經(jīng)濟觀察報記者鄭晨燁

10月15日，深圳會展中心，2025灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會（下稱“灣芯展”）剛開幕，1號館的深圳市新凱來技術(shù)有限公司（下稱“新凱來”）展臺前很快就擠滿了人，成了全場最熱鬧的地方之一。

很多人是沖著一個“傳聞”來的，記者在人群里都能聽到類似的議論，不少人伸長了脖子，想在展臺的模型和展板里，找到那臺傳說中的“驚喜”——光刻機。

這家成立僅幾年的公司，因其深圳市國資委全資控股的背景和此前在上海展會上一次拿出31款半導(dǎo)體設(shè)備“亮相”的動作，早已備受市場關(guān)注。

記者在現(xiàn)場轉(zhuǎn)了一圈，并沒有看到傳聞中的光刻機，展臺上陳列的是用“名山”命名的系列設(shè)備模型，包括刻蝕、薄膜、量測等環(huán)節(jié)的產(chǎn)品，一波又一波的參觀者擠在玻璃柜前拍照。

但現(xiàn)場的期待并非空穴來風(fēng)。10月10日，深圳市為此屆灣芯展專門開了一場新聞發(fā)布會，深圳市發(fā)展和改革委員會主任郭子平在介紹展會亮點時，專門提到了新凱來，表示新凱來將在本屆博覽會上帶來“意想不到的驚喜”。

這番來自官方的“預(yù)告”，直接將市場的期待值拉滿。但既然“驚喜”不是光刻機，那么，這個被提前“劇透”的意想不到的驚喜，到底是什么呢？

“驚喜”

新凱來帶來的“驚喜”，拆開來看是兩件東西：一件是硬件，一件是軟件；一件用來“看”，一件用來“畫”。

先說那件用來“看”的硬件。在新凱來子公司萬里眼技術(shù)有限公司（下稱“萬里眼”）的獨立展臺上，那臺90GHz（吉赫茲）新一代超高速實時示波器被擺在最顯眼的位置。

示波器是什么？可以把它看作電子工程師的“眼睛”或者“顯微鏡”。萬里眼展臺的工作人員告訴記者，所有電子產(chǎn)品內(nèi)部，流動的都是看不見的電信號，信號跑得穩(wěn)不穩(wěn)，有沒有出問題，全靠示波器這雙“眼睛”去看清楚。從芯片研發(fā)，到手機、汽車、服務(wù)器的生產(chǎn)測試，都離不開它。

這雙“眼睛”的“視力”好不好，一個關(guān)鍵指標(biāo)是帶寬，帶寬越高，能看清的信號速度就越快、越精細。

在萬里眼這臺機器出來之前，國內(nèi)廠商能量產(chǎn)的示波器，帶寬基本在20GHz以下。萬里眼此次發(fā)布的該項新產(chǎn)品極大提升了國產(chǎn)示波器帶寬，僅次于國際上最高的110GHz，全球第二，國內(nèi)唯一，打破了西方《瓦森納協(xié)定》封鎖，是全球首個超高速智能示波器、全球首個全面屏示波器。

也就是說，當(dāng)萬里眼直接拿出一臺90GHz帶寬的設(shè)備時，相當(dāng)于把國產(chǎn)示波器的關(guān)鍵性能指標(biāo)，一下子往前推了好幾代。

“比如7nm（納米）的AI芯片，它的高速接口一般要用到60GHz左右的實時示波器，更先進的工藝節(jié)點則可能會需要到90GHz左右的實時示波器?！痹诎l(fā)布會后的采訪中，萬里眼CEO劉桑向記者解釋了這臺儀器的價值。

簡單來說，沒有足夠精密的測試工具，更先進芯片的研發(fā)就很難進行。那么，萬里眼是如何突破困難做出這項產(chǎn)品的呢？

“這其實不是一個單點的技術(shù)問題。”面對記者的疑問，CEO劉?？雌饋砀駛€技術(shù)專家，聊起產(chǎn)品滔滔不絕。他告訴經(jīng)濟觀察報記者，一臺高端示波器，背后涉及關(guān)鍵器件、基礎(chǔ)材料、制造工藝、系統(tǒng)集成、軟件、智能算法、協(xié)議能力等七個關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域，萬里眼的做法，是把這七個領(lǐng)域都當(dāng)作“根技術(shù)”去投入，最終依靠強大的系統(tǒng)集成和工程平衡能力，把事情做成。

