34 歲拿到第一筆科研資金,36 歲招到第一個博士生 [1],47 歲在一年之內(nèi)率隊發(fā)表多篇 Nature 論文——復旦大學教授周鵬在將近知天命之年迎來了自己和團隊的“科研成果爆發(fā)”。本土成長的他帶領(lǐng)一支中國本土團隊以本土原創(chuàng)技術(shù),將二維材料芯片“頻頻送上”Nature。當?shù)貢r間 10 月 8 日,Nature 發(fā)布了他和團隊研發(fā)的全球首顆二維-硅基混合架構(gòu)芯片的相關(guān)論文 [2],這一芯片基于該團隊打造的“長纓(CY-01)”架構(gòu),目前該芯片已經(jīng)成功流片,并將在未來五年內(nèi)集成至百萬量級,復旦官方新聞指出這一成果有望顛覆傳統(tǒng)存儲器體系。
(來源:復旦大學)
在 2025 年上半年,該團隊曾創(chuàng)下“半月兩登 Nature”的高光時刻。時隔不久,他們又在 2025 年之內(nèi)發(fā)表了本次 Nature 新論文,這是對其成果的認可,也體現(xiàn)了全球?qū)W界對于二維材料半導體的看好。在本次芯片的研發(fā)中,該團隊基于“長纓(CY-01)”架構(gòu),將該其此前打造的二維超快閃存器件“破曉(PoX)”與互補金屬氧化物半導體(CMOS,Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)工藝進行了融合。
測試數(shù)據(jù)顯示:基于 CMOS 電路控制二維存儲核心的全片測試支持 8-bit 指令操作,也支持 32-bit 高速并行操作與隨機尋址,良率達到 94.3%。在器件性能上,該芯片的每比特編程能耗只有 0.644pJ,在 54.8℃溫度下數(shù)據(jù)保持時間在十年以上,能夠耐受 10^4 次的擦除循環(huán)。在復雜功能驗證上,該團隊實現(xiàn)了棋盤格圖案編程,大約 93.55% 的單元達到了理想狀態(tài),證明該芯片擁有較好的串擾抑制能力。
(來源:https://www.nature.com/articles/s41586-025-09621-8#)
復旦大學在官方新聞稿中表示:“(這款芯片的)性能‘碾壓’目前的 Flash 閃存技術(shù),首次實現(xiàn)了混合架構(gòu)的工程化。”回顧芯片發(fā)展史,從第一個原型晶體管到第一款中央處理器(CPU,Central Processing Unit)的面世中間隔了 24 年,而該團隊通過融合業(yè)界現(xiàn)有的 CMOS 產(chǎn)線,大幅壓縮了原本需要數(shù)十年左右的迭代時間,成功實現(xiàn)了二維材料與 CMOS 傳統(tǒng)工藝的融合。
(來源:https://www.nature.com/articles/s41586-025-09621-8#)
冰凍三尺,非一日之寒。此次芯片的成功打造基于該團隊此前的一系列成果。2024 年,他們的一篇論文被 Nature Electronics 收錄,當時他們在領(lǐng)域內(nèi)最理想的原生襯底上實現(xiàn)了二維良率的突破,這為在真實復雜的 CMOS 襯底上解決相關(guān)問題做了一定鋪墊。
提及芯片人們就會想起硅元素,這是因為此前乃至于當下的不少芯片都由硅材料制作而來,正因此從 20 世紀 50 年代后期開始大量生產(chǎn)芯片的美國舊金山灣區(qū)也被叫做硅谷。二維材料,既也是周鵬團隊的研究重點之一,也是全球芯片業(yè)界和學界正在探索的一種材料。面對摩爾定律逼近物理極限這一挑戰(zhàn),國際公認的“破局小能手”便是二維材料半導體。
