從 12 月 1 日起荷蘭 ASML 先進(jìn)光刻機(jī)制造將受限！涉及到 EUV 光刻機(jī)的鏡頭光源配件的原材料：鑭、釷、釔等稀土材料及稀土永磁電機(jī)，光刻膠、薄膜材料等也需多種稀土元素！

ASML的EUV光刻機(jī)被譽(yù)為“芯片制造皇冠上的明珠”，其技術(shù)復(fù)雜度遠(yuǎn)超普通設(shè)備。以7納米以下制程為例，EUV系統(tǒng)需通過極紫外光源將電路圖案精準(zhǔn)投射到硅片上，而這一過程依賴三大核心部件：蔡司生產(chǎn)的鏡頭需摻入鑭系元素以提升透光率。

光源系統(tǒng)中的釔靶材負(fù)責(zé)反射極紫外光；磁懸浮工作臺(tái)的釹鐵硼永磁體則確保納米級(jí)定位精度。數(shù)據(jù)顯示，單臺(tái)EUV光刻機(jī)消耗的稀土磁體超10公斤，釹鐵硼材料占電機(jī)成本的30%以上。

但鮮為人知的是，這些關(guān)鍵材料的精煉技術(shù)幾乎被中國(guó)壟斷。2022年中國(guó)稀土產(chǎn)量占全球70%，冶煉分離產(chǎn)能更達(dá)92.3%。

例如，EUV光源所需的摻銩氟化釔鋰晶體，全球90%的產(chǎn)能集中在中國(guó)企業(yè)手中；下一代BEUV（超越EUV）技術(shù)中，驅(qū)動(dòng)激光所需的銩元素、反射鏡摻鑭涂層等材料，同樣依賴中國(guó)供應(yīng)鏈。這種“技術(shù)在中國(guó)手中，材料在中國(guó)地里”的格局，讓ASML陷入兩難。

這場(chǎng)限制的直接推手是美國(guó)。2018年，中芯國(guó)際曾與ASML簽訂1.2億美元的EUV光刻機(jī)采購(gòu)合同，設(shè)備已裝箱待運(yùn)，卻因荷蘭政府未發(fā)放出口許可證而擱淺。

2023年7月，美國(guó)商務(wù)部長(zhǎng)雷蒙多與荷蘭高層密談，明確要求擴(kuò)大出口管制范圍；同年9月，荷蘭正式將EUV及部分高端DUV機(jī)型列入限制清單。美國(guó)甚至動(dòng)用《瓦森納協(xié)定》這一冷戰(zhàn)遺產(chǎn)，將光刻機(jī)技術(shù)列為“敏感物項(xiàng)”。

荷蘭的妥協(xié)并非自愿。ASML2022年財(cái)報(bào)顯示，中國(guó)市場(chǎng)占其總營(yíng)收的14%，2025年三季度在部分型號(hào)受限情況下，中國(guó)市場(chǎng)訂單仍從8臺(tái)增至20多臺(tái)。

但美國(guó)通過外交壓力、情報(bào)介入甚至威脅切斷荷蘭與北約技術(shù)合作，最終迫使荷蘭站隊(duì)。這種“政治正確優(yōu)先于商業(yè)利益”的選擇，讓ASML陷入訂單流失與供應(yīng)鏈斷裂的雙重困境。

面對(duì)封鎖，中國(guó)選擇“以資源換技術(shù)”的反制策略。2025年8月，商務(wù)部發(fā)布公告，對(duì)鎵、鍺、銻及部分稀土產(chǎn)品實(shí)施出口管制，要求涉及14納米以下芯片、先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)的用途需逐案審批。

這一舉措直擊ASML命門：EUV光源中的二氧化錫靶材、稀土永磁電機(jī)均受影響；更關(guān)鍵的是，下一代BEUV技術(shù)所需的釓、鋱等中重稀土，中國(guó)是全球唯一具備規(guī)?；?yīng)能力的國(guó)家。

反制效果立竿見影。ASML緊急派高管來華溝通，試圖爭(zhēng)取豁免；美國(guó)國(guó)防部啟動(dòng)“稀土替代計(jì)劃”，卻發(fā)現(xiàn)全球高性能磁鐵專利90%掌握在中國(guó)企業(yè)手中。更諷刺的是，美國(guó)格芯公司因缺乏中國(guó)鎵供應(yīng)，氮化鎵生產(chǎn)線幾近停擺，最終不得不與中國(guó)代工廠合作推行“China for China”戰(zhàn)略。

封鎖倒逼中國(guó)加速自主創(chuàng)新。2025年8月，杭州首臺(tái)商用光刻機(jī)下線，雖未達(dá)到EUV水平，但標(biāo)志著中國(guó)在傳統(tǒng)光刻領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破。與此同時(shí)，清華大學(xué)團(tuán)隊(duì)在EUV光刻膠領(lǐng)域取得進(jìn)展，哈工大研發(fā)的拋物橢球反射鏡加工精度達(dá)RMS 0.27nm，接近ASML技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

更值得關(guān)注的是，中國(guó)已建成“稀土-半導(dǎo)體材料-光刻機(jī)部件”的全產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)，安泰科技等企業(yè)實(shí)現(xiàn)從礦山開采到永磁體制造的一體化布局。

這場(chǎng)博弈揭示了一個(gè)殘酷現(xiàn)實(shí)：在半導(dǎo)體領(lǐng)域，技術(shù)壁壘與資源控制同樣重要。ASML的困境在于，其技術(shù)優(yōu)勢(shì)建立在中國(guó)的資源供給之上；美國(guó)的算盤則因忽視產(chǎn)業(yè)規(guī)律而落空。當(dāng)中國(guó)用稀土這張牌重新定義游戲規(guī)則時(shí)，全球科技格局正悄然改變。

12月1日的限制令實(shí)施后，ASML或?qū)⒚媾R訂單延遲、成本上升的雙重壓力，而中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)則可能在壓力下加速突圍。這場(chǎng)沒有硝煙的戰(zhàn)爭(zhēng)，最終會(huì)走向何方？