太陽真是打西邊出來了，美國人居然開始教我們怎么突破他們自己的封鎖？

最近，美國著名的半導體技術(shù)機構(gòu)SemiAnalysis發(fā)了篇報告，那是相當“貼心”。他們說，如果中國遲遲造不出EUV光刻機，不如去跟日本佳能合作，買他們的“納米壓印”設(shè)備。據(jù)說這玩意兒理論上能干到5nm甚至2nm，成本還比ASML的EUV便宜一大截。

聽著是不是挺像那么回事？感覺像是在絕境里給我們指了一條明路。但各位得長個心眼，美國人什么時候這么好心過？他們指的路，通常要么是死胡同，要么是沼澤地。

先得把這個“納米壓印”是個什么鬼搞清楚。ASML的光刻機是“畫”，用極短波長的光把電路圖投射到晶圓上；而佳能的納米壓印，說白了就是“蓋章”。把電路圖刻在模具上，然后像蓋公章一樣，硬生生壓在晶圓上。這技術(shù)確實不是吹的，早在1995年就被華人科學家周郁提出來了，佳能憋了這么多年，去年終于拿出了商用機型FPA-1200NZ2C，號稱能替代EUV。

那為什么說這是個坑呢？因為這玩意兒有個致命的死穴——良品率。你拿光去照，那是無接觸的，干凈；你拿章去蓋，那是物理接觸。只要模具上沾了一?；覊m，或者壓的時候歪了那么幾納米，這塊芯片就廢了。對于結(jié)構(gòu)簡單的存儲芯片（比如閃存），壞一點還能屏蔽掉湊合用；但對于結(jié)構(gòu)復雜的邏輯芯片（比如手機里的CPU），稍微有一點瑕疵，整塊芯片就是廢硅。所以，佳能這設(shè)備目前也就能賣給鎧俠、鎂光造造存儲，真要拿來造麒麟芯片，估計廢品能堆成山。

美國人之所以敢放風說“你們可以用這個”，甚至在出口管制上對日本這套設(shè)備睜一只眼閉一只眼，就是看準了這一點。他們知道，納米壓印目前還威脅不到高端邏輯芯片的統(tǒng)治地位。如果中國企業(yè)真把寶全押在這上面，放棄了EUV的攻關(guān)，那才是中了調(diào)虎離山計。等我們費勁巴拉把納米壓印的良率提上來，黃花菜都涼了。

當然，咱們中國人也不傻。這技術(shù)確實是條路子，但這絕不是什么“救命稻草”，充其量是個“備胎”。而且，這個備胎我們也沒打算全靠買。可能很多人不知道，杭州有家叫璞璘科技的公司，那是咱們自己的隊伍。老板是周郁的學生，正兒八經(jīng)的科班出身，他們的設(shè)備去年8月就已經(jīng)交付了，雖然還沒佳能那么先進，但起碼把20nm以下的門檻給摸到了。更重要的是，他們把光刻膠、模具這些配套材料全給打通了。

這才是中國半導體的真實邏輯：兩條腿走路。傳統(tǒng)的光刻機我們要搞，納米壓印這種彎道超車的技術(shù)我們也要搞。但我們絕不會因為美國人的一句“建議”，就天真地以為可以靠買日本人的設(shè)備來躺贏。

美國專家的這個“建議”，聽聽就得了。他們越是想把我們往某條路上趕，我們越是要警惕那條路上是不是埋了雷。在這個世界上，能救中國芯片的，只有中國自己的實驗室和生產(chǎn)線。至于佳能？那是錦上添花的事，絕不是雪中送炭。

想靠“蓋章”蓋出一個芯片強國？這事兒，沒那么簡單。

參考信源：

• SemiAnalysis: Nanoimprint Lithography: Stop Saying It Will Replace EUV (2025.12.02)

• Canon Global: Launch of FPA-1200NZ2C Nanoimprint Semiconductor Manufacturing Equipment (2023.10.13)

• Hangzhou Porin Technology: Corporate Milestone and PL-SR Series Delivery Report (2025.08)