一臺(tái)EUV光刻機(jī)動(dòng)輒幾十萬個(gè)零件，但核心就三大件：光源、物鏡系統(tǒng)、工作臺(tái)。

可如今大家一提國產(chǎn)光刻機(jī)，張口閉口都是“光源突破”，卻很少有人注意到——那個(gè)藏在機(jī)器里、被稱為“上帝之眼”的光學(xué)鏡頭，也是被卡得最死的環(huán)節(jié)。

就拿EUV光刻機(jī)來說，全球能造配套鏡頭的只有德國蔡司一家。

蔡司的鏡頭牛到什么程度？坊間傳聞，要是把這鏡頭放大到地球那么大，表面誤差不能超過一根頭發(fā)絲的厚度。

這種技術(shù)門檻，直接把其他企業(yè)擋在門外。更關(guān)鍵的是，蔡司的鏡頭根本不對外銷售，只供ASML一家。

早在十年前，ASML就砸了10億歐元買下蔡司半導(dǎo)體部門25%的股份，硬是把兩家綁成了利益共同體。現(xiàn)在不光是EUV，ASML所有型號的光刻機(jī)用的都是蔡司鏡頭，連日本的尼康、佳能想造點(diǎn)高端設(shè)備，也得找蔡司供貨。

有人算過賬，全球90%的芯片生產(chǎn)都離不開蔡司的鏡頭。越是先進(jìn)制程的芯片，越依賴這套“上帝之眼”。要是哪家的芯片沒經(jīng)過蔡司鏡頭的“凝視”，那基本可以斷定不是先進(jìn)產(chǎn)品。

反觀國內(nèi)，這些年光學(xué)鏡頭企業(yè)冒出來不少，可大部分都在卷手機(jī)、攝像頭這些消費(fèi)電子領(lǐng)域。這些鏡頭精度要求低得多，和光刻機(jī)需要的根本不是一回事。

據(jù)專業(yè)人士透露，現(xiàn)在國內(nèi)連浸潤式光刻機(jī)的光學(xué)鏡頭都搞不定，更別說EUV級別的了。從制造工藝到平整度、精度，每個(gè)環(huán)節(jié)都差著代際距離，不是靠堆錢就能短期追上的。

不少人覺得，只要搞定了EUV光源就算成功了一半?？涩F(xiàn)實(shí)是，光源和鏡頭缺一不可。沒有配套的高精度光學(xué)系統(tǒng)，再好的光源也刻不出先進(jìn)芯片。更讓人著急的是，這種技術(shù)差距不是單點(diǎn)突破能解決的。從材料研發(fā)到加工工藝，從檢測設(shè)備到人才儲(chǔ)備，每個(gè)環(huán)節(jié)都得從頭補(bǔ)課。

所以說，別再把所有目光都釘在光源上了。那個(gè)藏在機(jī)器深處、默默決定著光刻精度的光學(xué)鏡頭，也是卡住中國EUV命脈的“上帝之眼”。不把這塊短板補(bǔ)上，就算光源技術(shù)再先進(jìn)，也造不出能用的EUV光刻機(jī)。這道理，比喊一百句“突破卡脖子”都實(shí)在。