半導(dǎo)體行業(yè)現(xiàn)在是全球焦點(diǎn)，芯片制造離不開(kāi)光刻機(jī)這種關(guān)鍵設(shè)備，它負(fù)責(zé)在硅片上刻畫(huà)電路圖案。市場(chǎng)主要被荷蘭的ASML和日本幾家公司控制，ASML在深紫外光刻機(jī)領(lǐng)域占大頭，份額超過(guò)70%。中國(guó)長(zhǎng)期靠進(jìn)口高端設(shè)備，遇到供應(yīng)卡脖子問(wèn)題。從2010年代開(kāi)始，國(guó)家加大投入，推動(dòng)本土企業(yè)自主研發(fā)，目標(biāo)是減少對(duì)外依賴。

上海微電子裝備集團(tuán)是主要力量，他們從光學(xué)系統(tǒng)基礎(chǔ)起步，逐步解決分辨率和穩(wěn)定性難題。團(tuán)隊(duì)規(guī)模數(shù)百人，投入資金數(shù)十億元，與高校合作開(kāi)發(fā)模擬軟件，在上海郊區(qū)建潔凈室測(cè)試。2023年初，推出SSA600系列深紫外光刻機(jī)，支持28納米工藝，在國(guó)內(nèi)算進(jìn)步，雖然比國(guó)際7納米落后，但適合中端芯片生產(chǎn)。

設(shè)備用193納米激光源，浸沒(méi)式鏡頭數(shù)值孔徑1.35，線寬28納米，每小時(shí)處理上百片晶圓，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行測(cè)試，穩(wěn)定性合格。售價(jià)比進(jìn)口低，吸引中小代工廠試用。中芯國(guó)際等企業(yè)進(jìn)行兼容測(cè)試，調(diào)整工藝參數(shù)適應(yīng)生產(chǎn)線。這步標(biāo)志中國(guó)光刻領(lǐng)域從無(wú)到有，降低進(jìn)口依賴，產(chǎn)業(yè)鏈更穩(wěn)。

這件事一曝光，國(guó)際反應(yīng)大，尤其是美國(guó)和荷蘭。2023年3月，荷蘭貿(mào)易部長(zhǎng)通過(guò)議會(huì)信件宣布新出口管制，對(duì)先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備包括深紫外光刻機(jī)設(shè)審查，理由維護(hù)技術(shù)安全，避免敏感技術(shù)流向競(jìng)爭(zhēng)方。

美國(guó)商務(wù)部官員在國(guó)會(huì)聽(tīng)證會(huì)支持，強(qiáng)調(diào)設(shè)備涉國(guó)家安全，中國(guó)進(jìn)步有風(fēng)險(xiǎn)。兩國(guó)協(xié)調(diào)緊密，荷蘭企業(yè)高層參與評(píng)估供應(yīng)鏈影響。3月8日，荷蘭正式聲明，對(duì)特定型號(hào)深紫外系統(tǒng)出口中國(guó)需許可，美國(guó)更新實(shí)體名單，添加更多供應(yīng)商。

批評(píng)焦點(diǎn)在技術(shù)來(lái)源，美國(guó)智庫(kù)報(bào)告列出知識(shí)產(chǎn)權(quán)糾紛案例，指出中國(guó)設(shè)備參數(shù)與現(xiàn)有產(chǎn)品相似，懷疑逆向工程。荷蘭官員在媒體表示，全球?qū)＠w系需遵守，否則合作受阻。美國(guó)舉過(guò)去幾年訴訟，質(zhì)疑獨(dú)立性。兩國(guó)聯(lián)合會(huì)議重申，技術(shù)轉(zhuǎn)移要透明。這直接回應(yīng)中國(guó)光刻進(jìn)展，管制層層加碼，采購(gòu)周期延長(zhǎng)，本土投資加速。全球芯片需求因5G和AI增長(zhǎng)，中國(guó)市場(chǎng)占比大，出口控制讓設(shè)備更新難。

荷蘭2023年6月30日發(fā)詳細(xì)規(guī)則，9月1日生效，覆蓋深紫外浸沒(méi)系統(tǒng)，要求出口申請(qǐng)?zhí)峁┯脩袈暶?。美?guó)2023年10月擴(kuò)展控制，包括軟件和維護(hù)。荷蘭企業(yè)對(duì)華銷售降，但全球訂單穩(wěn)。上海微電子設(shè)備入市后，國(guó)內(nèi)工廠試用順，專利覆蓋核心算法，多項(xiàng)發(fā)明獲批。國(guó)際半導(dǎo)體專家部分認(rèn)可努力，邀請(qǐng)交流，但標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一前提。2024年上半年，上海微電子升級(jí)軟件，提高自動(dòng)化。