但是,硅材料和二維材料幾乎有著云泥之別。即使是很薄的硅材料其厚度往往也有幾十納米,而二維材料的厚度通常不到 1 納米。更關(guān)鍵的是,當前全球幾乎沒有芯片工廠使用二維材料。假如將其引入現(xiàn)有產(chǎn)線可能會造成污染,進而會對其他電子器件造成不可估量的影響,所以沒有任何芯片廠商能夠接受這一局面。正因此,二維材料要想發(fā)揮價值,就必須與成熟的硅基 CMOS 工藝進行深度融合。
那么,如何將二維材料和 CMOS 加以集成,同時又不會破壞材料性能?這個問題似乎很難破局,因為 CMOS 電路表面有很多元件,而二維材料又非常薄,假如直接將二維材料鋪設(shè)到 CMOS 電路上,很容易造成破裂。受限于此,此前二維半導體的研究者們都是在非常平整的原生襯底上對二維材料進行加工。
面對這一問題,其中一種破題思路是讓磨平的 CMOS 襯底去適應(yīng)二維材料,但是另一個難題在于人們很難實現(xiàn)原子級的平整。本次團隊的思路則是反著來的,即讓二維材料去適應(yīng) CMOS。二維材料具備一定的柔性,為此他們在模塊化集成方案的幫助之下,在制造上將二維存儲電路與 CMOS 電路進行分離,然而再利用高密度單片互連技術(shù),在 CMOS 控制電路上實現(xiàn)完整的芯片集成。通過使用一種模塊化結(jié)構(gòu),以及使用一個精心設(shè)計的二維 CMOS 模塊接口,他們將二維材料和 CMOS 進行連接,通過電路接口的靈活設(shè)計,解決了器件技術(shù)的兼容性問題。同時,他們利用逐步釋放轉(zhuǎn)移和多步多尺度退火的技術(shù),讓二維材料能夠共形地貼合在起伏不平的 CMOS 表面,這讓前者能夠溫和地釋放殘余應(yīng)力。基于這一技術(shù)創(chuàng)新,他們在原子尺度上實現(xiàn)了二維材料與 CMOS 襯底的緊密貼合,并實現(xiàn)了較高的良率。
(來源:https://www.nature.com/articles/s41586-025-09621-8#)
本次論文顯示,為了實現(xiàn)更加“友好”的二維封裝,他們開發(fā)了一種保護性封裝策略。首先,其采用了區(qū)域特異性靜電放電保護的方法,針對不同類型的焊盤設(shè)計了四種靜電放電保護電路。其次,他們使用了室溫超聲鍵合,以此來替代傳統(tǒng)熱壓鍵合,從而能夠降低熱預算和應(yīng)力預算,進而能將封裝后的二維電路的泄漏電流降低一個數(shù)量級以上。再次,在進行芯片貼裝時,他們使用了室溫固化粘合劑,從而能夠進一步地減少熱損傷。
與此同時,其還提出一種跨平臺的系統(tǒng)設(shè)計集成框架,它便是前面提到的“長纓(CY-01)架構(gòu)”。一方面,該架構(gòu)采用了串擾抑制的二維或非門(NOR gate)閃存電路設(shè)計方案,即采用或非門架構(gòu)和半選方案(Half-Select Scheme),借此將編程和擦除串擾引起的閾值電壓漂移抑制在極低水平。另一方面,該架構(gòu)采用了電壓域兼容設(shè)計方案,針對二維閃存操作所需要的負電壓和高電壓,該團隊在 CMOS 的電源開關(guān)模塊中設(shè)計了隔離 N 型金屬氧化物半導體,利用隔離環(huán)合深 N 阱,實現(xiàn)了局部負壓偏置和高耐壓。最后,該架構(gòu)采用了阻抗匹配設(shè)計方案,借此針對字線緩沖器、位線緩沖器和源線緩沖器以及靈敏放大器進行了優(yōu)化,讓它們的驅(qū)動能力和讀取能力可以和二維閃存模塊的阻抗相匹配。具體來說,該團隊使用邏輯努力理論(Logical Effort Theory)優(yōu)化了緩沖器中的反相器鏈,提升了驅(qū)動能力和信號速度。這一架構(gòu)解決了二維電子器件新機制與傳統(tǒng) CMOS 工藝之間的兼容性問題,完成了二維電路設(shè)計與 CMOS 外圍電路之間的協(xié)同設(shè)計和驗證。