“我們團隊系統(tǒng)的整合和集成能力是非常強大的。我們深入地去了解器件、材料、工藝的優(yōu)勢和需要提升的地方，通過系統(tǒng)整合的方式，提升它的健壯性、可靠性、一致性、穩(wěn)定性?！眲⑸Ｕf。

另一個讓人好奇的地方，是做這件事的人。在這樣一個需要長期技術(shù)積累的領(lǐng)域，人們通常會想到一群頭發(fā)花白的資深專家，但據(jù)劉桑透露，萬里眼示波器整個研發(fā)團隊的平均年齡，只有二十八歲左右。

“這么年輕的團隊，你信得過嗎？”在現(xiàn)場，有媒體記者如此提問。面對這個問題，劉桑笑了，他說，這支隊伍里有技術(shù)專家，有年輕的博士，也有剛畢業(yè)的學(xué)生，但大家的目標(biāo)非常聚焦，“整個團隊的唯一目標(biāo)，就是要把卡脖子的難題攻破”。

他講起團隊的研發(fā)狀態(tài)：“在過去一段時間里，我們對其中一個子模塊在大概一年時間里進行了20多次迭代，包括多輪芯片流片。團隊就是在這樣不斷試錯成長的過程中發(fā)展起來的。”

劉桑還講了一個故事，有個中國科學(xué)院蘭州近代物理所的老師，在一個周五晚上給他打電話，說遇到一個測試難題，需要一臺同步信號特別好的機器，但他找遍了國內(nèi)甚至聯(lián)系了海外企業(yè)，都沒有能滿足他要求的產(chǎn)品。

“當(dāng)時他已經(jīng)到機場了，背著幾根幾十米長的線纜，來找我們幫他測試。周末我們就安排了測試?！眲⑸Ｕf，“我們的使命就是要去解決中國科技界和產(chǎn)業(yè)界遇到的困難。”

除了對標(biāo)海外產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)，這臺新儀器在操作體驗上也花了不少心思，記者在現(xiàn)場注意到，該儀器的屏幕是18.5寸的全面屏，可以用手指像玩手機一樣拖動波形。

“曾經(jīng)有一個外籍的工程師，他用了以后，給我們點贊，他認為我們的產(chǎn)品是他所用過的全世界所有的儀器里面體驗最好的?！眲⑸Ｕf，很多用慣了西方儀器的工程師，上手操作不到半天，就能很順暢地使用萬里眼的設(shè)備。

如果說萬里眼的這臺示波器，是用來測試和檢驗物理世界的一把“硬尺子”，那么新凱來帶來的另一個驚喜，則是用來描繪和設(shè)計數(shù)字世界的一支“軟畫筆”。

這支“筆”，來自新凱來的另一家子公司——啟云方科技有限公司（下稱“啟云方”）。啟云方在灣芯展首日上午，發(fā)布了兩款擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)電子工程EDA（電子設(shè)計自動化）軟件。

EDA軟件一直被稱為“芯片之母”，是工程師們用來設(shè)計芯片和電路板（PCB）的“畫筆”和“計算器”。

這支“筆”的技術(shù)含量極高，長期以來，全球市場一直由美國的楷登電子（Cadence）、新思科技（Synopsys）和德國西門子EDA三家公司壟斷。

根據(jù)啟云方在現(xiàn)場公布的信息，其發(fā)布的這套國產(chǎn)EDA軟件在多個關(guān)鍵指標(biāo)上，已達到業(yè)界一流水準(zhǔn)，其產(chǎn)品性能較行業(yè)標(biāo)桿提升30%，使用其軟件進行產(chǎn)品硬件開發(fā)的周期能夠縮短40%，同時，軟件帶有的智能輔助設(shè)計功能，可以讓設(shè)計“一版成功”的幾率提升30%。這些數(shù)據(jù)的背后，指向的是企業(yè)研發(fā)效率的提升和試錯成本的降低。

