi)有”向“好不好”過(guò)渡，距離完全替代還有差距，但方向已經(jīng)很明確了。

ASML現(xiàn)在焦慮的不是訂單多少，而是等我們這套技術(shù)體系成熟了，他們?cè)谥袊?guó)市場(chǎng)的話語(yǔ)權(quán)就沒(méi)了。