(來源:https://www.nature.com/articles/s41586-025-09621-8#)
總的來說,本次成果為攻克新興二維電子器件與成熟硅基 CMOS 平臺的集成難題打造了一個系統(tǒng)性的可推廣方案,涵蓋了工藝、架構(gòu)、封裝、電路和系統(tǒng)設(shè)計的全鏈條,證明二維材料有潛力在現(xiàn)有硅芯片產(chǎn)業(yè)生態(tài)中起到一定替代作用。
周鵬是本次論文的共同通訊作者之一,共同一作兼共同通訊作者是復旦大學劉春森研究員。周鵬從 17 歲考入復旦大學以來,除了中間有一年去韓國首爾大學訪學,其余時間幾乎都在復旦。而劉春森其本科和博士分別畢業(yè)于吉林大學和復旦大學。這說明該團隊的一系列成果具備較好的本土原創(chuàng)性,同時他們也憑借這一系列成果成為了國際公認的將二維材料推向集成電路應(yīng)用前沿的核心貢獻團隊。對于該團隊的領(lǐng)隊者周鵬,有媒體報道稱他是一個“有些慢”的 70 后科研人員 [3],無論是卡著 35 歲以下的年齡線在 34 歲時申請到“上海市青年科技啟明星計劃”,還是卡著 45 歲以下的年齡線在 45 歲時入選國內(nèi)某獎項名單,他似乎總是在與年齡做博弈。20 年前,他就開始研究存儲器,直到 2018 年其成果才開始慢慢“出圈”,到了 2025 年則迎來科研生涯中前所未有的小爆發(fā)。
當然,發(fā)論文并不是這一系列研究的全部。前面提到,本次芯片已經(jīng)成功流片,從官方信息來看此次團隊在商業(yè)落地上也有著更大的“野望”。目前,他們正在建立實驗基地,通過與相關(guān)機構(gòu)合作來打造自主主導的工程化項目,計劃在三到五年之內(nèi)將該芯片集成到兆量級水平,由此產(chǎn)生的知識產(chǎn)權(quán)和 IP 可以授權(quán)給合作企業(yè)。
屆時,這也將給 AI 的發(fā)展帶來一定助力。未來,AI 模型的數(shù)量仍將繼續(xù)新增,而 AI 發(fā)展的瓶頸正在從前端算力轉(zhuǎn)向后端存儲和后端數(shù)據(jù)。假如本次芯片能夠走向大規(guī)模應(yīng)用,那么它所擁有的訪問速度優(yōu)勢以及其他優(yōu)勢,將給 AI 和大數(shù)據(jù)帶來速度更高、能耗更低的數(shù)據(jù)支撐方案。屆時,二維閃存或?qū)⒊蔀?AI 時代的標準存儲方案。與此同時,這款芯片也是中國芯片領(lǐng)域的“源技術(shù)”之一,讓中國在下一代存儲技術(shù)上掌握了一定主動權(quán),能為中國芯片自主發(fā)展帶來一定助力。
參考資料:
1.周鵬的百科資料 https://baike.baidu.com/item/%E5%91%A8%E9%B9%8F/7314692
2.Liu, C., Jiang, Y., Shen, B. et al. A full-featured 2D flash chip enabled by system integration. Nature (2025).https://doi.org/10.1038/s41586-025-09621-8
3. 其他報道 https://news.sciencenet.cn/htmlnews/2025/6/545613.shtm
復旦大學新聞博客 https://mp.weixin.qq.com/s/4aOdPuNBUPXpLOXtIe84qw
周鵬個人主頁 https://sme.fudan.edu.cn/60/68/c31158a352360/page.htm
劉春森個人主頁 https://fics.fudan.edu.cn/b3/35/c22620a242485/page.htm
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