為了實現(xiàn)這些指標(biāo)，軟件本身具備了支持超大規(guī)模、超復(fù)雜電路設(shè)計的能力。其中，“多人并行協(xié)同設(shè)計”是一項關(guān)鍵功能，這意味著，面對一塊復(fù)雜的電路板，多名工程師可以像在線編輯同一份文檔一樣，同時在上面分工與協(xié)作，設(shè)計過程中的任何修改，團隊成員都可以隨時隨地在線檢視。

“今天發(fā)布的相關(guān)產(chǎn)品目前已投入市場，已有超過2萬名工程師使用，目前下游市場反饋良好?！眴⒃品诫娮庸こ蘀DA BU（業(yè)務(wù)單元）總裁袁夷在現(xiàn)場介紹時，給出了產(chǎn)品商用層面的一個具體數(shù)據(jù)。

除了工具本身，啟云方還在同步構(gòu)建產(chǎn)品生態(tài)。記者在現(xiàn)場了解到，啟云方這套EDA軟件工具，兼容多款國產(chǎn)操作系統(tǒng)、數(shù)據(jù)庫、中間件等一系列平臺軟件。

換言之，它不是一個孤立的單點工具，而是從一開始就致力于融入一個自主可控的國產(chǎn)工業(yè)軟件體系，對于國內(nèi)產(chǎn)業(yè)界而言，這種實踐為整個工業(yè)軟件產(chǎn)業(yè)的自主化提供了可供參考的路徑。

“名山”

驚喜之外，新凱來展臺的主角，是一排用玻璃罩起來的設(shè)備模型。

這些是新凱來的主力產(chǎn)品，不像子公司那樣只聚焦單個領(lǐng)域，在這里，記者看到了覆蓋半導(dǎo)體制造多個核心環(huán)節(jié)的裝備，每一款都用中國的名山大川命名。

根據(jù)記者在現(xiàn)場了解，這批設(shè)備分為工藝裝備和檢測裝備兩大類，共16款。

其中，在薄膜沉積（在芯片上生長出極薄材料層的工藝）設(shè)備方面，展出了三款，分別是PVD普陀山、ALD阿里山和CVD長白山。

PVD（物理氣相沉積）設(shè)備，可以理解為在真空環(huán)境里，把金屬等材料“蒸發(fā)”成原子，再均勻地“鍍”到芯片上，形成導(dǎo)電的金屬薄膜；ALD（原子層沉積）設(shè)備則更為精細，它能以單個原子的厚度為單位，一層一層地在芯片上“堆疊”出所需的功能薄膜；CVD（化學(xué)氣相沉積）設(shè)備，則是通過特定的化學(xué)氣體在芯片表面發(fā)生反應(yīng)，來生成絕緣或?qū)щ姷墓腆w薄膜。

在刻蝕（根據(jù)電路圖在芯片上“雕刻”出溝槽和線條的工藝）設(shè)備方面，展出了ETCH（金屬蝕刻）武夷山。

在擴散產(chǎn)品方面，則有EPI峨眉山和RTP三清山。EPI（外延生長）設(shè)備，主要用于在硅片上再生長出一層新的、晶體結(jié)構(gòu)完整的單晶硅薄膜，這是制造高性能芯片的基礎(chǔ)工序。RTP（快速熱處理）設(shè)備，則像一個超高精度的“烤箱”，通過對芯片進行極快速、均勻的升溫和降溫，來完成對注入雜質(zhì)的激活和修復(fù)晶格損傷等關(guān)鍵步驟。

此外，新凱來還展出了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、物理與X射線量測等多個系列的產(chǎn)品，包括岳麓山、天門山、沂蒙山等。

從薄膜、刻蝕到檢測，新凱來展出的設(shè)備覆蓋了芯片制造流程里最關(guān)鍵的一部分。

在新凱來官方網(wǎng)站上，有這樣一句對公司模式的描述：“聯(lián)合了眾多國內(nèi)半導(dǎo)體制造設(shè)備和零部件合作伙伴，為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠、FAB廠（芯片制造廠）、電子電器設(shè)備廠、研究機構(gòu)提供先進的解決方案?！?/p>

