最近，國內(nèi)一家半導(dǎo)體設(shè)備廠商可謂吊足了公眾的胃口。

這家名為深圳市新凱來技術(shù)有限公司（下稱“新凱來”）的企業(yè)成立于2021年，由深圳市國資委實(shí)控。在10月10日召開的“2025灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會”新聞發(fā)布會上，深圳市發(fā)展改革委主任郭子平曾提及新凱來及其子公司，表示“每一個(gè)子公司在這次的展會中都會讓大家有意想不到的驚喜，請?jiān)试S我賣個(gè)關(guān)子”。這一度引發(fā)外界關(guān)于新凱來會否推出光刻機(jī)的猜測。

新凱來進(jìn)入公眾視線可以追溯到半年前，今年3月底，新凱來在上海半導(dǎo)體設(shè)備展推出包括刻蝕產(chǎn)品、擴(kuò)散產(chǎn)品、薄膜產(chǎn)品及物理量測產(chǎn)品、X射線量測產(chǎn)品、光學(xué)量檢測產(chǎn)品在內(nèi)的6大類31款半導(dǎo)體設(shè)備。當(dāng)時(shí)公司相關(guān)負(fù)責(zé)人曾表示：“我們的工藝設(shè)備可以使用非光學(xué)技術(shù)來解決一些光刻問題。”

外界期待的光刻機(jī)并未在此次博覽會亮相，不過從新凱來帶來的“驚喜”中仍然可以看到國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈的突破。

圖為光刻機(jī)（資料圖/圖蟲創(chuàng)意）

驚喜是什么？

其實(shí)，新凱來從未對外宣布涉足光刻機(jī)業(yè)務(wù)，新凱來此次帶來的“驚喜”集中在示波器、EDA領(lǐng)域，這也與此前新凱來相關(guān)子公司的“預(yù)告”相符。

在此次博覽會期間，新凱來子公司萬里眼正式發(fā)布超高速實(shí)時(shí)示波器。示波器是用來測量和顯示電信號波形的電子測試儀器，將肉眼看不到的電信號變換成看得見的圖像，萬里眼CEO劉桑稱其為“巨龍的眼睛”。

目前，高端示波器帶寬達(dá)到60GHz（千兆赫茲）以上，甚至高達(dá)上百GHz，但是國內(nèi)示波器帶寬多在20GHz以下。受西方國家封鎖影響，中國無法向海外公司購買帶寬60GHz以上的示波器。

劉桑介紹，此次發(fā)布的示波器擁有90GHz的測試帶寬，可以面對112Gbps，甚至224Gbps的高速信號，清晰捕捉每一處波形細(xì)節(jié)，真實(shí)還原信號快速升降，加速光電領(lǐng)域芯片的研發(fā)迭代。這款產(chǎn)品可將國產(chǎn)示波器性能提升500%，實(shí)現(xiàn)多代產(chǎn)品的跨越，可應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、6G通信、光通信、智能駕駛等領(lǐng)域。

萬里眼發(fā)布的新一代超高速實(shí)時(shí)示波器（圖片來源：每經(jīng)記者 王晶 攝）

而新凱來旗下的另一家子公司啟云方發(fā)布了兩款自主研發(fā)的EDA。在半導(dǎo)體行業(yè)中，EDA是一系列從設(shè)計(jì)到制造的軟件工具的統(tǒng)稱，涵蓋了功能設(shè)計(jì)、布線、驗(yàn)證等環(huán)節(jié)。目前，新思科技（Synopsys）、楷登電子（Cadence）和西門子三家公司占據(jù)全球市場份額超過七成。

啟云方電子工程EDA BU（事業(yè)部）總裁袁夷介紹，無論是在功能還是性能方面，兩款EDA都跟業(yè)界標(biāo)桿水平持平。據(jù)他介紹，國外的軟件基本是串行作業(yè)，而啟云方采用了并行作業(yè)的方式，可以讓100個(gè)工程師同時(shí)畫一張圖，極大地提升了工作效率。整體來看，通過這種軟件并行協(xié)同設(shè)計(jì)的模式可以將產(chǎn)品硬件開發(fā)周期縮短40%。

袁夷表示，一些企業(yè)已經(jīng)在使用該產(chǎn)品，從客戶反饋來看，可平滑替換國外同類軟件，歷史數(shù)據(jù)可以兼容。

國產(chǎn)設(shè)備多點(diǎn)突破

7nm（納米）及以下高端制程芯片的制造，普遍依賴荷蘭公司阿斯麥（ASML）制造高端芯片的EUV（極紫外）光刻機(jī)。因此提及半導(dǎo)體設(shè)備，外界習(xí)慣于聚焦光刻機(jī)。

目前，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司用于制造90納米芯片的干式DUV（深紫外）光刻機(jī)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，其28納米浸沒式DUV光刻機(jī)也進(jìn)入產(chǎn)品驗(yàn)證階段，但EUV（極紫外）光刻機(jī)仍處于預(yù)研階段。

其實(shí)，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)涉及眾多環(huán)節(jié)，新凱來子公司這次帶來的驚喜，雖然并非為外界所熟知的光刻機(jī)，但同樣在國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的薄弱環(huán)節(jié)有新突破。

民生證券研報(bào)稱，我國在去膠、清洗、刻蝕設(shè)備方面國產(chǎn)化率較高，在CMP、熱處理、薄膜沉積上近幾年國產(chǎn)化突破明顯，而在量測、涂膠顯影、光刻、離子注入等設(shè)備上，仍較為薄弱。

示波器就可以被歸入量測設(shè)備，在這一領(lǐng)域，國內(nèi)廠商與國外廠商依然存在差距，比如為檢查每一步制造工藝后晶圓產(chǎn)品的加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)要求或者存在影響良率的缺陷，就需要使用前道量檢測設(shè)備。有相關(guān)領(lǐng)域資深人士向《中國新聞周刊》解釋，這需要納米級檢測，納米級相關(guān)設(shè)備基本被國外公司壟斷，國內(nèi)公司處于起步階段，業(yè)內(nèi)將這種頂級的光學(xué)檢測設(shè)備稱為“小光刻機(jī)”，從光源、鏡頭等層面都需要依靠自主研發(fā)取得突破。

從新凱來今年數(shù)次帶來“驚喜”不難看出，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)正在多點(diǎn)突破。

新凱來今年已數(shù)次帶來“驚喜”（資料圖）

有國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備初創(chuàng)企業(yè)負(fù)責(zé)人告訴《中國新聞周刊》，2019年國內(nèi)著名半導(dǎo)體設(shè)備廠商中微公司上市，之后國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)開始出現(xiàn)“翻天覆地”的變化，比如薄膜沉積領(lǐng)域的拓荊科技、微導(dǎo)納米等都在近年上市?！叭缃駠鴥?nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商不會再經(jīng)歷中微公司那樣比較長的培育期，因?yàn)楫?dāng)時(shí)國產(chǎn)替代的市場還不成熟?！?/p>

這位負(fù)責(zé)人也是近年從美國歸國創(chuàng)業(yè)，他明顯感受到國內(nèi)的追趕節(jié)奏在加快?！拔以诓┦慨厴I(yè)后進(jìn)入半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，國外公司在擁有壟斷地位的情況下往往會細(xì)細(xì)打磨一款產(chǎn)品。但是國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的做法是，一方面要跟上生產(chǎn)像28nm這樣成熟制程芯片所需的設(shè)備，另一方面也要同步突破生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片所需的設(shè)備。這種‘并行’的策略提升了工作節(jié)奏，我自己也在適應(yīng)。”

記者：陳惟杉

編輯：閔杰