9月6日，荷蘭擴(kuò)管制，納入更多型號(hào)和服務(wù)，中國(guó)外交部9月9日回應(yīng)，稱干擾正常貿(mào)易。2024年9月9日，中國(guó)譴責(zé)荷蘭措施加深科技脫鉤。全球供應(yīng)鏈重塑，亞洲其他國(guó)家調(diào)整策略。美國(guó)2024年4月敦促荷蘭停修中國(guó)敏感設(shè)備，影響大。荷蘭政府2025年1月17日披露，排除大部分ASML對(duì)華銷售敏感貨物出口數(shù)據(jù)，管制嚴(yán)格。

廣義上，這反映科技競(jìng)爭(zhēng)激烈。美國(guó)主導(dǎo)多邊機(jī)制，推動(dòng)盟友限技術(shù)擴(kuò)散，荷蘭作為供應(yīng)商國(guó)壓力大。ASML高層2023年聲明，新規(guī)前可申請(qǐng)?jiān)S可，但實(shí)際出口限。中國(guó)企業(yè)迭代，2025年推出升級(jí)版，支持更精細(xì)節(jié)點(diǎn)如7納米多圖案化。

設(shè)備出口東南亞，助本地升級(jí)。研發(fā)資金國(guó)家基金和企業(yè)合作，累計(jì)投入大。國(guó)際媒體報(bào)道兩國(guó)官員言論，分歧突出。荷蘭議會(huì)辯論政策效果，美國(guó)國(guó)務(wù)院記錄協(xié)調(diào)細(xì)節(jié)。事件中，市場(chǎng)格局變，中國(guó)設(shè)備填中端空白，全球訂單分布勻。

底層是知識(shí)產(chǎn)權(quán)和安全博弈。美國(guó)報(bào)告分析，中國(guó)進(jìn)步速度引疑問(wèn)，列涉嫌違規(guī)案例。荷蘭企業(yè)報(bào)告對(duì)華業(yè)務(wù)下滑，但創(chuàng)新投資不減。中國(guó)光刻從干式到浸沒(méi)，優(yōu)化振動(dòng)控制和污染，用國(guó)產(chǎn)材料替進(jìn)口。演示會(huì)在行業(yè)舉辦，吸引海外買(mǎi)家。

2025年，中國(guó)納米壓印光刻工具發(fā)貨，300多家企業(yè)挑戰(zhàn)EUV。先進(jìn)光刻大會(huì)展示進(jìn)展，電子束用于精細(xì)圖案。專家評(píng)估，非主流但補(bǔ)短板。智庫(kù)指出，中國(guó)光刻膠和掩膜版提升，產(chǎn)業(yè)鏈完整度升。

這批評(píng)通過(guò)管制體現(xiàn)，美國(guó)和荷蘭擔(dān)心優(yōu)勢(shì)流失。2023年美國(guó)外交推動(dòng)荷蘭限最先進(jìn)深紫外出口。荷蘭2024年9月禁ASML服務(wù)部分中國(guó)設(shè)備。中國(guó)研究者2025年10月27日稱光刻材料突破，市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)2025年123億。芯片缺陷工具用冷凍電鏡定位 flaw，成本降。全球玩家警惕，中國(guó)動(dòng)員力強(qiáng)，超300家搞先進(jìn)研發(fā)。ASML確認(rèn)，荷蘭政府撤銷部分對(duì)華許可，影響小批次。

這從2023年管制起，到2025年發(fā)酵，美國(guó)和荷蘭聯(lián)合批評(píng)中國(guó)光刻研發(fā)，實(shí)際護(hù)壁壘。中國(guó)企業(yè)低調(diào)推進(jìn)，成果落地。市場(chǎng)觀察，管制延緩但刺激本土加速，格局多元。國(guó)際合作需平衡，科技進(jìn)步惠全球，競(jìng)爭(zhēng)激烈。產(chǎn)業(yè)鏈重構(gòu)，中小玩家機(jī)會(huì)多。中國(guó)光刻路長(zhǎng)，但腳步穩(wěn)。