告別單打獨斗，攜手產(chǎn)業(yè)鏈“抱團”創(chuàng)新，這或許能夠在一定程度上解釋新凱來的發(fā)展為何如此之快。

“我們團隊系統(tǒng)的整合和集成能力是非常強大的。”在解釋萬里眼公司如何突破高端示波器時，其CEO劉桑曾反復(fù)強調(diào)這一點。這個思路，同樣適用于新凱來公司的多產(chǎn)品線布局，他認為，在很多尖端領(lǐng)域，中國在基礎(chǔ)材料、工藝和器件上，不一定每一個單點都是最強的，但可以通過強大的系統(tǒng)工程能力，去整合、去平衡，做出有競爭力的產(chǎn)品。

萬里眼銷售總經(jīng)理劉正寶亦認為，中國很多行業(yè)其實已經(jīng)走在了世界的最前沿，客戶遇到的很多測試場景，在業(yè)界都是新的。他說：“作為本土企業(yè)來講，我們能做到快速迭代，快速更新，快速地響應(yīng)客戶需求。這也是我們的優(yōu)勢，我覺得我們的客戶也會考慮到這一點，因為現(xiàn)在科技迭代太快了，客戶也需要一個能快速響應(yīng)的有能力的儀器廠家跟著他們一起向前走?！?/p>

劉桑亦在現(xiàn)場表示，萬里眼相關(guān)產(chǎn)品在研發(fā)過程中，一個技術(shù)模塊，能在一年時間里迭代超過20次，其中包含多輪芯片流片（指在芯片設(shè)計完成后，將設(shè)計圖送到工廠進行首次生產(chǎn)驗證），這種試錯速度和強度，是其能夠快速追趕的基礎(chǔ)。

除了內(nèi)部的組織和工程方法，外部的市場環(huán)境也提供了一個特殊的機遇。

“近年來，國產(chǎn)設(shè)備、材料與EDA工具的協(xié)同進步顯著，三者相互驗證、共同迭代，形成了正向反饋循環(huán)。”10月15日，CINNO Research高級分析師王菁在接受記者采訪時表示。

她認為，新凱來這類公司之所以能快速成長，與國內(nèi)龐大的應(yīng)用市場緊密相關(guān)。“在人工智能推理芯片、自動駕駛計算芯片、車規(guī)級功率半導(dǎo)體以及數(shù)據(jù)中心相關(guān)芯片等領(lǐng)域，中國最有可能實現(xiàn)‘并跑’甚至‘領(lǐng)跑’。”

王菁進一步解釋稱，這些領(lǐng)域恰好與國內(nèi)發(fā)展最快的新能源汽車、人工智能等市場緊密結(jié)合，這為新技術(shù)、新產(chǎn)品的快速迭代和商業(yè)化落地提供了獨特的優(yōu)勢，創(chuàng)造了一個難得的機遇窗口。另外，巨大的市場需求，反過來也“喂”飽了上游的設(shè)備廠商，給了他們更多驗證和改進產(chǎn)品的機會。

工信部信息通信經(jīng)濟專家委員會委員盤和林則從一個更宏觀的層面，解釋了這種現(xiàn)象。10月15日，他在接受記者采訪時表示，中國正在采用一種新型舉國體制，其核心是“通過集中企業(yè)和市場主體的創(chuàng)新力量方式，逐個擊破技術(shù)關(guān)口，逐步實現(xiàn)了芯片半導(dǎo)體全鏈條的自主可控”。

盤和林認為，這種模式增強了中國在技術(shù)博弈中的底氣，讓產(chǎn)業(yè)不再處處受制于人。

不過，他也指出，中國目前在成熟制程芯片的制造和設(shè)計研發(fā)方面已經(jīng)走在全球前列，但在更先進的半導(dǎo)體領(lǐng)域，彎道超車的難度很大，大多數(shù)環(huán)節(jié)仍處于“并跑”和“跟跑”的狀態(tài)，例如先進制程的光刻機、高端EDA軟件等。

不止新凱來

新凱來相關(guān)展臺的熱鬧，只是這屆灣芯展的一個切面。

走進展館，從1號館到9號館，能看到一個更完整的圖景。記者的一個很直觀的感受是，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，正從過去依靠個別企業(yè)在單一環(huán)節(jié)的突破，轉(zhuǎn)向一種更系統(tǒng)、更全面的打法。

在展會現(xiàn)場，這種變化體現(xiàn)在各個角落。

基礎(chǔ)材料是所有芯片制造的起點，在北京有研億金新材料股份有限公司的展臺，其工作人員向記者介紹稱，公司此次展示的是用于集成電路先進制程的高純金屬濺射靶材。他表示，公司的高純銅、鉭、鈷等靶材的研究，已能滿足90納米至5納米邏輯、存儲等工藝的需求。

有了材料，還需要核心設(shè)備。

在來自沈陽的拓荊科技（688072.SH）展臺上，其工作人員介紹，該公司主力的等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備等多種半導(dǎo)體專用設(shè)備，已進入國內(nèi)二十多個地區(qū)的七十多條生產(chǎn)線。另外，為了跟上市場需求，該公司正在加速擴產(chǎn)，投資近十億元的上海二廠已在2025年6月啟用，同時還在投入十多億元籌建沈陽二廠。

深圳本土的設(shè)備廠商大族激光（002008.SZ）旗下的“大族半導(dǎo)體”，也展示了多款設(shè)備，甚至包括全自動接近式光刻機。

其現(xiàn)場工作人員告訴記者，該公司目前在前沿的TGV（玻璃通孔）技術(shù)上已有布局，相關(guān)的飛秒激光增強玻璃刻蝕技術(shù)產(chǎn)品已經(jīng)實現(xiàn)順利出貨。

另外，當(dāng)芯片制程越來越接近物理極限，單純把晶體管做小變得愈發(fā)困難，如何把不同功能的小芯片（Chiplet）像搭積木一樣，通過先進封裝技術(shù)拼接在一起，成了行業(yè)的新方向。

在2號館，珠海硅芯科技有限公司就牽頭打造了一個“Chiplet與先進封裝生態(tài)專區(qū)”。

據(jù)記者了解，這個專區(qū)聯(lián)合了近30家來自芯片設(shè)計、封裝制造、科研院校和產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的單位，系統(tǒng)性地展示了國內(nèi)在2.5D/3D EDA工具、芯粒庫生態(tài)建設(shè)等方向的進展。

這種抱團合作的趨勢，在芯片設(shè)計領(lǐng)域同樣明顯。

在國產(chǎn)GPU（圖形處理器）企業(yè)芯瞳半導(dǎo)體技術(shù)（廈門）有限公司（下稱“芯瞳”）的展臺，其重點展出了“塵起”系列國產(chǎn)GPU產(chǎn)品，該系列基于公司的完全自主知識產(chǎn)權(quán)架構(gòu)，并已支持主流國產(chǎn)操作系統(tǒng)。

芯瞳并沒有孤立地展示芯片性能，而是攜手多家國產(chǎn)計算機廠商，聯(lián)合展示了基于“塵起”GPU的多場景解決方案。記者在現(xiàn)場演示區(qū)看到，搭載芯瞳GPU的國產(chǎn)計算機，在運行復(fù)雜的圖形設(shè)計、大規(guī)模數(shù)據(jù)處理等程序時，表現(xiàn)流暢。現(xiàn)場工作人員介紹，其產(chǎn)品和方案可應(yīng)用于政務(wù)辦公、工業(yè)設(shè)計、數(shù)字孿生等多個領(lǐng)域。

這種主動與產(chǎn)業(yè)鏈伙伴協(xié)同的打法，在芯瞳近期的業(yè)務(wù)動作中體現(xiàn)得更為具體。

就在不久前，芯瞳宣布，其GPU產(chǎn)品已完成與龍芯中科（688047.SH）的桌面處理器平臺的兼容互認證。這意味著，個人電腦和工作站中最重要的“CPU+GPU”這對核心搭檔，在國產(chǎn)化道路上又多了一個成熟的選項。

不僅如此，芯瞳還與中科曙光（603019.SH）旗下的曙光網(wǎng)絡(luò)達成了戰(zhàn)略合作，雙方計劃圍繞工業(yè)控制領(lǐng)域，共同打造基于國產(chǎn)高性能GPU的解決方案。

當(dāng)然，最終所有基礎(chǔ)環(huán)節(jié)的進步，都會體現(xiàn)在具體的芯片產(chǎn)品上。

在第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，深圳方正微電子有限公司展示了其作為IDM（整合元件制造商，指從設(shè)計、制造到封裝測試都自行完成的模式）企業(yè)的布局。其市場總監(jiān)敖立滿告訴記者，該公司主要從事SiC（碳化硅）和GaN（氮化鎵）晶圓和器件的研發(fā)制造，其SiC芯片已在國產(chǎn)新能源乘用車的主驅(qū)系統(tǒng)上實現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用，是該領(lǐng)域的國內(nèi)第一。

而在智能汽車AI芯片領(lǐng)域，深圳市歐冶半導(dǎo)體有限公司（下稱“歐冶半導(dǎo)體”）也展示了其龍泉560系列AI SoC（系統(tǒng)級芯片）。該公司公共事務(wù)副總裁史禎寰介紹，該系列芯片覆蓋1Tops至40Tops的算力，其NPU（嵌入式神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)處理器）的計算效率比國外同類芯片高出50%以上，可應(yīng)用于智能車燈、行泊一體輔助駕駛等多種場景。

從材料、設(shè)備、EDA軟件，再到先進封裝和最終的芯片應(yīng)用，灣芯展上呈現(xiàn)的，不再是零散的單點成果，而是一個正在快速成形的、相互關(guān)聯(lián)的產(chǎn)業(yè)拼圖。

“產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效率確有實質(zhì)性提升，從過去的‘被動適配’轉(zhuǎn)向了‘主動對接’?！蓖踺几嬖V記者。

根據(jù)她的觀察，一些值得推廣的合作模式正在增多，例如，以系統(tǒng)廠商或整機企業(yè)為龍頭，牽引芯片設(shè)計與制造；構(gòu)建“虛擬IDM”聯(lián)盟，共享技術(shù)與產(chǎn)能；以及上下游企業(yè)共建聯(lián)合研發(fā)平臺，共同定義技術(shù)規(guī)格，提前鎖定產(chǎn)能，共擔(dān)風(fēng)險，加速系統(tǒng)級解決方案的成熟等。

王菁認為，正是這種協(xié)同，讓設(shè)備、材料與EDA工具之間，得以“相互驗證、共同迭代，形成了正向反饋循環(huán)”，整個產(chǎn)業(yè)的韌性和戰(zhàn)略主動性因此得到增強。

她表示，除了繼續(xù)在硬件技術(shù)上投入，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)下一步最需要強化的是“軟實力”，“不僅要培養(yǎng)和吸引頂尖的領(lǐng)軍人才與復(fù)合型工程師，更要構(gòu)建一個能夠滋養(yǎng)創(chuàng)新、鼓勵試錯、保護知識產(chǎn)權(quán)、促進知識共享的良性產(chǎn)業(yè)生態(tài)”。

在王菁看來，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，未來尚需要在國家層面加強統(tǒng)籌規(guī)劃，引導(dǎo)各地基于自身優(yōu)勢精準(zhǔn)定位，例如深圳及大灣區(qū)強化芯片設(shè)計與應(yīng)用創(chuàng)新，長三角突出先進制造與產(chǎn)業(yè)鏈綜合配套，京津冀依托科研優(yōu)勢聚焦原始創(chuàng)新，從而形成分工明確、優(yōu)勢互補的“全國一盤棋”產(chǎn)業(yè)格局。，從而形成分工明確、優(yōu)勢互補的“全國一盤棋”產(chǎn)業(yè)格局。

（作者 鄭晨燁）

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鄭晨燁

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